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Fターム[3C047FF00]の内容

研削機械のドレッシング及び付属装置 (4,541) | 付属装置一般 (1,032)

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【課題】本発明は、使用済み切削油組成物と切削粉末とを含む排油液から、簡単な操作により、高い分離効率で切削粉末を分離し且つ高い回収率で油分を回収することにより、切削油組成物の再生効率の向上を可能とするインゴット切断方法を提供する。
【解決手段】固定砥粒ワイヤソー用切削油組成物を用いて固定砥粒ワイヤソーにてインゴットを切断するインゴット切断方法であって、前記固定砥粒ワイヤソー用切削油組成物は、特定のポリエーテル化合物を30〜100重量%含有し、インゴット切断方法は、インゴットを切断する切断工程と、排油液から、少なくとも前記切削粉末を除去する粉末除去工程と、排油液から少なくとも切削粉末を除去して得た残液をインゴットの切断に再使用する工程とを含む。前記粉末除去工程は、前記ポリエーテル化合物を主成分とする上層、前記水を主成分とする中間層、前記切削粉末の沈殿層(下層)とに分離する工程を含む。 (もっと読む)


【課題】本発明は、効果的に不純物を除去したシリコン屑を回収することができるシリコン含有廃液処理方法を提供する。
【解決手段】本発明のシリコン含有廃液処理方法は、水溶性クーラントを供給しながらシリコン塊を機械加工することにより排出される廃液から再生クーラントと再生シリコン塊を得るためのシリコン含有廃液処理方法であって、前記廃液または前記廃液の濃縮分を蒸留することによって前記再生クーラントとシリコン回収用固形分とに分離する工程と、前記シリコン回収用固形分を洗浄液中に分散させ洗浄した後、前記シリコン回収用固形分と液分とに固液分離する工程と、前記シリコン回収用固形分を塩基性水溶液中に分散させ洗浄する工程と、前記塩基性水溶液と前記シリコン回収用固形分とを固液分離することなく、前記塩基性水溶液に酸性水溶液を添加することにより、酸性水溶液中で前記シリコン回収用固形分を洗浄する工程とを順次含むことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】構成の簡素化、装置の小型化を図る。
【解決手段】タンク82に貯留されている静圧兼冷却油83は、静圧用ポンプ91により、第1及び第2のスライド部101,103へ静圧油として、また、ワーク冷却用ポンプ92により、ワークの加工部分へ冷却用油として、さらに、スピンドル冷却用ポンプ93により、砥石スピンドル21〜23の被冷却部分に、それぞれ供給される一方、ベッド1を伝わって油回収皿81に回収されて、第1乃至第3のフィルタ85〜87により濾過されて、第1及び第2のタンク圧送用ポンプ88,89によりタンク82に圧送され、貯留されて、循環的に用いられるようになっている。 (もっと読む)


【課題】 加工水を節約可能な加工装置のアイドリング方法を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工水を供給しながら加工を施す加工手段とを備えた加工装置のアイドリング方法であって、加工水を間欠的に供給しながらアイドリングを遂行する。好ましくは、間欠的に供給される加工水は10秒の間に1〜2秒供給される。 (もっと読む)


本開示は、概して、例えば単結晶シリコンインゴット若しくは多結晶シリコンインゴット等のシリコンインゴットを切断することに由来するソーカーフ及び使用済み研磨スラリーからシリコンを回収する方法に関する。より詳細には、本開示は、結果として得られるシリコンが、太陽電池グレードシリコン原材料等の原材料として使用されるように、ソーカーフ又は使用済みスラリーからシリコンを分離し浄化する方法に関する。
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排出スラリー中に含まれた固体成分から懸濁流体を完全に分離する方法であって、排出スラリーは、研磨剤又は研磨剤以外であり、固体成分は、単結晶若しくは多結晶シリコンの材料、又は石英若しくは他のセラミック材料の切断操作又は他の機械的操作から生じ、又は、このような懸濁液の先の遠心分離により得られたスラッジ中に含まれる。向流型の1つ又はそれ以上の段階を介してスラリー中に含まれた全固体成分を即座に分離するステップを含み、前記段階が、溶媒又は溶媒の混合物を用いた懸濁流体の抽出、溶媒を用いて希釈された懸濁液の沈殿、懸濁液及び溶媒の混合物により構成された上澄みのオーバーフローによる回収を含む。オーバーフローによる最後の回収で残された残留相が、存在する全ての固体のろ過によって最終的に分離され、一方、オーバーフローによる第1の回収から得られた溶媒及び懸濁流体の混合物から、懸濁流体が、蒸留によって回収される。
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本発明は、基板材料からウェハ状のスライスを製造する、特に半導体デバイスの製造において使用するための方法及びシステムに関する。この方法は、研削粒子を表面上に有するカッティングワイヤを備えるスライス切断デバイスを用意するステップと、約30μS/cm以下の導電率に対応するイオン強度を有する水性冷却用及び潤滑用流体を用意するステップと、前記カッティングワイヤが接触し、前記基板材料を切断する切り溝内に、前記切り溝領域からの粉末基板材料の除去を促進しその結果使用済み流体となる前記冷却用及び潤滑用流体を分配しながら前記基板材料を前記カッティングワイヤで複数のスライスに切断するステップと、前記使用済み流体を前記切断デバイスから取り除き、前記粉末基板材料を前記使用済み流体から回収するステップとを含む。 (もっと読む)


本発明は、基板材料を複数のウェハ状スライスに切断する工程から得られた使用済み研磨スラリーを処理するための方法及びシステムに関するものであり、前記スラリーは潤滑流体、未使用研磨粒子、及び微粉を含む。この方法は、使用済みスラリーを第1の沈降ステップで未使用研磨粒子を含む固形濃縮物と固形物減損スラリーとに分離するステップと、その後、クロスフロー濾過により固形物減損スラリーを微粉含有画分と固形物及び微粉減損再生潤滑流体とに分離するステップとを含む。 (もっと読む)


【課題】簡易な構成にして、クーラント中の微細スラッジを効率よく分離排出することができるクーラントタンクを提供することを課題とする。
【解決手段】底面中央部に凹部2を設けたタンク1と、その底面及び内側面下部に沿って摺動してスラッジを凹部2に集める回転方向に湾折曲するスクレーパ11と、スクレーパ11を回転させる手段6と、凹部2に集められたスラッジを吸引排出する手段5、12を備えて成る。スクレーパ11は、タンク1の上面に渡されたベース板3に設置された軸受8によって回転自在に支持されて、下端部が凹部2直近に位置する回転筒7の下端部に取り付けられる。 (もっと読む)


【課題】流体中に含まれる磁性粒子を効率良く分離・除去するための磁性粒体分離装置を提供する。
【解決手段】磁性粒子を含む被処理流体が軸直交する接線方向から導入される流入口3を備え、下端部に排出を備えるサイクロン式処理容器2と、サイクロン式処理容器2の中央に軸方向に設けられ、処理流体を流出する筒状流出通路6と、筒状流出通路6の下端に設けられた導入口7と、サイクロン式処理容器2の側壁の外側に配設された永久磁石部材10と、永久磁石部材10と側壁間に配設され、永久磁石部材10がサイクロン式処理容器2内に対して作用する磁界をシールドするシールド手段20と、シールド手段20を磁界が作用する方向と直角な方向に移動する移動手段30とを備えている。 (もっと読む)


【課題】対象物より反射して戻る超音波振動を原因とする超音波振動子の特性変化という現象に対して、根本的な解決策を提供する。
【解決手段】内部に有する液室108に振動輻射面106aが接するように超音波振動子106を内蔵するケーシング102の液室108に給液パイプ(供給口配管110、給液用配管203)を介してクーラント201を供給し、液室108に連通するようにケーシング102に形成されたノズル107からクーラント201を噴射させ、この際、超音波発振回路によって超音波振動子106を駆動してノズル107から噴射されるクーラント201に超音波振動を重畳させる。そして、超音波振動子106を駆動するための超音波発振回路の出力に基づいて超音波振動中の超音波振動子106の特性(例えばインピーダンス)を測定するに際して、ノズル107から吐出されるクーラント201の流れに別経路からの液体を注入する。 (もっと読む)


【課題】大きな費用を掛けず、人手も掛けず、作業を中断することなく、自動で含水率の低い磁性粉を連続的に除去する。
【解決手段】 磁性粉除去装置は、汚液槽11と、磁性粉Sを汚液槽11内から汚液槽11外まで搬送するためのコンベヤ12とを備えている。コンベヤ12は、搬送面に複数の横桟31がベルト移動方向に一定間隔で設けられているベルト25を有している。ベルト25は、汚液槽11内を前向きにのびた送り側経路32を有している。送り側経路32を移動中のベルト25の上方に磁石73が配置されている。磁石73に吸引された磁性粉は、送り側経路32を移動中のベルト25の横桟31によって掻取られうるようになされている。 (もっと読む)


【課題】加工効率面からは潤滑性と冷却性の両方をバランスよく満たし、しかも腐敗しにくく、また環境面からは廃液処理性に優れた切削・研削加工用油剤を用いて、切削・研削加工する方法を提供すること。
【解決手段】被加工部材を切削・研削加工する方法において、極微小水滴からなる水分を組成物全量に対し0.01〜20質量%含有する切削・研削加工用油剤を加工部位に供給することを特徴とする、潤滑性、冷却性ともに優れ、しかも廃液処理が容易な切削・研削加工方法。 (もっと読む)


【課題】 作業性が容易であり、また、効率よくツルーリングを行う。
【解決手段】 砥粒が固定された複数本のワイヤーWを並べて、ワイヤーWに張力を与えながら巻き取るワイヤー巻取手段10と、回転軸方向に作用面が向く回転工具Bを保持し、回転させながらワイヤー巻取手段10に回転工具Bを押し当てる工具保持回転押圧手段20と、を備え、ワイヤーWが1本からなり、回転工具Bが押し当てられる前後の位置にローラーLが設けられ、これらローラーLにワイヤーWを巻きつけて、回転工具Bが押し当てられる位置で当該ワイヤーWを複数本並べた状態としたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 製造が簡単で寿命が長くツルーイング性能の安定したツルーイングロール及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 ダイヤモンド粒子層(16a)を超硬ベース(16b)上に一体焼結したダイヤモンド焼結体の柱状片(16)を、ロールベース(11)の外縁部に前記ダイヤモンド粒子層(16a)がロールベース(11)の回転方向の後方を向き且つ該柱状片(16)の端面がツルーイング面(15)に露出するように複数個固定する。 (もっと読む)


【課題】逆洗切替時のサージ圧力、ハンチング等の振動や騒音の発生を防止し、逆洗動作を安定させ、クーラントの清浄度、運転状況を安定させた自動逆洗フィルタ装置を提供する。
【解決手段】円筒状のフィルター32の一部が摺接可能にされた逆洗口36を備えた逆洗フィルター3と、逆洗口と第一の戻りライン5間を開閉する逆洗バルブ4と、インバータ9により制御されるインバータモータ8に駆動される遠心型ポンプ2を有するクーラント装置10において、インバータモータの回転数を低くした後、逆洗バルブを開とする。通常時間、逆洗バルブ開時までの時間、逆洗時間等をタイマーで設定する。塵埃溜まり38と第一戻りライン又は第二戻りライン7間とを開閉するクリーンバルブ6を備えクリーニングバルブの開閉時間をタイマーで設定する。 (もっと読む)


【課題】鋼素材、特にスラブなどの研削作業に伴って発生する高温の研削屑の処理を、特段の動力源を使用せず、かつ、長期間に亘って使用し得る鋼素材研削装置を提供する。
【解決手段】鋼素材Sの表面SAを研削可能に構成してなる鋼材研削装置本体20の走行通路11に沿って延在し、該鋼素材研削装置本体による研削作業に伴って発生する研削屑を落とし込む研削屑落し込み溝30内に、鋼素材研削装置本体の後退時においてのみ、前記落し込み溝内に堆積した研削屑を移動可能とする研削屑移動用スクレーパ50を配置する。 (もっと読む)


【課題】ツルーイングロールと砥石車との接触を高感度に検出できるようにする。
【解決手段】支持剛性を制御可能な制御軸受35,36にツルーイングロール30を取付けたツルア軸34を非接触で回転可能に支持し、ツルーイングロールに砥石車25を接触させ、ツルーイングロールと砥石車との接触によるツルア軸の変位に基づいてツルーイングロールと砥石車とが接触した位置を検出し、ツルーイングロールと砥石車とが接触した位置を基準にして、ツルーイングロールによって砥石車をツルーイングする。また、制御軸受によるツルア軸の支持剛性を、ツルーイングロールと砥石車の接触検出時には小さく、砥石車のツルーイング時には大きくするようにした。 (もっと読む)


【課題】蛇腹内への粉塵の侵入をより低減することのできるガイド装置を提供する。
【解決手段】直線状に延設されたガイドバー11と、ガイドに沿って往復移動する滑り軸受け16、17と、滑り軸受け16、17の移動方向一端側に配置されてガイドバー11を覆い、滑り軸受け16、17の往復移動に伴って伸縮する第1の蛇腹14、第2の蛇腹15と、第1の蛇腹14の内部と第2の蛇腹15の内部とを連通する第2流路11b、第4流路12a、分岐管24、分岐管25、第5流路13a及び第3流路11cとからなるガス連通路と、ガス連通路を構成する分岐管24、分岐管25に対して大気圧を超える圧力を付与するガス供給源27を備えるガイド装置10。 (もっと読む)


【課題】噴射孔の摩耗を防止し、研削液の層流状態を確保し、研削効率のよい、省エネの噴射ノズル及び研削加工方法を提供。
【解決手段】微細孔2からなる噴射孔列、拡張室6、供給口5を備えた噴射ノズル10の材質をステンレス等の鉄系材質とし、少なくとも噴射孔2の孔内面11及び出入口を浸炭処理する。この噴射ノズルを用いて、供給口より研削液21を供給して、研削液を前記噴射孔より、略層流状態で噴出させ、略層流状態をほぼ確保しながら研削加工部22に供給し、研削加工を行う。研削液は絶対濾過度20〜30μmのフィルターを介して供給する。 (もっと読む)


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