【課題】直動搬送機構を用いることなく省スペース化を図ること。
【解決手段】搬送ロボット１０は、スイングアーム部１１と、アームユニット１２とを備える。スイングアーム部１１は、基端部に設けられたスイング軸Ｐ１を中心として水平方向に揺動する。アームユニット１２は、スイングアーム部１１の先端部に設けられた鉛直な旋回軸Ｐ２を中心として回転する本体部１２１と、本体部１２１に連結され水平方向に伸縮する右伸縮アーム部１２２Ｒおよび左伸縮アーム部１２２Ｌと、右伸縮アーム部１２２Ｒおよび左伸縮アーム部１２２Ｌの先端にそれぞれ設けられたワーク保持部１２３Ｒ，１２３Ｌとを備える。 （もっと読む）

【課題】可動範囲が広く、位置決め精度やメンテナンス性に優れた搬送アーム装置を提供する。
【解決手段】基台２上に基部１１１を枢設された第１アーム１１と、その先端部１１２に基部１２１を枢設された第２アーム１２と、その先端部１２２に基部１３１を枢設されたハンド部１３と、第１アーム回動手段６と、第２アーム回動手段７とを有し、基台２に対する第１アーム１１および第２アーム１２の角度をそれぞれ変化させることでハンド部１３の基部１３１を所定の位置に移動させる搬送アーム装置１であって、第２アーム回動手段７が、基台２上に枢設され第１アーム１１と同一の回動中心１１４を有する回動部材１４と、回動部材１４と第２アーム１２とを連結する連結手段２０とを備えており、基台２に対して回動部材１４および第２アーム１２が同一方向に同一角度連動して回動するように構成した。 （もっと読む）

【課題】トランスファーチャンバ内の汚染を抑制することができるロボットアームを提供する。
【解決手段】ロボットアーム１００は、半導体ウエハを搬送するロボットアームであり、ハンド２と前腕リンク１０と上腕リンク１４を備えている。ハンド２は、第１関節２０を介して前腕リンク１０に連結している。上腕リンク１４は、第２関節１１を介して前腕リンク１０に連結している。ロボットアーム１００では、前腕リンク１０が、第１関節２０と第２関節１１の間で分割可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】俊敏な動作と高精度な位置制御を可能とする関節装置及び基板搬送装置を提供すること
【解決手段】本発明の関節装置は、第１の平行リンクと、第２の平行リンクと、伝達機構とを具備する。第１の平行リンクは、第１の支点を中心とする第１の回転が可能な第１のレバーと、第２の支点を中心とする第２の回転が可能な第２のレバーとを有する。第２の平行リンクは、第１の支点を中心とする第３の回転が可能な第３のレバーと、第２の支点を中心とする第４の回転が可能な第４のレバーとを有する。伝達機構は、第１の支点を中心として第１の回転と共に回転する第１のギアと、第２の支点を中心として第２の回転と共に回転する第２のギアと、第１のギア及び第２のギアに噛合して回転する第３のギアと、前記第３のギアの回転と第３の回転及び第４の回転とを同期させる連結部とを有し、第１の平行リンクの駆動と第２の平行リンクの駆動とを連動させる。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成にすることができ、しかも省エネ型に構成することができるロボットを提供する。
【解決手段】少なくとも複数本の可動脚２を備えたロボットであって、可動脚２は、胴体部に回転自在に備えた股関節部５と、股関節部５から一対の大腿部平行リンク７Ａ，７Ｂを介して連結される膝関節部６と、膝関節部６から一対の下腿部平行リンク９Ａ，９Ｂを介して連結される足関節部８と、大腿部平行リンク７Ａ，７Ｂのうちの一方の大腿部リンク７Ａの膝関節側端部に固定されたギヤ１２と、ギヤ１２と噛合うようにギヤ１２を備える大腿部リンク７Ａと同一側の下腿部リンク９Ａの膝関節側端部に固定された連動ギヤ１３と、股関節部５を回動させるためのアクチュエータ１６とを備えさせた。 （もっと読む）

【課題】ロボットアームを構成する部材に、高いアライメント精度を要求することなく、その動作を実現することができるロボットアーム及びこれを用いた搬送装置を提供すること。
【解決手段】ガイド機構１０は、上述のガイド軸１５と、これらガイド軸１５の動きをガイドする部材としてガイドプレート１６とを備えている。ガイドプレート１６には、ガイド軸１５が挿通されるガイド穴１７ａを形成するためのガイド穴形成部材１７が固定されている。ガイド穴１７ａは、一方向であるＸ軸方向に長い形状に形成され、ガイドプレート１６をベースとしてガイド軸１５がＸ軸方向に移動するようにそれの動きをガイドする。軸受ローラ１８の外周面１８ａと、ガイド穴形成部材１７の内側壁１７ｂとの間には隙間Ｑが設けられている。これにより、実質的に重力方向でガイド軸１５の自由度を維持でき、ガイド軸１５及び軸受ローラ１８のＹ軸方向の動きの自由度も確保される。 （もっと読む）

【課題】高剛性で耐熱性もある真空環境内に適した真空ロボットのアーム構成を提供すること。
【解決手段】内部に気密な空間を有するアームベース８と、アームベース８内に設置されたアーム駆動用モータ９と、アーム駆動用モータ９によって回転する中空の減速機シャフト３１と、減速機シャフト３１の回転が入力されて所定の比だけ減速し、減速機シャフト３１の周囲で回転する第１減速機出力軸３２と、からなり、アームベース８内に減速機シャフト３１の下端が露出するよう設置された第１減速機１０と、中空の減速機シャフト３１の上端が侵入することでアームベース８の気密な空間と同圧となる気密な空間を有し、かつ第１減速機出力軸３２に固定される第１アーム２と、第１アーム２の先端に設置され、入力軸が減速機シャフト３１と接続された第２減速機１５と、第２減速機１５の出力軸に固定され、内部に気密な空間を有しない第２アームと、第１アーム２と第２アーム５とに追従するリンク機構と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】本発明は、簡単に手首部フランジ面の傾きが調整できる産業用ロボットを提供することを目的とする。
【解決手段】固定ベース２に一端を固定された旋回ヘッド３と、前記旋回ヘッド３に連結された下部アーム４と、前記下部アーム４に連結された上部アーム５と、前記上部アーム５の先端に手首部６を備え、４自由度を有し、前記旋回ヘッド２に連結された第１の補助リンク７の他方端と一端が連結された第２の補助リンク８の他方端と前記手首部６の間に長さ方向に分割連結された第３の補助リンク９を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】アームの軽量化を図りつつ、製造工程を簡略化することができる真空搬送装置の製造方法及び真空搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送ロボットの製造方法において、アーム本体２０を構成する上側板２５、下側板２６及び環状部材２７と、関節軸を支持する各ブシュ２１〜２３とから中空構造のアーム５を組み立て、上側板２５、下側板２６及び環状部材２７を互いに接合する接合部と、それらの部材と各ブシュ２１〜２３の接合部とにロウ材を付着させる工程と、組み立てられたアーム５を真空加熱して、ロウ付けする工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】２軸駆動と無限旋回が可能で、かつ構成の簡素なロボットアームを提供する。
【解決手段】同軸配置された第１および第２の駆動軸と、第１の駆動軸に連結され、第１の駆動軸から２方向に延びる第１および第２のアームと、第１および第２のアームの先端部に、回動可能にそれぞれ連結された第１および第２の回動出力部材と、第１のアームに対する第１の回動出力部材の回動姿勢を制御する第１の姿勢制御機構と、第２のアームに対する第２の回動出力部材の回動姿勢を制御する第２の姿勢制御機構と、第２の駆動軸に連結された操作用アームと、第１および第２の姿勢制御機構をそれぞれ操作する第１および第２の操作機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】作動ロッドに作用する横荷重を受ける構造とすることによって円滑な作動を確保し、さらには、小型化を図り得る、関節駆動装置を提供する。
【解決手段】関節駆動装置１０は、対をなす第１と第２のフレーム３１、３２に回動自在に接続されたアーム部材４０と、アーム部材を揺動させるアクチュエータ７０と、を含んでいる。アクチュエータは、アーム部材に取り付けられるシリンダチューブ７１を備える駆動部Ｄと、駆動部によってシリンダチューブの軸線方向に沿って移動するシリンダロッド７３と、基端部が第１のフレームに回動自在に接続され、シリンダロッドに対して傾斜して伸びるリンク部材８０と、シリンダロッドに連結されるとともにリンク部材の先端部が回動自在に接続されたガイド部材９０と、を有している。駆動部は、流体圧によってピストン７２を移動し、ピストンに取り付けたシリンダロッドを移動させている。 （もっと読む）

【課題】エンドエフェクタが並進３自由度運動を行う力覚提示マニピュレータを提供する。
【解決手段】本発明の力覚提示マニピュレータは、マニピュレータのベースと、エンドエフェクタと、駆動手段と、駆動手段の動力をエンドエフェクタの並進３自由度動作に変換する一対のリンク機構と、を備える冗長パラレルリンク機構を用いる。また、エンドエフェクタは、一対のリンク機構それぞれからの拘束により、空間位置に依らず姿勢を維持する。 （もっと読む）

【課題】 関節を持つ機械の軽量化と、慣性モーメントの軽減による動作の高速化を、ワイヤーを使った、制御のしやすい非干渉機構によって実現する。
【解決手段】 一定の屈曲角比で２段に渡って同一方向に屈曲する関節３に、ワイヤー６の巻き付き弧長の変化が等しくなるよう、屈曲角比の逆比の径を持つ滑車１，２を２つの屈曲軸に配置し、ワイヤー６をたすき掛け状に通すことにより、関節の屈曲時、一方の滑車からほどけたワイヤー６の長さ分が、他方の滑車に巻き付くため、ワイヤー６の繰り出し長に変化がなく、駆動力および変位において、関節３の駆動とワイヤー６の駆動が非干渉となる。 （もっと読む）

【課題】 プーリとベルトとを用いることなく、安定した動作を行うことが可能な伸縮アームを提供する。
【解決手段】 第１腕要素(20)が、第１回転中心(10)を中心として回転可能であり、第２回転中心(11)を画定する。第２腕要素(60)が、第２回転中心を中心として回転可能であり、第３回転中心(12)を画定する。第１平行リンク機構(21)で画定される相互に平行な一対の辺の一方が第１回転中心を中心として回転可能であり、他方が第２回転中心を中心として回転可能である。第２平行リンク機構(61)が画定する相互に平行な一対の辺の一方が第２回転中心を中心として回転可能であり、他方が第３回転中心を中心として回転可能である。関節機構(40)が、第１平行リンク機構の、第１回転中心を通過するリンクの姿勢を固定した状態で、第１腕要素が第１角度だけ回転したとき、第２腕要素を第１腕要素に対して、第１腕要素とは反対向きに、第１角度の２倍の角度だけ回転させる。 （もっと読む）

【課題】先端側を薄型化したアーム装置を提供する。
【解決手段】アーム装置１００は、回転軸１１１を中心に回転する駆動アーム部１１０と、駆動アーム部１１０の回転に従って駆動アーム部１１０に対して回転する従動アーム部１３０と、互いに回転可能に連結された複数のリンクを有し駆動アーム部１１０及び従動アーム部１３０の回転をリンクによって同期させる同期リンク部１５０とを備え、回転軸１１１が延在する矢印１１１ａの方向で、同期リンク部１５０の少なくとも一部のリンクが駆動アーム部１１０に対して従動アーム部１３０側とは反対側に配置されている。 （もっと読む）

【課題】被搬送物の振動を抑制するとともに、軽量かつ保守が容易で高い防塵性及び高い防滴性を有するロボット及びロボット用のアタッチメントを提供する。
【解決手段】スカラ型ロボット１０は、基台１１に回動可能な回転軸１２に固着された水平方向に延びる第１のアーム１３を備え、そのアーム１３の先端部である支持部１４には第２のアーム１５が回動可能に連結され、該アーム１５の先端部には上下方向に昇降するとともに、水平方向に回転可能な主軸１６が主軸筒に支持されている。主軸１６には、上端部に上部連結部材２１が、下端部に下部連結部材２２が各々回動可能に備えられている。両連結部材２１，２２は、主軸１６に平行な２本の補助軸２３にて接続されて、該アーム１５の先端下面に設けられた回転防止部材２４の嵌合溝２４ａに嵌合されている。この構造により、主軸１６の先端部の振動は好適に抑制される。 （もっと読む）

【課題】マニピュレータ装置において、オートクレーブ滅菌を可能としつつ、高帯域の力覚をフィードバックでき、安定性と応答性を向上すること。
【解決手段】マニピュレータ装置は、スレーブマニピュレータ１、マスタマニピュレータ２、制御装置３を備える。スレーブマニピュレータ１及びマスタマニピュレータ２は、ジンバル部に平行リンクを介して結合した並進軸をそれぞれに備える。制御装置３はスレーブエンコーダとマスタエンコーダの検出信号に基づいて生成した広帯域の力覚を術具１７からマスタマニピュレータ２の手元操作部２７にフィードバック制御する。 （もっと読む）

【課題】２つの要素を相対的に移動させる装置において、構造がシンプルで、２つを隣接して配置することができ、且つ必要な剛性および強度を有する装置を提供すること。
【解決手段】本発明による２つの要素１，２を相対的に移動させる装置は、接続構成４によって直列結合される２つのリンク構成５，６を備える。第１リンク構成５は、ほぼ同じ長さで平行な少なくとも３本のリンク９，１４を備え、前記リンクは、接続構成４と要素２の間で、リンクの縦軸に沿って見るとほぼ三角形の関係で配置される。第２リンク構成６は、接続構成４と要素１の間で作用する少なくとも１つの平行四辺形を備える。第１および第２駆動構成１７，１８は、第１リンク構成５を旋回させるようになっている。第３駆動構成３３は、第２リンク構成６を旋回させるようになっている。 （もっと読む）

【課題】 プーリとベルトとを用いることなく、安定した動作を行うことが可能な伸縮アームを提供する。
【解決手段】 第１腕要素(20)が、第１回転中心(10)を中心として回転可能であり、第２回転中心(11)を画定する。第２腕要素(60)が、第２回転中心を中心として回転可能であり、第３回転中心(12)を画定する。第１平行リンク機構(21)で画定される相互に平行な一対の辺の一方が第１回転中心を中心として回転可能であり、他方が第２回転中心を中心として回転可能である。第２平行リンク機構(61)が画定する相互に平行な一対の辺の一方が第２回転中心を中心として回転可能であり、他方が第３回転中心を中心として回転可能である。間接機構(40)が、第１平行リンク機構の、第１回転中心を通過するリンクの姿勢を固定した状態で、第１腕要素が第１角度だけ回転したとき、第２腕要素を第１腕要素に対して、第１腕要素とは反対向きに、第１角度の２倍の角度だけ回転させる。 （もっと読む）

【課題】構造の簡略化を図るとともに汎用性の高い作業補助装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る作業補助装置Ａ１は、支持ベース１と、支持ベース１に対してＺ軸方向に伸縮するＺ軸駆動機構２と、Ｚ軸駆動機構２に対して基端部が接続され、この基端部に対して先端部がＸ軸，Ｙ軸方向に沿って揺動する揺動駆動機構３と、上記先端部に接続され、ＸＹＺ方向に操作可能な操作部材４と、操作部材４のＸＹＺ方向の操作力を個別に検出する操作力検出手段５と、操作力検出手段５からの情報に基づきＺ軸駆動機構２および揺動駆動機構３を操作部材４の操作方向への移動を支援するように制御する制御手段とを備える。また、揺動駆動機構３は、上記基端部に対して上記先端部がＸ軸に沿って揺動可能な第１のパンタグラフ機構と、上記基端部に対して上記先端部がＹ軸に沿って揺動可能な第２のパンタグラフ機構との複合パンタグラフ機構によって構成される。 （もっと読む）