【課題】 加速度検出手段の数を増加させずに、駆動軸方向の加速度を直接検出できない駆動軸の加速度をも求めて、被駆動体の振動抑制制御を行う。
【解決手段】 被駆動体３を駆動するＶ軸とＷ軸が直交せず傾斜している。この場合、被駆動体３に直交する複数方向の加速度を検出できる加速度検出手段７を、Ｗ軸方向と該加速度検出手段７で検出する加速度のＹ軸方向を合わせて配置する。Ｖ軸方向の加速度は、加速度検出手段７で検出されるＸ軸、Ｙ軸方向の加速度より演算によって求める。求められたＶ軸、Ｗ軸方向の加速度に基づいて、Ｖ軸、Ｗ軸を駆動するサーボモータへの位置指令、速度指令、または電流指令を補正する。この補正により被駆動体の振動発生を抑制する。複数方向の加速度を検出できる加速度検出手段を１つ設けるだけで、駆動軸方向の加速度を求めることができ、被駆動体が傾ける回転軸を有する場合にも適用できる。 （もっと読む）