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Fターム[3C007AS24]の内容

マニピュレータ、ロボット (46,145) | 用途 (2,903) | 半導体、ディスク製造用 (342)

Fターム[3C007AS24]に分類される特許

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【課題】直動搬送機構を用いることなく省スペース化を図ること。
【解決手段】搬送ロボット10は、スイングアーム部11と、アームユニット12とを備える。スイングアーム部11は、基端部に設けられたスイング軸P1を中心として水平方向に揺動する。アームユニット12は、スイングアーム部11の先端部に設けられた鉛直な旋回軸P2を中心として回転する本体部121と、本体部121に連結され水平方向に伸縮する右伸縮アーム部122Rおよび左伸縮アーム部122Lと、右伸縮アーム部122Rおよび左伸縮アーム部122Lの先端にそれぞれ設けられたワーク保持部123R,123Lとを備える。 (もっと読む)


【課題】低床化を維持しつつ高速でのワーク搬送を行うのに適したワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】ワーク搬送装置Aは、固定ベース1と、固定ベース1に支持されて昇降する昇降ベース2と、昇降ベース2に対して垂直軸O1周りに回動可能に支持された第1アーム3と、第1アーム3の先端に対して垂直軸O2周りに回動可能に支持された第2アーム4と、第2アーム4の先端に対して垂直軸O3周りに回動可能に支持されたハンド5Aと、ハンド駆動機構6Aと、を備え、ハンド駆動機構6Aは、第1アーム3の内部に配置されたモータ61aと、第1ないし第2アーム3,4の内部に配置され、モータ61aの出力をハンド5Aに伝達する伝動機構62aと、を含む。モータ61aと伝動機構62aの一部とを第1アーム3の内部空間に配置することで、第2アーム4先端の伝動機構62aの高さおよび固定ベース1ないし昇降ベース2の高さが低くなる。 (もっと読む)


【課題】半導体ウエハを対向するチャンバ間でスムーズに移動することのできる搬送ロボットを提供する。
【解決手段】ウエハ搬送ロボット100は、2本のリンク12、13で構成されているアーム10を備える。アーム10の先端にはウエハホルダ6が備えられている。アーム10の基部に相当する駆動リンク13は筐体2に回転可能に連結されている。アーム10は、駆動リンク13の回転に伴うアーム先端の運動が直線又は曲線の軌道に制限される構造を有しているとともに、その軌道は、始点Wsと終点Weが駆動リンク13の回転中心から等距離の位置にあり、始点におけるアーム先端の向きと終点におけるアーム先端の向きが、始点と終点の間の中点と前記回転中心を通る直線に対して鏡像の関係を満たしている。 (もっと読む)


【課題】2段のピンセットによる搬入出動作を同じタイミングで行い、基板搬送に係る処理時間を短縮する。
【解決手段】基台上に相対向して立設された一対の第一及び第二の昇降軸7,8と、前記第一の昇降軸に沿って昇降自在に設けられると共に、第一のピンセット15をステージに対し進退移動させる第一の進退移動手段13と、前記第一の進退移動手段を前記第一の昇降軸に沿って昇降移動させる第一の昇降手段11と、前記第二の昇降軸に沿って昇降自在に設けられると共に、第二のピンセット16をステージに対し進退移動させる第二の進退移動手段14と、前記第二の進退移動手段を前記第二の昇降軸に沿って昇降移動させる第二の昇降手段12と、前記第一及び第二の進退移動手段の駆動制御、及び前記第一及び第二の昇降手段の駆動制御を行う制御手段19とを備える。 (もっと読む)


【課題】移動速度を上げなくても搬送時間を短縮することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送ロボット50は、第1及び第2ハンド52,53を備えている。第1及び第2ハンド52,53は、基板6を夫々保持する2つのブレード56を有している。また、搬送ロボット50は、回動ユニット、第1進退ユニット、第2進退ユニット、昇降ユニットを有しており、これら4つのユニットにより第1及び第2ハンド52,53を基板6が載置されている基板搬送中継装置25及び4つのプロセスチャンバ23に夫々移動させることができるようになっている。 (もっと読む)


【課題】搬送物の状態に応じて使い分けることができるエンドエフェクタを、簡単な構造によって達成すること。
【解決手段】本発明のエンドエフェクタにおいて、アームの先端部に装着されるハンド基部と、ハンド基部に回転可能に設けられた複数の基板保持部材と、複数の基板保持部材を各回転軸線周りに回転させる回転駆動手段と、を備える。複数の基板保持部材のそれぞれは、回転軸線に沿って延在する細長部材を有し、回転軸線周りに細長部材を回転させることによって、細長部材の側面全体のうちの基板を保持する部分が変わるように構成されている。 (もっと読む)


【課題】半導体チップへの静電気によるダメージを十分に防ぐことができ、既存の半導体チップに幅広く適用することができる吸着部材を提供する。
【解決手段】半導体チップ20に接触させるための接触面11aと、接触面11aにつながる側面11cとを有する吸着部11と、側面11cから外方向に向かって突き出る第1放電部12とを備える。 (もっと読む)


【課題】ファンを用いて物品を搬送する物品搬送装置において、物品に関わる検出器を可及的に減らせるようにする。
【解決手段】移載装置1、非接触でガラス基板を搬送する装置である。移載装置は、ケース22と、ファン24と、吹き出し口28と、電流値測定部と、ファン制御部30と、を備えている。ケース22は、ガラス基板に対向する物品対向部42を有している。ファン24は、ファンケース54の内部に設けられている。吹き出し部は、物品対向部42に設けられ、ファン24との間で空気を流す。電流値測定部は、ファン24の負荷を検出する。ファン制御部30は、電流値測定部の検出結果によりファン24を制御する。 (もっと読む)


【課題】手作業による操作ミスがあったとしても被処理体の吸着ミスを防止し、確実に吸着・脱着動作を行うことが可能な真空ピンセットを提供する。
【解決手段】本発明の真空ピンセットは、長尺状の本体2と、前記本体の一端部に設けられ、平板状の被処理体を吸着し保持する第一機能部10、および、前記被処理体とは異なる対象物の有無を識別する第二機能部20と、を少なくとも備えた真空ピンセット1A(1)であって、前記第二機能部における前記対象物の有無の識別結果に基づき、前記第一機能部における前記被処理体の吸着条件を切り替える制御手段30を有すること、を特徴とする。 (もっと読む)


【課題】本発明は、ウエハを真空吸着して所定のウエハの搬送を終えた後に、ウエハをウエハ吸着部から容易に離脱させることができるウエハ搬送用アームとウエハ搬送装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本願の発明にかかるウエハ搬送用アームは、非弾性体で形成され、開口を有するウエハ吸着部と、該ウエハ吸着部と接続され、該開口に通じる吸気路を有する支持部と、を備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】基板の位置ずれを検出することが可能な基板搬送用ハンド、基板搬送用ロボットシステム、基板位置ずれ検出方法を提供する。また、基板位置補正方法を提供する。
【解決手段】基板搬送用ロボットシステム10は、基板Wの下面に接触する接触部PBL、PFL、PBR、PFR及び接触部PBL、PFL、PBR、PFRに接触した基板Wの重心位置を検出するための複数のセンサSBL、SFL、SBR、SFRが設けられた基板搬送用ハンド60を有する基板搬送用ロボット20と、1)基板搬送用ハンド60上の基準となる位置にて基板Wが支持された際の各センサSBL、SFL、SBR、SFRの検出値である基準値と現在の各センサSBL、SFL、SBR、SFRの検出値との差分をそれぞれ演算する差分演算部70及び2)各差分に基づいて基板Wの位置ずれ方向を判断する第1の判断部72を有する第1の制御装置30とを備える。 (もっと読む)


【課題】搬送ロボットにより基板を搬送する際に、ハンド上の基板の中心位置の検出精度を向上できるようにした基板位置検出方法を提供する。
【解決手段】ハンド7に、搬送経路上の所定位置に設定した検出点PSに基板の周縁があるか否かを検出するセンサで検出可能な指標として、R方向に所定距離LR0離れた第1指標73と第2指標74とを設ける。第1指標73が検出点にあると検出されたときのロボット動作量から求めたハンドのR方向位置を基準位置として、基準位置から、第2指標74が検出点にあると検出されたときのロボット動作量から求めたハンドのR方向位置までの変位量LRを算出し、この変位量LRと指標73,74間の距離LR0との比を補正係数として算出する。そして、基板の周縁の各箇所が検出点にあると検出されたときのロボット動作量から求めたハンドのR方向位置を、当該R方向位置と基準位置との偏差に補正係数を乗算して補正する。 (もっと読む)


【課題】リンクアーム機構を有する搬送装置において、特にリンクアーム機構を冷却し、高温状態のワークからの輻射熱の影響を減少させることができる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置100は、真空空間内においてワーク200を搬送するためのリンクアーム機構2と、リンクアーム機構2を鉛直軸周りに回転可能に軸支する旋回軸3と、を備える搬送装置であって、リンクアーム機構2は、下段アーム31L・31Rと、下段アーム31L・31Rと連結される上段アーム33L・33Rと、上段アーム33L・33Rの他端と連結されるワーク200を支持する水平移動部材22L・22Rと、を有し、上段アーム33L・33Rと水平移動部材22L・22Rとの間に冷却板25L・25Rを配置した。 (もっと読む)


【課題】 基板搬送用ロボットのフィンガーの変形を精度よく検出する。
【解決手段】 基板を保持可能なフィンガーを有した基板搬送用のロボット、及び、前記ロボットにより基板を搬出入させるための基板搬送口を備えた搬送チャンバと、前記基板搬送口に着脱可能に接続され、前記搬送チャンバ内部に連通する開口を有し、外部に対して密閉された内部空間を形成する筐体、及び、前記内部空間に挿入される前記フィンガーの変形を検出するための変位センサを備えたセンシングポートと、前記搬送チャンバに設けられる排気口を介して、前記搬送チャンバ及び前記筐体内部を排気する排気手段と、前記排気手段により前記搬送チャンバ及び筐体内部を減圧させた状態で、前記筐体の内部空間に挿入されたフィンガーの形状の前記変位センサによる検出結果を取得する制御手段と、を備える。 (もっと読む)


【課題】 保持部材の姿勢に異常があるか否かを確実かつ容易に検出すること。
【解決手段】 保持部材であるフォーク3Aを前進させたときに、当該フォーク3Aがその前を通過するように、フォーク3Aの進行方向に対して側方にラインセンサ4を設ける。そして、フォーク3Aをラインセンサ4に対して進退させたときに、当該フォーク3Aの上下方向の位置と、フォーク3Aの進退方向の位置とを対応付けたデータを取得する。この取得されたデータに基づいて前記進退方向の位置に対して上下方向の位置を二次微分した値を演算し、この値に基づいて保持部材の姿勢の異常の有無を判定する。 (もっと読む)


【課題】基板カセットと基板受け渡し先との間でガラス基板の受け渡しを効率良く行うことのできる廉価でコンパクトな構成の基板搬送装置を提案すること。
【解決手段】基板搬送装置2は、ガラス基板7の縁端をクランプしエアー浮上させた状態で、基板カセットからガラス基板7を引き抜くので、狭い間隔で高密度に収納されているガラス基板を引き抜くことができ、エアー浮上状態でガラス基板7を移動させるので、ガラス基板に損傷、異物付着が生じない。基板載置面に引き込まれたガラス基板を基板支持アームで支持し、この状態で基板搬送装置2が収納先の基板カセットまで移動し、基板支持アームによってガラス基板を引き渡し先に渡す。一台で基板カセットからのガラス基板の引き抜き、移送、基板受け渡し先への引き渡しを行うことができ、設置スペースが少なくて済む廉価でコンパクトな基板搬送システムを構築できる。 (もっと読む)


【課題】単一のセンサを利用してハンドに載置したウェーハの位置と正規の載置位置との差異を正確に求め、ウェーハを正確に搬送する。
【解決手段】ハンドに載置したウェーハ7のセンサ6に対する通過距離と、ハンド上における正規の載置位置に載置保持したウェーハ7がセンサ6を通過する距離と、ウェーハの半径とを利用して、ハンドに載置したウェーハ7の位置と正規の載置位置との差異を求める載置位置差異算出手段42と、その差異を旋回軸31a及びアーム2のロボット動作極座標系における補正値に変換して算出する補正値算出手段43と、その補正値を出力する補正値出力手段44とを有する搬送ロボット1とした。 (もっと読む)


【課題】ピックによる基板保持時に基板の異常を判定することで,異常な基板の搬送処理を続行することによる不具合を未然に防止する。
【解決手段】基板が水平方向に移動しないように規制する規制体420と,押圧体440をスライド駆動させて,ウエハWの端部を規制体に押しつけることによって保持する押圧保持部430と,押圧体を駆動させるとともに,その押圧体の位置情報を出力可能な押圧体駆動部442とを有するピックを備え,このピックの基板保持時に押圧体をスライド駆動させてその押圧体が停止した位置を検出し,その検出位置が異常判定閾値以上にピックの先端側にある場合にはその基板は異常であると判定し,その基板の搬送処理を停止する。 (もっと読む)


【課題】単一のセンサを利用してハンドに載置したウェーハの位置と正規の載置位置との差異を正確に求める。
【解決手段】XY座標系上で移動するハンド23に着脱可能に取り付けた治具5を用いて、単一のセンサ6に対するウェーハの半径Wを算出し、その半径の値Wを利用してハンドに載置したウェーハの位置と正規の載置位置との差異を求める。具体的には、円盤状搬送対象物の半径Wと同一の半径Wであり且つ中心51aをX軸上に一致させた第1部分円弧部51のセンサ6に対する通過距離と、円盤状搬送対象物の半径Wと同一の半径Wであり且つ中心52aをY軸方向に所定寸法変位させた第2部分円弧部52のセンサ6に対する通過距離と、中心51a,52a間のY軸方向の変位量ΔYaとを利用してセンサ6に対するウェーハの計算上の半径Wを算出する。 (もっと読む)


【課題】搬送対象物が上下方向で重ならないように配置される第2配置位置と産業用ロボットとの間にゲート部が配置されていても、本体部に対するハンドの旋回半径を小さくしつつ、ハンドとゲート部との干渉を防止することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット1は、第1ハンド3および第2ハンド4と、アーム5と、本体部6とを備えている。第1ハンド3の基端部と第2ハンド4の基端部とは、上下方向で重なるようにアーム5の先端部に取り付けられている。第1ハンド3と第2ハンド4とは、アーム5に対して個別に回転可能であり、かつ、上下方向から見たときにアーム5に対して共通の回転中心C1を中心にして回転可能である。また、第1ハンド3と第2ハンド4とは、上下方向から見たときに屈曲するように形成され、かつ、上下方向から見たときに回転中心C1を通過する所定の仮想線に対して略線対称に形成されている。 (もっと読む)


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