【課題】硬質材料の研磨を効率よく行うことができる研磨方法及び研磨装置を提供する。
【解決手段】多数の砥粒１６を含有した砥石１４と、砥石車１４を回転駆動させる駆動部１７と、を備える研磨装置１０を用いて被研磨部材２３を研磨するに際し、砥石１４の研磨面１５の目つぶしを行う目つぶし部材１８と、目つぶし部材１８を保持固定し、移動可能に備えられた目つぶし部材保持手段２０と、駆動部１７及び目つぶし部材保持手段２０を制御する制御部を備えたものを用い、被研磨部材２３の研磨の際に、制御部によって、目つぶし部材保持手段２０を移動させて目つぶし部材１８を研磨面１５に常時押し当て、砥粒１６の目つぶれの状態が一定になるように制御しながら被研磨部材２３を研磨する。 （もっと読む）