【課題】容易にマウントフランジの端面修正を行うことのできるフランジの端面修正方法を提供する。
【解決手段】フェイシングデュアルダイサーにおけるフランジの端面修正方法であって、第２スピンドル側６２から延出して第１フランジ６４の端面に対面するように研削部材９８を配設するステップと、研削部材９８が第１フランジ５６の端面に接近する方向へ第２切削手段８と第１切削手段６とを相対移動させて第１フランジ５６の端面６６を修正するステップと、第２ハウジング６０側から研削部材９８を取り外すとともに、第１ハウジング５４側から延出して第２フランジ７２の端面７４に対面するように研削部材９８を配設するステップと、第２スピンドル６２を回転させつつ、研削部材９８が第２フランジ７２の端面７４に接近する方向へ切削手段６，８とを相対移動させて第２フランジ７２の端面７４を修正するステップと、を具備した。 （もっと読む）

【課題】 ピンの保持状態の定量的な管理を可能とし、これにより、加工精度の安定化および管理の容易化を可能とした動力伝達チェーン用ピンの製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】 ピン14が適正な保持力で保持されているかどうかを判定する保持力判定手段36が設けられている。保持力判定手段36は、アンローディング手段35に設けられてピン14の引き抜き力を検知するロードセル（センサ）54と、センサ54で検知されたピン14の引き抜き力が所定値を下回った場合に板ばね交換信号を出力する処理手段55とを有している。 （もっと読む）

【課題】同一の設備で、短時間のうちに粗研削から仕上げ研削までを行って高精度な仕上げ面を得ることができるワーク研削装置、ワーク研削方法、エンジンバルブ研削装置、及びエンジンバルブ研削方法を提供する。
【解決手段】ワーク２を把持して研削砥石１９によりワーク２の被加工面４Ｃを研削するワーク研削装置３において、前記研削砥石１９が、一の砥石体の研削面２５に粗研削を行う粗研削領域２５Ｃ１と仕上げ研削を行う仕上げ研削領域２５Ｃ２とを区別して備え、粗研削領域２５Ｃ１を被加工面４Ｃに当接させて、トラバース加工により被加工面４Ｃの粗研削を実施し、仕上げ研削領域２５Ｃ２を粗研削実施後の被加工面４Ｃに当接させて、プランジ加工により被加工面４Ｃの仕上げ研削を実施する構成とした。 （もっと読む）

【課題】ディスクの加工を精度良く行うことができると共に、ディスクを量産できるトロイダル型無段変速機のディスクの研磨装置および研磨方法を提供すること。
【解決手段】第１ディスク１０の被研磨軌道面４１と、第２ディスク１１の被研磨軌道面４２との間に第１砥石１を挟持した状態で、第１ディスク１０と第２ディスク１１とを同時で回転させて、第１ディスク１０の被研磨軌道面４１と、第２ディスク１１の被研磨軌道面４２とを同時に研磨する。 （もっと読む）

【課題】ハブ部を薄肉化した場合でも、寸法精度を十分に高めることが可能なハブ一体軸を提供する。
【解決手段】板材の塑性加工により軸部２１及びハブ部２２を一体に有する素形材３０成形し、この素形材３０のうち、少なくとも軸部２１の外周面２１ｂ及びハブ部２２の回転体搭載面（鍔部２２ｃの上側端面２２ｃ１）に研削仕上げを施す。 （もっと読む）

【課題】ＳＵＨ３５（ＪＩＳ Ｇ４３１１）からなるエンジンバルブを研削加工する際に、シャフトの端部の被研削面に早期に研削焼けが生ずるのを抑制するエンジンバルブの研削加工方法を提供する。
【解決手段】ｃＢＮ硬質砥粒を備える電着砥石で研削加工する際の条件について検討を行った。その結果、研削の際に研削部分に供給される加工油（本願において、研削油、という）を選択することにより、研削焼けが生じるまでの期間を劇的に延ばすことができ、さらに、電着砥石に固着される硬質砥粒を特定することにより、この期間を延ばすことができる。つまり、本発明は、ＳＵＨ３５からなるエンジンバルブを研削の対象とし、ｃＢＮ硬質砥粒を備える電着砥石で研削加工するものであり、動粘度が１２ｍｍ^２／ｓ以下の不水溶性の研削油を用いることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】矩形基板を棒状基板に効率よく切断するとともに切断面を効率よく研磨することができる切断研磨加工装置を提供する。
【解決手段】矩形基板１０を保持する保持テーブル機構と、矩形基板１０を分割予定ライン１０１に沿って切断する切削ブレード５４２と切断面を研磨する研磨ホイール５４３とを有する複合工具を備えた加工手段とを具備している。保持テーブル機構は支持基台３２と矩形基板１０を支持する保持面を備えており、保持テーブル３３には送り治具１１と、治具送り手段と、送り治具１１に接合された矩形基板１０を吸引保持する吸引保持手段と、送り治具１１を保持面に押圧して送り治具１１の動きを規制する押圧手段３７と、送り治具１１に接合された矩形基板１０の自由端部を吸引支持する支持部材３８１と支持部材３８１を該保持面と直交する支持軸を中心として旋回せしめる旋回機構３８２を備えた基板端部支持手段３８とが配設されている。 （もっと読む）

【課題】修正の時間を増大させないマウントフランジの端面修正方法を提供する。
【解決手段】研削部材とマウントフランジの端面とを対向させてフランジ端面修正治具を保持テーブルで保持する保持ステップと、撮像手段で該研削部材と該端面とを撮像して撮像画像を形成する撮像ステップと、該撮像画像をもとに該研削部材と該マウントフランジの端面とを当接させるために、該保持テーブルと該マウントフランジとを接近するＹ方向に相対移動させるべき移動量を算出するＹ移動量算出ステップと、該Ｙ方向算出ステップで算出された該移動量に基づいて、該保持テーブルと該マウントフランジとをＹ方向に相対移動させて該研削部材と該マウントフランジの端面とを当接させる当接ステップと、該撮像画像をもとに端面修正開始の基準位置を決定する基準位置決定ステップと、該マウントフランジを回転させて該研削部材により該端面を研削して修正する修正ステップと、を具備。 （もっと読む）

【課題】 マウントフランジの寿命を縮めず、端面修正の時間を増大させることのないマウントフランジの端面修正方法を提供することである。
【解決手段】 マウントフランジの端面修正方法であって、研削部材とマウントフランジの端面とを対向させてフランジ端面修正治具を保持テーブルで保持する保持ステップと、該保持テーブル及び該フランジ端面修正治具と該マウントフランジとの間に電圧を印加する電圧印加ステップと、該研削部材と該マウントフランジの端面とを当接させるために該保持テーブルと該マウントフランジとを接近する方向に相対移動させる相対移動ステップと、該研削部材と該端面とが接触した際の電気的導通を検知する導通検知ステップと、該導通検知ステップにおいて検知された電気的導通に基づいて、端面修正開始の基準位置を決定する基準位置決定ステップと、該マウントフランジを回転させて該研削部材により該端面を研削して修正する修正ステップと、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】研削熱の影響による静圧パッドの局部的な熱膨張を少なくしてワークとの隙間をその頬全面で均一化でき、ワークに対する静圧支持力がワークの略全面で安定して研削精度の高精度化と安定化を実現することができるようにする。
【解決手段】薄板状のワークを両面から流体の静圧により非接触支持する一対の静圧パッドと、この静圧パッドにより非接触支持されたワークを回転させるキャリアと、各静圧パッドの切り欠き部に配置され且つワークを研削する研削砥石とを備え、各静圧パッド、キャリアの外周部に配置されたキャリアリングを熱膨張係数の低い材料によりを構成する。熱膨張係数の低い材料はセラミック材が適当である。 （もっと読む）

【課題】被研削材である軸受の取り付けが容易な軸受研削用治具の提供。
【解決手段】中空回転軸１２に軸承された回転テーブル７上に備えた円筒状治具ハウジング材３の頭頂部に設けた２段環状筒構造のベアリングケース４と、被研削材である軸受ｗが前記ベアリングケース４内に案内された後にこのベアリングケースに固定される軸受の外輪抑え５と、前記ベアリングケース４に案内された軸受ｗの内輪ｗ_ｉ底部を加圧固定する軸受の内輪加圧部材１５を取り付けたクランプフランジ１４と、前記クランプフランジを上下に移動させるクランプフランジ昇降手段２１と、前記クランプフランジを軸承する回転軸１２を回転させる回転駆動手段２５を備える軸受研削用治具１。 （もっと読む）

【課題】半導体基板裏面を高スループットで研削、研磨加工し、基板を薄肉化・平坦化することができる異物の付着が少ない半導体基板を製造する平坦化装置の提供。
【解決手段】半導体基板の裏面研削加工ステージ前にエッジ部をテープ研磨する位置あわせ機能付きエッジ研磨機器１５０を設け、エッジ研磨することにより半導体基板の割れやエッジ部チッピング防止を図り、基板裏面研磨ステージ後に薬剤洗浄機器９を設け、平坦化加工された極薄厚の半導体基板に付着する粒径１μｍ以下の異物の個数を１００個以下にできる。 （もっと読む）

【課題】端面修正に際してフランジ端面修正治具を保持させるためにワーク用の保持手段の交換を要せず、作業効率を向上させる。
【解決手段】砥石５１と砥石５１を固定する固定部５２と固定部５２を支持する基台部５３とを有するフランジ端面修正治具５０を用いてフランジ３６の端面３６ｃを修正する際に、負圧によってワークを保持する保持面１１を有する保持手段１０に、フランジ端面修正治具５０の基台部５３を、保持面１１以上の面積を有し少なくとも基台部５３と保持面１１とに挟まれる領域に貫通孔６１を有する端面修正用シート６０を介して保持させることで、保持面１１の大きさに関係なくフランジ端面修正治具５０を保持手段１０上に負圧によって保持させることができるようにした。 （もっと読む）

【課題】切削ブレードの取り付けられるフランジの支持面を簡単に修正可能な修正器具を提供する。
【解決手段】修正器具８０は、ブレードマウントの係合軸を受け入れる開口部８２ａとこの開口部を囲繞し固定フランジの支持面に作用する作用部８２ｂとを有する作用体８２と、この作用体を支持する握り体８４と、作用体の作用部に貼着され固定フランジの支持面を研磨する研磨シート８６とから構成される。固定フランジの支持面に研磨シートを圧接させて修正器具の握り体を左右に回動することにより、支持面に付着したごみを除去して固定フランジの支持面を滑面に修正する。 （もっと読む）

【課題】インク吐出口を開口させたインクジェットヘッドマニホールドのインク吐出面の加工精度を向上させることで、インクジェットヘッドによる印刷品質を高める。
【解決手段】本発明のインクジェットヘッドの研磨装置７１は、水平面に沿って研削面７６ａを回転変位させつつ自転する砥石７６と、後にオリフィスプレート３が接合されるインクジェットヘッドマニホールド２を固定するためのヘッド固定部材７３と、ヘッド固定部材保持機構７４とを備える。上記のヘッド固定部材７３は、固定したインクジェットヘッドマニホールド２のインク吐出面２ｅを摺接させる状態で砥石７６の研削面７６ａ上に載置される。また、ヘッド固定部材保持機構７４は、インクジェットヘッドマニホールド２の固定されたヘッド固定部材７３の重心位置を、砥石７６における研削面７６ａ上の回転中心から偏らせた位置で、ヘッド固定部材７３を自転可能に保持する。 （もっと読む）

【課題】サイクルタイムの短縮による生産性の向上と、製品歩留まりの向上を図ることのできるアンギュラ玉軸受の差幅研削方法及び装置を得る。
【解決手段】 回転軸２１に連動して回転する内輪１４又は外輪１３の回転軸２１とは逆側の端面の実際の差幅を差幅検出手段５１によって検出しつつ、回転軸２１とは逆側からその端面に当接される砥石６１で内輪１４又は外輪１３の端面研削を行う際には、回転軸２１内に穿設された研削水流路２４を介してアンギュラ玉軸受１１の回転軸側端面に供給される研削水により、アンギュラ玉軸受１１の内部洗浄を行いつつ研削を実施することで、研削くずが軸受内部に進入することを防止できる。 （もっと読む）

【課題】ウエハの生産性の低下を防止すること。
【解決手段】シリコンブロック１８をスライス加工するに際して、二つのブロック片１８ａ、１８ｂの少なくとも各一方端面を、予めブロック片１８ａ、１８ｂの中心軸に対し垂直に研削して平坦化し、次いで平坦化された端面同士を突き合わせ、１つのシリコンブロック対としてその中心軸に対して垂直にスライスするシリコンウエハの製造方法。 （もっと読む）

【課題】砥石軸スライドの案内中心線及び送り装置の駆動作用線が略同一直線上に配設され、かつ砥石軸回転中心をこれらの中心からわずかにオフセットさせて、スライダの微少傾きを防止する。
【解決手段】基台１１の上部にはコラム１３が立設され、該コラム１３の上部には駆動モータ４６を装着した上部ベース１４が取り付けられている。コラム１３に摺動自在に嵌挿されたスピンドルケース２８の上部には駆動モータ４６と一体になったボーネジ４５が取り付けられている。スピンドルケース２８には砥石スピンドル５０がビルトインモータ４９により回転自在に装着されている。砥石スピンドル５０の中心は幅方向がボールネジ４５の中心と同じで、前後方向の中心がボールネジ４５の中心に対してわずかにオフセットさせている。 （もっと読む）

【課題】 板状の基材と基材上に設けられた研磨層からなる研磨材の自転及び公転を伴う遊星運動により板状部材を研磨することができ、板状部材と研磨材との接触は面接触状態となり、この面接触状態での研磨加工のために相互の接触面積が大きくなって研磨材と板状部材との接触圧力を小さくすることができ、それだけ研磨加工に伴う板状部材の反り変形を防ぐことができ、板状部材の平坦度や平滑度を向上することができると共に研磨能力を向上することができる。
【解決手段】 板状部材Ｓを載置可能な載置部材２と、研磨加工する研磨材６をもつ研磨ヘッド５と、上下方向に移動動作させる移動機構７とを備えてなり、研磨材は板状の基材６ａと基材上に設けられた研磨層６ｂとを有してなり、研磨ヘッドに研磨材を保持可能な保持部材８及び保持部材を水平方向に遊星運動させる遊星歯車機構９を設けてなる。 （もっと読む）

【課題】ゲッタリングシンク(gettering sink)効果を維持するとともに抗折強度を確保しつつウエーハの内部に含有している銅（Cu）等の金属原子を減少させることができるウエーハの研削方法を提供する。
【解決手段】研削装置を用いて基板１０の表面にデバイスが形成されたウエーハを研削する方法であって、チャックテーブル６１の保持面にウエーハの表面側を保持し、研削ホイール４を回転しつつ研削送り手段を作動して研削送りするとともに研削水を供給することによりウエーハの裏面を研削し、ウエーハを所定の厚さに研削する研削工程と、研削工程が終了した後に研削送り手段による研削送りを停止した状態で研削ホイール４を回転しつつキレート剤を混入した研削水を供給することによりウエーハの裏面をスパークアウト研削するスパークアウト研削工程とを含む。 （もっと読む）