【課題】一枚あたりの板状体の反転に要する時間を短縮化することができる板状体の反転機構を提供する。
【解決手段】遠隔的に吸引力が作用して板状体を吸脱着可能な一対のチャック４，５を互いの吸着面８，９が対向するように離間して配置したチャック部２と、前記吸着面８，９に平行な回転軸Ｓを中心として前記チャック部２を回転させる回転部３と、水平姿勢で板状体を保持する板状体保持部分１６を有し前記板状体保持部分を前記チャック部２の吸着面８，９の間の位置と、前記回転部３による前記チャック部２の回転に支障がない位置との間で、前記チャック部２に対して相対的に移動可能に構成されている板状体搬送部６と、を備える。 （もっと読む）