【課題】半導体ウェーハに帯電した静電気を除電することができるとともに装置を保護することができ、かつ、構成が簡単で安価なウェーハハンドリングロボット装置およびロボットハンドを提供する。
【解決手段】ロボット本体と、前記ロボット本体に設けられこのロボット本体とは電気的に絶縁されているロボットハンド保持部と、前記ロボットハンド保持部に設けられ半導体ウェーハを搬送するロボットハンドと、前記ロボット本体と前記ロボットハンドとを電気的に接続する抵抗素子と、前記ロボット本体に接続され前記ロボットハンドを制御する制御装置と、前記ロボット本体と前記制御装置とを接地するアース手段とを有する。前記抵抗素子の電気抵抗は、前記制御装置と前記アース手段とを含めた前記ロボット本体の電気抵抗よりも大きく、１０^３Ω〜１０^６Ωが望ましい。 （もっと読む）

【課題】様々な種類の工具、特にスポット溶接ガンを該工具ホルダに簡単な態様で適用し得る工具ホルダを使用者に提供する。
【解決手段】工業ロボットは、互いに関して移動可能でありかつ工具ホルダ６ａを支持する複数個のロボットアーム４、５を有する。工具ホルダ６ａは旋回ディスク７が取り付けられている出力軸ジャーナル８を含む。工具ホルダに適用される工具とロボットとの間に電気絶縁を生じさせるために、該旋回ディスク７と該軸ジャーナル８との間に絶縁層が配備されている。 （もっと読む）

【課題】ベースから移動体への配線のためのスペースを小さく済ませ、構成の簡単化を図る。
【解決手段】フレーム１２内に、移動体１５を左右方向に直線移動可能に支持する金属製の２本のスライドシャフト２０，２１を設け、移動体１５に、それらスライドシャフト２０，２１の外周に摺動可能に嵌挿されるスライドブッシュ２４，２５を設ける。フレーム１２に、駆動用モータ１７、ボールねじシャフト１３、ボールねじナット１６等からなる駆動機構を設ける。スライドシャフト２０，２１の左端部に、電力用一次側巻線２７，信号用一次側巻線２８を巻装する。スライドブッシュ２４，２５に、電力用二次側巻線２９，信号用二次側巻線３０を設ける。一次側巻線２７，２８に交流電流を流し、電磁誘導作用により、二次側巻線２９，３０に電力，信号を伝達する。 （もっと読む）