【課題】ブレード及び被切削物における付着物の除去及び抑制を効果的に実行して、切削品質及びブレードの寿命性の向上を図る。
【解決手段】ノズル４１に接続した給水管４５には、純水中にマイクロナノバブルＢを発生させるマイクロナノバブル発生器４９が接続され、ノズル４１の先端はブレード２６とワークＷの被切削部近傍に配置されている。ノズル４１の吐出口部には圧力維持バルブ５１が設けられ、マイクロナノバブル発生器４９で生成した加圧過飽和状態のマイクロナノバブルＢを含む切削水Ｃが、切削加工中にノズル４１から吐出して、ブレード２６とワークＷの被切削部に至近距離から供給される。 （もっと読む）

【課題】砥石と遊離砥粒とを用いて研削を行うことにより、加工レートと良好な面粗さとを共に得ようとする技術が提案されている。しかし、従来の砥石は砥粒とボンド材とが硬く結合しているため、供給された遊離砥粒を十分に保持することができず、供給される遊離砥粒を加工レートと良好な面粗さの向上に活かすことができなかった。
【解決手段】微粒金属体と、前記微粒金属体の表面に突き刺さって配置される高硬度の微粒石と、微粒石が突き刺さった微粒金属体を分散状態で形状維持するための樹脂とからなる砥石などを提供する。 （もっと読む）

【課題】プーリと摩擦伝動ベルトとの間で異音が生じることを抑制でき、且つ、製造にかかる手間及び時間が少なくて済む、摩擦伝動ベルトの製造方法、摩擦伝動ベルト、及び摩擦伝動ベルトの製造装置を提供する。
【解決手段】圧縮ゴム層５に心線及び短繊維が埋設された構成を有するベルトスリーブ１の圧縮ゴム層５の外周面７に、プーリに当接する摩擦伝動面を形成する工程が施される。工程では、ベルトスリーブ１を一対のロール５１，５２に巻き掛け、ベルトスリーブ１にテンションを生じさせた状態で、ベルトスリーブを一対のロール５１，５２を用いて回転させる。この際、研削ホイール５３は、回転させられながらベルトスリーブ１の外周面７に当接されている。また、ベルトスリーブ１と研削ホイール５３との接触面１６，５６には界面活性剤が供給される。 （もっと読む）

【課題】スラリーが供される配管内や研磨装置内などに残留するスラリー残留物を確実に除去でき、かつ、フラッシング時間の短縮化を図れるスラリー循環装置を提供する。
【解決手段】スラリー循環装置３は、第１，第２供給タンク４１，４２と、第１，第２供給タンク４１，４２に貯留された液体を第１，第２ＣＭＰ装置２１，２２に供給する供給ライン４３と、第１，第２ＣＭＰ装置２１，２２に供給される液体の供給元を切り替える第１，第２循環弁４３６，４３７と、第１，第２ＣＭＰ装置２１，２２から排出される液体を第１，第２供給タンク４１，４２に回収する回収ライン６３と、液体の回収先を切り替えるセパレータ６４と、第１，第２供給タンク４１，４２に純水を補給する第１，第２ＤＩＷ補給部５３，５４と、第１，第２供給タンク４１，４２にアルカリ溶液を補給するアルカリ溶液補給部５５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、手に持った刃物の刃を宛がうだけで所定の研磨角度が与えられ、研磨角度を変更するための刃支持台の交換を容易に行うことができ迅速な研磨作業を行える電動包丁研ぎ機を提供することを目的とする。
【解決手段】 研磨砥石８を有する回転研磨部材９が、回転用駆動装置により回転される回転軸７に一体回転可能に固定されている電動刃物研ぎ機１であって、手に持っている刃物の刃を宛がうことにより刃に所定の研磨角度を与える刃支持面４４を有する刃支持台４３が、交換可能に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】 薄刃包丁などのように刃の両面を研磨する必要のある刃物を研磨する際に、刃物の刃の先端を母線の両端いずれの延長方向に向けて刃を研磨する場合であっても、刃物の柄及びその刃物を持つ手が研ぎ機から干渉を受けることなく円滑に刃を研磨できる電動刃物研ぎ機を提供することを目的とする
【解決手段】 研磨砥石８の研磨面１９は円錐面に形成され、回転用駆動装置はハウジング５の中に取り付けられており、刃物の刃の研磨はその刃物の長さ方向を前記研磨面１９のほぼ母線方向に合わせて行う電動刃物研ぎ機１であって、刃物の刃の先端を母線２３の両端いずれの延長方向に向けて刃を研磨する場合であっても、刃物の柄及びその刃物を持つ手が研ぎ機から干渉を受けることなく、刃物を研磨面１９のほぼ母線方向に合わせると共に刃を研磨面１９に宛がうことを可能にする手段を有する。 （もっと読む）

【課題】 円筒状永久磁石などの円筒体を面取りする際に用いられる砥石の寿命を延ばし、加工費を低減することのできる円筒体の面取り装置及び面取り方法を提供すること。
【解決手段】 円筒状永久磁石１１の面取りをする面取り装置１０であって、円筒状永久磁石１１の一方端面１２が台座面１３に接するように円筒状永久磁石１１を載置する台座１４と、円筒状永久磁石１１を台座１４の所定位置に固定する凹部１５と、所定位置に固定された円筒状永久磁石１１の中心軸Ｘ１と同一軸上にその回転軸Ｘ２が位置している状態で、円筒状永久磁石１１の他方端面１６の周縁１７を面取りする円板状砥石１８と、円筒状永久磁石１１と台座１４により形成される円筒状永久磁石１１の内部空間１９に研削液２０を供給する供給管２１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】研削砥石による研削加工部に供給された研削水の流動性を良好にすることにより、脱落した砥粒や研削砥石に詰まった砥粒を流すことができる研削装置を提供する。
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を研削するための研削手段と、研削手段による研削加工部に研削水を供給する研削水供給手段とを具備し、研削手段がスピンドルハウジングと、スピンドルハウジングに回転自在に支持された回転スピンドルと、回転スピンドルの一端に設けられたホイールマウントと、ホイールマウントに取り付けられたホイール基台とホイール基台の下面外周部に装着された環状の研削砥石とからなる研削ホイールを具備している研削装置であって、研削手段による研削加工部に供給された研削水に超音波振動を付与する超音波振動付与機構を備えている。 （もっと読む）

【課題】安定した品質のチップを効率よく得ることができる。
【解決手段】レーザー光をウェハＷ内部に照射して、ウェハＷの表面から略６０μｍ〜略８０μｍの深さに切断ラインＬに沿って改質領域を形成し（ステップＳ１０）、ウェハＷの表面から略５０μｍの基準面までウェハＷを裏面から研削する（ステップＳ１２）。このとき、改質領域内のクラックが、基準面とウェハＷ表面との間に進展される。その後、研削によりウェハＷの裏面に形成された加工変質層が除去され、ウェハＷ裏面が鏡面加工され（ステップＳ１４）、ウェハＷ裏面にエキスパンドテープが貼付され（ステップＳ１６）、エキスパンドテープが外側へ拡張されると、ウェハＷが切断ラインで破断されてチップＴに分割される（ステップＳ１８）。 （もっと読む）

【課題】ハウジングを長くしなくても工具カバーをプラグと干渉することなく装着すると共に、装着した工具カバーの回り止め及び抜け止めも低コストで合理的に行う。
【解決手段】工具１０を覆うカバー部１７と、ベアリングボックス７の下部に外装されるリング状のバンド部２０とを含んでなる工具カバー１６を備え、ベアリングボックス７の後面に流体供給口１２を開口する円形突起１３を突設させたディスクサンダ１において、バンド部２０を、前バンド２２と後バンド２３とに分割して流体供給口１２を含むベアリングボックス７の外周部分に沿って外装させると共に、後バンド２３における流体供給口１２との重合部に、ベアリングボックス７への外装状態で円形突起１３が嵌合してバンド部２０の周方向の回り止めと下方への抜け止めとを行う逃げ部２９を形成した。 （もっと読む）

【課題】 加工品質の悪化や加工不良、ウエーハの破損を抑制可能なリチウムタンタレートの加工方法を提供することである。
【解決手段】 リチウムタンタレートを研削又は研磨するリチウムタンタレートの加工方法であって、リチウムタンタレートをチャックテーブルで保持する保持ステップと、該チャックテーブルで保持されたリチウムタンタレートを加工手段で研削又は研磨する加工ステップとを備え、該加工ステップでは、低温の加工水をリチウムタンタレートと該加工手段へ供給しつつ、研削又は研磨を実施する。 （もっと読む）

【課題】 ワイヤが長寿命であり、且つ加工精度が高く、信頼性の高いワイヤソー装置を提供すること。
【解決手段】 約１２０μｍの直径のワイヤ２と約１ｍｍの間隔を置いてアルミ製の超音波伝搬体１２を接合した超音波振動子１３を位置させる。超音波伝搬体１２には２個の長方形の孔１４を設け、超音波振動子１３とエポキシ接着剤を用いて接合する。そして、スラリまたは切削液１１側の超音波伝搬体１２の上面にはポリエチレン製の上面板１５を同じくエポキシ樹脂を用いて接合する。また、超音波伝搬体１２の側面にもポリエチレン製の側面板１６を、エポキシ樹脂を用いて接合する。上部位置にスラリまたは切削液１１を供給する供給装置１０を位置させる。供給装置１０はステンレス管であり、下側に多数の穴が設けられている。 （もっと読む）

【課題】装置の稼動を停止する際に、水供給配管内の水分を排出可能な加工装置を提供する。
【解決手段】親配管６８と、子配管７２ａ、７２ｂ、７２ｃと、エア供給源６６からのエアを供給するエア供給配管７８と、親開閉バルブ８２と、エア開閉バルブ８６と、子開閉バルブ８４ａ、８４ｂ、８４ｃと、親開閉バルブ８２、複数の子開閉バルブ８４ａ、８４ｂ、８４ｃ及びエア開閉バルブ８６の開閉タイミングを制御する制御手段とを具備し、制御手段は、選択された水噴出部位に水を供給する際は、エア開閉バルブ８６を閉じ、親開閉バルブ８２を開け、子開閉バルブを開けるように制御し、親配管６８及び子配管内に残留する水を排出する際は、親開閉バルブ８２を閉じ、エア開閉バルブ８６を開け、子開閉バルブ８４ａ、８４ｂ、８４ｃを全て閉じた後、子開閉バルブ８４ａ、８４ｂ、８４ｃを一つずつ開けてから閉じるように制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】迅速にワイヤの断線を検出可能なワイヤソー切断装置を得ること。
【解決手段】ワイヤ２が複数回掛け回されるガイドローラ１と、ガイドローラ１を回転させてワイヤ２を走行させるモータ９と、ワイヤ２の表面に通電性を有するアルカリ性スラリー４を付着させるスラリーノズル７と、を有し、アルカリ性スラリー４が表面に付着したワイヤ２によってシリコンインゴット６を切断するワイヤソー切断装置であって、アルカリ性スラリー４が表面に付着した走行中のワイヤ２がシリコンインゴット６を切削している際の切削抵抗を測定し、切削抵抗の検出結果に基づいてワイヤ２の断線の有無を判断する演算機１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】構成の簡素化、装置の小型化を図る。
【解決手段】タンク８２に貯留されている静圧兼冷却油８３は、静圧用ポンプ９１により、第１及び第２のスライド部１０１，１０３へ静圧油として、また、ワーク冷却用ポンプ９２により、ワークの加工部分へ冷却用油として、さらに、スピンドル冷却用ポンプ９３により、砥石スピンドル２１〜２３の被冷却部分に、それぞれ供給される一方、ベッド１を伝わって油回収皿８１に回収されて、第１乃至第３のフィルタ８５〜８７により濾過されて、第１及び第２のタンク圧送用ポンプ８８，８９によりタンク８２に圧送され、貯留されて、循環的に用いられるようになっている。 （もっと読む）

【課題】 円柱形の鉄系金属部品の稜角部の丸み付け加工をするための加工方法において、外周面側ダレ量と端面側ダレ量との近似化が容易で、更には、短時間で丸み付け加工が済む鉄系金属部品の加工方法を提供すること。
【解決手段】 円柱形の鉄系金属部品（ワーク）の両側の端面Ｗ1の角部Ｗ２に丸みＲ付けをするための加工方法。ワークＷの多数本を同時処理するバレル研磨工程により行う。該バレル研磨工程を、
１）ワークＷの角部Ｗ２を塑性変形させて、該端面Ｗ１の外周端部に、湾曲凸部ａを、前記端面Ｗ１に前記ワークの外径より小さい径の平面部ｂを残して形成する第一工程、及び、２）湾曲凸部ａを研磨除去して、端面Ｗ１の角部Ｗ２に丸みＲが形成されるようにする第二工程、とで行なう。 （もっと読む）

【課題】 加工水を節約可能な加工装置のアイドリング方法を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工水を供給しながら加工を施す加工手段とを備えた加工装置のアイドリング方法であって、加工水を間欠的に供給しながらアイドリングを遂行する。好ましくは、間欠的に供給される加工水は１０秒の間に１〜２秒供給される。 （もっと読む）

研削機、研磨機用引込式給水腕装置が、部分にループ状に形成され研削機、研磨機のベース部に１または複数の位置で固定された柔軟なホースを含む。水放出部が柔軟なホースの端部に取付けられている。付勢されたアームが、ループ状に形成された部分に係合し、ホースの移動と共に移動して該ホースに張力を作用する。該アームはローラーを有し、ホースが該ローラー上を移動する。ベース部に取付けられたマウント部が水放出部を受承すると共に、該マウント部を通してホースが移動する。マウント部を通してホースを案内するためのマウントローラーがマウント部に取付けられている。
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【課題】水を使用することなくワイヤーソーの冷却と切り粉の除去をおこない、後処理を不要とすると共にワイヤーソーの寿命を延長する。
【解決手段】ワイヤーソー１０を切断対象物に巻きつけ、ワイヤーソー駆動装置１によってワイヤーソー１０を走行駆動して切断対象物を切断するワイヤーソー切断方法において、ワイヤーソー１０にドライアイス粒子吹き付け手段２のノズル２１からドライアイス粒子を高速でワイヤーソーに吹き付け、ワイヤーソー１０に付着した切り粉を除去すると共にワイヤーソーを冷却する。除去された切り粉は集塵装置３で吸引して周囲に散逸しないように処理する。 （もっと読む）

【課題】 停電時の動圧軸受けにおけるかじり現象を回避することを可能とした工作機械を提供する。
【解決手段】 工作機械は、砥石１１を砥石軸９回りへ回転させる砥石モータ７と、砥石軸９に潤滑油を圧送する潤滑油ポンプ１３とを備える。停電が発生し、砥石モータ７への電力供給が止まった後も、砥石１１の慣性モーメントが大きいため砥石モータ７は慣性回転を続ける。この間に砥石モータ７が生成した回生電力を潤滑油ポンプ１３に供給し、動圧軸受けへの潤滑油の供給を継続させる。 （もっと読む）