【課題】複数の関節アクチュエータでの配線構造の共通化を図り、しかも自己の電源ノイズによる制御系への悪影響を抑制する。
【解決手段】関節アクチュエータの配線モジュールにおいて、入力側コネクタ８４ｃ−２には全アクチュエータ共通の分配用端子Ｔ１が設けられ、出力側コネクタ８３ｃ−２には全アクチュエータ共通の次段電力用端子４が設けられている。また、配線モジュールにおいて、電源線配列部Ｋ１で信号線Ｋ６から最も離れた位置にある次段用電源線Ｋ２を次段電力用端子Ｔ４に接続すること、及び、電源線配列部Ｋ１の残りの電源線を、１関節アクチュエータ分の電源線の分ずつ信号線Ｋ６から離れる側にずらして出力側コネクタ８３ｃ−１に接続することにより、電源線の配列が組み替えられている。 （もっと読む）

【課題】基板の高速搬送に適した基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置は、基板を保持するハンド２３Ａ，２３Ｂと、ハンド２３Ａ，２３Ｂを駆動するハンド駆動機構２０，２６，２７と、ハンド２３Ａ，２３Ｂの動作を補助するように気体を噴射する気体ノズルを有する動作補助ユニット１０Ａ，１０Ｂとを含む。動作補助ユニット１０Ａ，１０Ｂは、ハンド２３Ａ，２３Ｂに備えられており、気体噴射により生じる反力によって、ハンド２３Ａ，２３Ｂの動作を補助する。 （もっと読む）

【課題】占有空間の縮小を図りつつ、先端部を上下に直進運動させる多関節型ロボットを得ること。
【解決手段】多関節型ロボット５０は、第１回転軸１３ａで回転可能とされた第１アーム２１と、第１アームに沿って移動するスライド部６と、スライド部に第２回転軸１３ｂで連結された第１リンク部３と、第１リンク部に第３回転軸１３ｃで連結された第１先端部１０と、第１アームと第４回転軸１３ｄで連結され、第１リンク部に第５回転軸１３ｅで連結された第２リンク部４と、を備え、第２回転軸は、第１回転軸および第１アームの延びる方向と略垂直に設けられ、第４回転軸は、第２回転軸と第３回転軸との略中央に設けられ、第５回転軸は、スライド部の移動する延長線上に位置し、第４回転軸と第５回転軸との距離は、第２回転軸と第３回転軸との距離の略半分の距離とされ、第３，４，５回転軸は、第２回転軸と略平行に設けられる。 （もっと読む）

【課題】移動中のロボットから検出される該ロボットの位置に対してその精度を高めることが可能なロボット位置検出装置及びロボットシステムを提供する。
【解決手段】位置算出部６０は、トリガー信号が入力されるトリガー信号入力部６１と、エンコーダーから出力された位置データが通信時間の分だけ遅れて入力される位置データ入力部６２と、入力された位置データを取得してトリガー信号検出時におけるロボットの位置を算出するデータ処理部６３とを備えている。データ処理部６３は、トリガー信号が検出される前に取得した第１の位置データとそのタイミング、及び、トリガー信号が検出された後の第２の位置データとそのタイミングを用いてロボットの位置を線形補間し、トリガー信号が入力されたタイミングよりも通信時間だけ後の位置をトリガー信号検出時におけるロボットの位置として算出する。 （もっと読む）

【課題】直動搬送機構を用いることなく省スペース化を図ること。
【解決手段】搬送ロボット１０は、スイングアーム部１１と、アームユニット１２とを備える。スイングアーム部１１は、基端部に設けられたスイング軸Ｐ１を中心として水平方向に揺動する。アームユニット１２は、スイングアーム部１１の先端部に設けられた鉛直な旋回軸Ｐ２を中心として回転する本体部１２１と、本体部１２１に連結され水平方向に伸縮する右伸縮アーム部１２２Ｒおよび左伸縮アーム部１２２Ｌと、右伸縮アーム部１２２Ｒおよび左伸縮アーム部１２２Ｌの先端にそれぞれ設けられたワーク保持部１２３Ｒ，１２３Ｌとを備える。 （もっと読む）

【課題】制振制御に用いられる角速度センサーの数を低減するとともに該角速度センサーに接続される電気配線に要求される耐久性を低くした水平多関節ロボット及び水平多関節ロボットの制御方法を提供する。
【解決手段】ロボットは、基台に連結される第１水平アームと、第１水平アームを介して前記基台に連結される第２水平アーム１５と、各アームを回転させる第１及び第２モーター１３，１６と、各モーターの回転角度及び回転速度を算出するための第１及び第２エンコーダー１３Ｅ，１６Ｅとを有している。第１モーター制御部４３は、角速度センサー３０が検出したセンサー角速度ωＡ２から第１及び第２エンコーダー１３Ｅ，１６Ｅに基づく第１及び第２角速度ωＡ１ｍ，ωＡ２ｍを減算し、演算結果である振動角速度ωＡ１ｓに基づく振動速度Ｖ１ｓと第１回転速度Ｖ１ｆｂとの加算した速度計測値が速度指令Ｖｃとなるように第１モーター１３を制御する。 （もっと読む）

【課題】ロボットに取り付けられたエンドエフェクターとコンベヤー上のワークとの衝突を抑制することのできるロボット制御装置、該装置を備えるロボットシステム、及びロボット制御方法を提供する。
【解決手段】ロボットコントローラー１０は、エンドエフェクターがワークの上方に移動する際に、該ワークの位置の上方にエンドエフェクターが到達するために必要な水平動作時間を算出する水平動作時間算出部１５ａと、エンドエフェクターの速度とワークの速度とが同調するために必要な追従動作時間とを算出する追従動作時間算出部１４と、エンドエフェクターがワークの上方に到達する前に、水平動作時間と追従動作時間とを比較してエンドエフェクターの下降の終了時を設定する下降設定部１６とを有する。下降設定部１６は、水平動作時間が追従動作時間よりも短い場合、エンドエフェクターの移動の開始時から追従動作時間の経過時以降を下降の終了時とする。 （もっと読む）

【課題】角速度センサーを用いて制振制御を行う水平多関節ロボットにおいて、該角速度センサーに接続される電気配線の耐久性を高めることの可能な水平多関節ロボットを提供する。
【解決手段】ロボット１０は、第２水平アーム１５に設置され基台１１に対する第１水平アーム１２の角速度を得るための角速度センサー３０を備え、第１水平アーム１２の角速度に基づく第１モーター１３の駆動によって第１水平アーム１２を制振する。ロボット１０は、基台１１と第２水平アーム１５とに端部が連結されるとともに、第１水平アーム１２の外側、且つ第２水平アーム１５の外側に配設されて、基台１１内と第２水平アーム１５内とに通じる通路を有する配線ダクト３３に、第２水平アーム１５に内蔵された第２モーター１６に接続される電気配線３５と、角速度センサー３０に接続される電気配線３６とが引き回されている。 （もっと読む）

【課題】ロボットが有する駆動源の駆動量と実際のロボットの状態とを画像に基づいて対応付ける処理の効率を高めることの可能なロボット用位置検出装置、ロボットシステム、及びロボット用位置検出方法を提供する。
【解決手段】
水平多関節ロボット１０（ロボット１０）用位置検出装置は、撮像対象であるロボット１０又はワークＷを撮像するカメラ２２と、撮像対象の位置を画像から算出する制御部３３と、ロボット１０の第１及び第２モーター１１ａ，１３ａの駆動量を取得するＩ／Ｏ３１と、撮像対象の算出位置と駆動量とを対応付けて記憶する。上記カメラ２２及びＩ／Ｏ３１には、撮像対象の位置を検出するための共通するトリガー信号が入力される。カメラ２２は、トリガー信号の入力によって撮像対象の撮像を開始する一方、Ｉ／Ｏ３１では、同トリガー信号の入力によって制御部３３が駆動量を得る。 （もっと読む）

【課題】 減速機の温度が上昇しても減速機収納室の内圧が上昇することを防止して、減速機収納室内の潤滑剤が外部に流出することを防止できるロボットを提供すること。
【解決手段】 スカラロボットＡにおいて、駆動装置３２をフレーム部材３１に連結固定し、駆動装置３２によって駆動される減速機３３の出力部３５をフレーム部材２１に連結固定して、フレーム部材２１に対してフレーム部材３１を回転可能に組み付けるとともに、減速機３３を収納する減速機収納室内に潤滑剤を充填した。そして、潤滑剤の上面より上方となる減速機収納室の空間部３３ｂの所定部から、この所定部より上方の上方点まで延びて減速機収納室を外部に連通させる圧抜き経路３８とエアチューブ３９をフレーム部材３１に設け、エアチューブ３９の途中にコイル部３９ａを形成した。 （もっと読む）

【課題】従来と異なる方式の相対駆動装置を提供する。
【解決手段】第１の駆動機構と第２の駆動機構とを有する相対駆動装置１０であって、ステーター１５と、第１のローター２０と、第２のローター１０２０と、を備え、前記ステーターは、第１の電磁コイル１００と前記第１の電磁コイルに流す電流を制御する第１の制御部５００とを有し、前記第１のローターは、第１と第２の磁石２００、１２００を有し、前記第２のローターは、第２の電磁コイル１１００と、前記第２の電磁コイルに流す電流を制御する第２の制御部１５００とを有し、前記第１の電磁コイルと前記第１の磁石とは対向して配置されて、前記第１の駆動機構を構成し、前記第２の電磁コイルと前記第２の磁石とは対向して配置されて、前記第２の駆動機構を構成している。 （もっと読む）

【課題】低床化を維持しつつ高速でのワーク搬送を行うのに適したワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】ワーク搬送装置Ａは、固定ベース１と、固定ベース１に支持されて昇降する昇降ベース２と、昇降ベース２に対して垂直軸Ｏ１周りに回動可能に支持された第１アーム３と、第１アーム３の先端に対して垂直軸Ｏ２周りに回動可能に支持された第２アーム４と、第２アーム４の先端に対して垂直軸Ｏ３周りに回動可能に支持されたハンド５Ａと、ハンド駆動機構６Ａと、を備え、ハンド駆動機構６Ａは、第１アーム３の内部に配置されたモータ６１ａと、第１ないし第２アーム３，４の内部に配置され、モータ６１ａの出力をハンド５Ａに伝達する伝動機構６２ａと、を含む。モータ６１ａと伝動機構６２ａの一部とを第１アーム３の内部空間に配置することで、第２アーム４先端の伝動機構６２ａの高さおよび固定ベース１ないし昇降ベース２の高さが低くなる。 （もっと読む）

【課題】吸着パッドの摩耗を検出することが可能な吸着装置及びロボットシステムを提供する。
【解決手段】ロボットシステム１０は、搬送物Ｇを吸着する吸着パッド７６及び吸着パッド７６の吸着圧力を検出する圧力センサ６６ａ〜６６ｄが設けられたエンドエフェクタ４８ａ、４８ｂを有するロボット２０と、吸着パッド７６が搬送物Ｇを吸着してから吸着パッド７６の吸着圧力が安定するまでの間に圧力センサ６６ａ〜６６ｄが検出した吸着圧力の過渡データＤに基づいて、吸着パッド７６の摩耗を判断する判断部８６を有する制御装置３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】可動範囲が広く、位置決め精度やメンテナンス性に優れた搬送アーム装置を提供する。
【解決手段】基台２上に基部１１１を枢設された第１アーム１１と、その先端部１１２に基部１２１を枢設された第２アーム１２と、その先端部１２２に基部１３１を枢設されたハンド部１３と、第１アーム回動手段６と、第２アーム回動手段７とを有し、基台２に対する第１アーム１１および第２アーム１２の角度をそれぞれ変化させることでハンド部１３の基部１３１を所定の位置に移動させる搬送アーム装置１であって、第２アーム回動手段７が、基台２上に枢設され第１アーム１１と同一の回動中心１１４を有する回動部材１４と、回動部材１４と第２アーム１２とを連結する連結手段２０とを備えており、基台２に対して回動部材１４および第２アーム１２が同一方向に同一角度連動して回動するように構成した。 （もっと読む）

【課題】部品のワークへの組付け位置を精度よく探索できる探索装置を提供する。
【解決手段】ワークは、バカ穴とバカ穴の底面に形成されたネジ穴とを有する。探索装置は、ネジと底面とを接触させた状態で、ｕ軸方向の正および負の向きと、ｖ軸方向の正および負の向きとに、ネジを移動させる。探索装置は、ｕ軸方向の正および負の向きと、ｖ軸方向の正および負の向きとに、ネジを各々移動させたときに反力が閾値Ｔｈ１以上となる位置Ｐα，Ｐβ，Ｐγ，Ｐδを特定する。探索装置は、位置Ｐαと位置Ｐβとの間の距離が閾値Ｔｈ２未満の場合には、位置Ｐαと位置Ｐβとの中間位置を起点としたｖ軸方向への移動と、位置Ｐγおよび位置Ｐδの特定とを実行する。探索装置は、位置Ｐγと位置Ｐδとの間の距離が閾値Ｔｈ２未満の場合には、位置Ｐγと位置Ｐδとの中間位置をネジの組付け位置と判断する。 （もっと読む）

【課題】２段のピンセットによる搬入出動作を同じタイミングで行い、基板搬送に係る処理時間を短縮する。
【解決手段】基台上に相対向して立設された一対の第一及び第二の昇降軸７，８と、前記第一の昇降軸に沿って昇降自在に設けられると共に、第一のピンセット１５をステージに対し進退移動させる第一の進退移動手段１３と、前記第一の進退移動手段を前記第一の昇降軸に沿って昇降移動させる第一の昇降手段１１と、前記第二の昇降軸に沿って昇降自在に設けられると共に、第二のピンセット１６をステージに対し進退移動させる第二の進退移動手段１４と、前記第二の進退移動手段を前記第二の昇降軸に沿って昇降移動させる第二の昇降手段１２と、前記第一及び第二の進退移動手段の駆動制御、及び前記第一及び第二の昇降手段の駆動制御を行う制御手段１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】搬送物の状態に応じて使い分けることができるエンドエフェクタを、簡単な構造によって達成すること。
【解決手段】本発明のエンドエフェクタにおいて、アームの先端部に装着されるハンド基部と、ハンド基部に回転可能に設けられた複数の基板保持部材と、複数の基板保持部材を各回転軸線周りに回転させる回転駆動手段と、を備える。複数の基板保持部材のそれぞれは、回転軸線に沿って延在する細長部材を有し、回転軸線周りに細長部材を回転させることによって、細長部材の側面全体のうちの基板を保持する部分が変わるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ファンを用いて物品を搬送する物品搬送装置において、物品に関わる検出器を可及的に減らせるようにする。
【解決手段】移載装置１、非接触でガラス基板を搬送する装置である。移載装置は、ケース２２と、ファン２４と、吹き出し口２８と、電流値測定部と、ファン制御部３０と、を備えている。ケース２２は、ガラス基板に対向する物品対向部４２を有している。ファン２４は、ファンケース５４の内部に設けられている。吹き出し部は、物品対向部４２に設けられ、ファン２４との間で空気を流す。電流値測定部は、ファン２４の負荷を検出する。ファン制御部３０は、電流値測定部の検出結果によりファン２４を制御する。 （もっと読む）

【課題】基板の位置ずれを検出することが可能な基板搬送用ハンド、基板搬送用ロボットシステム、基板位置ずれ検出方法を提供する。また、基板位置補正方法を提供する。
【解決手段】基板搬送用ロボットシステム１０は、基板Ｗの下面に接触する接触部Ｐ_ＢＬ、Ｐ_ＦＬ、Ｐ_ＢＲ、Ｐ_ＦＲ及び接触部Ｐ_ＢＬ、Ｐ_ＦＬ、Ｐ_ＢＲ、Ｐ_ＦＲに接触した基板Ｗの重心位置を検出するための複数のセンサＳ_ＢＬ、Ｓ_ＦＬ、Ｓ_ＢＲ、Ｓ_ＦＲが設けられた基板搬送用ハンド６０を有する基板搬送用ロボット２０と、１）基板搬送用ハンド６０上の基準となる位置にて基板Ｗが支持された際の各センサＳ_ＢＬ、Ｓ_ＦＬ、Ｓ_ＢＲ、Ｓ_ＦＲの検出値である基準値と現在の各センサＳ_ＢＬ、Ｓ_ＦＬ、Ｓ_ＢＲ、Ｓ_ＦＲの検出値との差分をそれぞれ演算する差分演算部７０及び２）各差分に基づいて基板Ｗの位置ずれ方向を判断する第１の判断部７２を有する第１の制御装置３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】昇降駆動手段において必要となる昇降駆動力を低減することができる搬送ロボットを提供すること。
【解決手段】本発明の搬送ロボットは、第１軸線周りに回転可能に構成された第１リンク部材と、第１軸線に対して所定距離に位置する第２軸線周りに回転可能に構成された第２リンク部材と、第２軸線に対して所定距離に位置する第３軸線周りに回転可能であり且つ物品を保持可能に構成された保持部材と、少なくとも保持部材を昇降駆動するための昇降駆動手段と、を備える。第１リンク部材、第２リンク部材、及び保持部材が、この順番で連結されてアームリンク機構を構成しており、昇降駆動手段が、第１リンク部材と保持部材との間に配置されてアームリンク機構の一部を構成している。 （もっと読む）