【課題】プロキシミティ方式を用いた基板の露光において、タクトタイムを短縮する。
【解決手段】チャック１０の露光位置側の周辺部に第１の真空区画１０ａを設け、チャック１０の中央部に第２の真空区画１０ｂを設け、チャック１０の露光位置と反対側の周辺部に第３の真空区画１０ｃを設け、受け渡し位置で、基板１をチャック１０に搭載し、第１の真空区画１０ａの真空引きを行った後、チャック１０を受け渡し位置から露光位置へ移動するのと並行して、第２の真空区画１０ｂの真空引きを行い、第２の真空区画１０ｂの真空引きを行った後、第３の真空区画１０ｃの真空引きを行う。 （もっと読む）