Fターム[2H147FA00]の内容
光集積回路 (45,729) | 膜形成、結晶成長 (3,006)
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Fターム[2H147FA00]に分類される特許
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電子素子及び薄膜基板
【課題】窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムを主成分とする単結晶薄膜を形成するための、セラミック材料を主成分とする焼結体からなる基板及び該単結晶薄膜が形成されている薄膜基板を実現し、さらに発光効率に優れた発光素子などの電子素子を実現する。
【解決手段】基板としてセラミック材料を主成分とする焼結体、特に光透過性の焼結体を用いることでその上に窒化ガリウム、窒化インジウム、窒化アルミニウムのうちから選ばれた少なくとも1種以上を主成分とする結晶性の高い単結晶薄膜が形成できる。また、結晶性の高い単結晶薄膜が形成された薄膜基板を提供できる。さらに、このようなセラミック材料を主成分とする焼結体を用いることで発光効率に優れた発光素子などの電子素子を提供できる。
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微粒子配列装置と微粒子配列方法および微粒子配列物
【課題】 光学応用に適した、微粒子配列物を用いた部品を、簡便なプロセスで、且つ精度よく得ることを可能とする。
【解決手段】 微粒子を分散させた分散液を原料とするスピンコート法を用いて微粒子の配列を行なう微粒子配列装置であって、2枚の支持体によって形成された空隙を持ち、少なくとも一箇所に、空隙内に分散液を導入する開口部(分散液導入窓104)を有する密閉性容器110と、この密閉性容器全体に対して2枚の支持体(容器部101、容器ふた部103)の面に平行である回転運動を与える手段(図2:モーター200)とを有し、障壁で形成するパターン102が、少なくとも1以上の60度の頂角を有する。
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