【課題】構造が比較的簡単で小型化・低価格が図れ、つなぎ目の位置にスライダが斜め衝突した場合でも本来の衝撃緩衝機能が得られる衝撃緩衝機構を備えた平面モータを実現すること。
【解決手段】水平面に形成されたプラテン上にＸ，Ｙまたはその合成方向に高精度で高速に移動できるように位置制御されるスライダが設けられ、前記プラテンの外周に前記スライダの移動領域を画定するように複数の衝撃緩衝機構が設けられた平面モータにおいて、前記衝撃緩衝機構は、緩衝材としてエラストマー材料を用いることを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、移動部とバランスウェイトの重量バランスを正確かつ容易に調整することのできる垂直直動装置を提供することにある。
【解決手段】基部１２に対して垂直方向に直線移動する移動部１４と、該移動部１４を駆動する駆動手段１６と、を備えた垂直直動装置１０において、該移動部１４に対向配置され、該移動部１４との重量バランスをとるためのバランスウェイト１８と、該移動部１４と該バランスウェイト１８との間を連結し、該移動部１４の直線移動に同期して該バランスウェイト１８を直線移動させる伝達手段２０と、該バランスウェイト１８の直線移動を規定の方向に導くガイド２２と、該移動部１４とバランスウェイト１８との重量バランスがとれるように、該基部１２に対し該ガイド２２を角度変更自在に支持する支持手段２４と、を備えたことを特徴とする垂直直動装置１０。 （もっと読む）

【課題】静圧水軸受で砥石軸を支持する基板の研削装置の提供。
【解決手段】フレームＦ上に設けられたツールテーブル用セラミック製スライドＳ_ａをリニアモータ駆動により左右方向に直動駆動する静圧水軸受セラミック製スライドウエイＳ_ａ上に、砥石軸４を静圧水軸受で回転可能に支持するとともに、直動／回転複合アクチュエータにより砥石軸を直動および回転可能にした砥石軸頭１００を搭載し、ワークを保持するセラミック製ロータリーテーブルホルダーＨを静圧水軸受で支持される主軸に軸承するワークステージＷ_ｓを前記ツールテーブルＴ_ｔに対してＬ字型に配置したワークテーブルＴ_ｗ上に搭載した基板の平面研削装置１。 （もっと読む）

【課題】工作機械の当初の設置場所からの不適切な移設による機械の精度低下、機能低下、寿命低下などを防止すると共に、機械の移設先や移設履歴を知ることもできる技術手段を提供する。
【解決手段】工作機械ないしＮＣ装置のフレームの下面に設置されて設置床面を検出する距離センサ１ａと、この距離センサの検出値に変動があったときに当該変動を記憶する記憶手段２と、ＮＣ装置４に電源が投入されたときに充電されて前記距離センサ及び記憶手段に必要な電気を供給するバッテリー５と、ＮＣ装置４に工作機械３の起動指令が与えられた時に記憶手段２の内容を読取ることができない場合及び記憶手段２が変動を記憶している場合にＮＣ装置４に動作制限信号を出力する制限情報出力手段７と、リセット信号を受けて動作制限信号に基づく動作制限を解除すると共に記憶手段２の内容を初期化するリセット手段８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】パレットに取付けたワークを吸引する空気吸引管路のロータリジョイントを別に設け、切粉やクーラント液が空気吸引管路に侵入しても、流体供給管路のロータリジョイントに侵入しないようにした工作機械の回転テーブル装置を提供すること。
【解決手段】ハウジング３に回転軸５及び回転テーブル１１が回転可能に支持されている。回転軸５の中心位置から半径方向に隔たった位置に流体供給管路３１が設けられ、パレット装着用のクランプ、アンクランプ手段１７に圧力流体が供給される。回転軸５の中心位置にワークを吸引する空気吸引管路３３が設けられ、パレット１５のワーク取付け面２３に開口されている。流体供給管路３１のロータリジョイント４５と空気吸引管路３３のロータリジョイント６１を別々にして設け、空気吸引管路３３に切粉やクーラント液が侵入しても、流体供給管路３１のロータリジョイント４５側に侵入しないようにした。 （もっと読む）

【課題】水平方向に往復移動する可動子からの反動力を比較的単純な構造で抑制することが可能な反動抑制構造、及び当該反動抑制構造を備えた加工装置を提供する。
【解決手段】水平なＸ軸方向に可動する下部可動子３０を基台上に載置し、Ｘ軸方向に直交する水平なＺ軸方向に自由移動可能に設けた上部可動子用台座４０を下部可動子上に載置し、上部可動子用台座に対してＺ軸方向に可動する上部可動子を上部可動子用台座上に載置し、下部可動子上に、且つ上部可動子用台座が移動するＺ軸上に、且つ上部可動子用台座に対向する位置に、Ｚ軸方向に自由移動可能に設けた反動抑制部材を載置する。そしてＺ軸方向に振動する第１バネＳ１が上部可動子用台座と下部可動子とに接続され、Ｚ軸方向に振動する第２バネＳ２が反動抑制部材と下部可動子とに接続されている。 （もっと読む）

【課題】被加工材の端面加工を容易にするとともに、設備コストを節減することができる易削性被加工材の加工テーブルを提供する。
【解決手段】易削性の被加工材２９を加工する際に載置して固定するための加工テーブル１であって、ブロア２１により負圧が与えられる負圧空間４が上面に開放するよう形成された負圧生成基台５と、上記負圧生成基台５上に上記負圧空間４を覆うように載置され、上記負圧空間４に連通する連通路１９を有する吸引凹部１８が複数形成されたアタッチメント板６を備え、上記アタッチメント板６に対し、マウント部材２０と多孔質吸引板３０とを切り換えて設備し、被加工材２９の吸引固定方法を変更するように構成した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、種々の処理装置に組み込むことによって作業効率の向上および品質のばらつき抑制を実現するアライメント方法およびその装置を提供することである。
【解決手段】吸着テーブル４上に配設された複数の基板保持プレート１７の夫々にアライメントマーク２０を有する被処理基板１８を保持し、アライメントマーク撮像用カメラ１９で撮像して得られた被処理基板１８のアライメントマーク２０の位置データに基づいて吸着テーブル４の基板保持プレート１７に対応する両側に配設されたアライメント機構を制御し、夫々のアライメント機構に設けられた基板保持プレート用支持ピン１０ａ、１０ｂを介して基板保持プレート１７をＸ、Ｙおよびθ方向に制御して被処理基板１８のアライメントを行なう。 （もっと読む）

【課題】スラント面の低所部分に配置されたタレットを、機械全体の大型化を招くことなくＹ軸方向に移動可能に構成できる工作機械を提供する。
【解決手段】スラント型ベッド２の手前側に配置された第１タレット５を、上記ベッド２上に上記Ｚ軸方向に移動可能に配置されたベース部材８と、該ベース部材８上に上記Ｘ軸方向に移動可能に配置されたスライド台９と、該スライド台９を上記Ｘ軸方向に移動させる一対のＸ軸送り機構１０，１０と、上記スライド台９の、上記一対のＸ軸送り機構１０，１０間部分に上記Ｘ軸及びＺ軸を含む平面に直交するＹ軸方向に移動可能に配置されたラム１１と、該ラム１１に取り付けられたタレット本体１２及びタレットヘッド１３とを備えたものとする。 （もっと読む）

【課題】スラント面の低所部分に配置されたタレットを、機械全体の大型化を招くことなくＹ軸方向に移動可能に構成できる工作機械を提供する。
【解決手段】タレット５は、上記ベッド２上に上記Ｚ軸方向に移動可能に配置されたベース部材８と、該ベース部材８上に上記Ｘ軸方向に移動可能に配置されたスライド台９と、該スライド台９に上記Ｘ軸及びＺ軸を含む平面に直交するＹ軸方向に移動可能に配置されたラム１１と、該ラム１１に取り付けられたタレット本体１２とを備え、上記スライド台９にメンテナンス開口９ｆを形成し、上記ラム１１をＹ軸方向に駆動するＹ軸駆動ユニット１４を、上記スライド台９側から上記メンテナンス開口９ｆを通して該スライド台９及びラム１１に着脱可能に取り付ける。 （もっと読む）

【課題】機械全体の大型化を招くことなく、ラムのＹ軸方向移動に伴う供給ホース束の伸縮を吸収できる工作機械を提供する。
【解決手段】タレット５は、上記ベッド２上に上記Ｚ軸方向に移動可能に配置されたベース部材８と、該ベース部材８上に上記Ｘ軸方向に移動可能に配置されたスライド台９と、該スライド台９に上記Ｘ軸及びＺ軸を含む平面に直交するＹ軸方向に移動可能に配置されたラム１１と、該ラム１１に取り付けられたタレット本体１２とを備え、
該タレット本体１２にベッド側から電力，クーラント等を供給する供給ホース束１５は、上記タレット本体１２側から上記ラム１１内をＹ軸方向に延び、さらに該ラム１１の下方にてＹ軸と交差する方向に屈曲されて該交差する方向に延びるよう配索されている。 （もっと読む）

【課題】移送時には占有スペースが小さくなるよう変形することができ、復元も容易であるガントリー型作業装置の提供。
【解決手段】ベースユニットは、第１の方向に並設される二つの架台と、第１の方向と直交する第２の方向に配設され、その下端部が回転手段を介して二つの架台に接続されるガントリーフレームと、ガントリーフレームに配設され、ワークに対し作業を行う作業部を備え、ワークテーブルユニットは、ベースユニットの有する二つの架台の間に設置され、ワークを保持するワークテーブルと、それを支持するテーブル架台を備え、作業部とワークの相対位置関係を変化させることにより、ワークに所望の作業を行うことができ、非作業時においては、ワークテーブルユニットをベースユニットから分離すること、並びに、ガントリーフレームを回動させながら二つの架台の間隔を狭めることができることを特徴とするガントリー型作業装置。 （もっと読む）

【課題】搬送ビームでの搬送ストロークが足りない分を補充搬送手段で補うようにした移送システムを実現する。
【解決手段】Ｘ軸方向にスライダを移動する一対のＸ軸リニアモータを平行配置し、一対のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にＹ軸リニアモータを設け、Ｙ軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用いて吸着盤上に載置された加工対象となるワークに対して所定の処理をする位置決めステージにおいて、一対のＸ軸リニアモータに沿ってＸ軸方向に移動する一対の搬送スライダ部材と搬送スライダ部材間に橋渡しされた搬送ブリッジ部材と搬送ブリッジ部材に取り付けられてワークの下面を支持しＸ軸方向に伸びたアーム部材とを備えワークを支持してＸ軸方向に移動しステージの外に対してワークの受け渡しを行うワーク搬送手段と、アーム部材の搬送ストロークを補充してワークを搬送する補充搬送手段とを具備したことを特徴とする位置決めステージである。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を図った場合であっても、特殊車両を用いることなく輸送を可能とすると共に、基台の機械加工を容易に行うことのできるステージ装置を提供する。
【解決手段】ステージ装置１において、基台２をガントリ部９の移動方向と直行する水平方向Ｘに分割面１２，１３を境として分割可能とする。これによって、ステージ装置１を、輸送車に搭載可能な大きさの本体部１ａと分割部１ｂと分割部１ｃとに分割可能な構成とすると共に、本体部１ａと分割部１ｂと分割部１ｃとに分割して機械加工を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 装置の大型化を図った場合であっても、特殊車両を用いることなく輸送を可能とすると共に、基台の機械加工を容易に行うことのできるステージ装置を提供することを課題とする。
【解決手段】ステージ装置１において、基台２をガントリ部９の移動方向Ｙに分割面１２を境として分割可能とする。これによって、ステージ装置１を、輸送車に搭載可能な大きさの本体部１ａと分割部１ｂとに分割可能な構成とすると共に、本体部１ａと分割部１ｂとに分割して機械加工を可能とする。 （もっと読む）

【課題】本発明はワークが載置される吸着板を支持する石定盤を不要にしてワークの大型化に対応すると共に、ステージの位置精度を確保することを課題とする。
【解決手段】ステージ装置１０は、床面に固定された架台１２と、架台１２上に支持された一対のガイド部１４Ａ，１４Ｂと、一対のガイド部１４Ａ，１４Ｂ間に横架されて両端を架台１２上に支持された複数の梁１６と、一対のガイド部１４Ａ，１４Ｂに沿ってＹ方向に移動するＹステージ１８と、Ｙステージ１８の両端部をＹ方向に駆動する一対のリニアモータ２０Ａ,２０Ｂとを有する。また、梁１６には、平板状のワークが載置される吸着板２４が載置される。ワークの面積が大型化されてＹステージ１８の移動距離を延長する場合には、ガイド部１４Ａ，１４Ｂを延長することにより対応することが可能である。 （もっと読む）

【課題】ワーク載置部を支持する石定盤を不要にしてステージに位置検出精度を確保する。
【解決手段】スライダ３２Ａ、３２Ｂは、ガイド部１４の左右側面及び上面に対向するように逆Ｕ字状に形成されており、ガイド部１４Ａ，１４Ｂの左右側面に対向するヨーパッド３４，３５と、Ｚ方向で対向するリフトパッド３６とを有する。また、ガイド部の左右側面には、一対のリニアスケール２２Ａ、２２Ｂが設けられている。第１のリニアスケールは、ガイド部１４Ａの左側面に対するＹステージ１８の移動位置を測定する。また、第２のリニアスケールは、第１のリニアスケールが配されたガイド部の左側面と平行な反対側の右側面に対するＹステージの移動位置を測定する。 （もっと読む）

【課題】筐体に形成された開口部を介して治具の被保持面に対する被加工物の着脱を行う工作機械装置において、開口部から被加工物を着脱できる被保持面の面積を広く確保できる工作機械装置を提供する。
【解決手段】筐体３の内部に、被加工物Ｗが保持される被保持面１０を有する治具２と、この被保持面１０に保持された被加工物Ｗを加工する工具Ｄとが配置され、工具Ｄと被加工物Ｗとの相対位置を制御することで工具Ｄによる被加工物Ｗの加工を行うとともに、筐体３に形成された開口部５を介して被保持面１０に対する被加工物Ｗの着脱を行う工作機械装置において、被保持面１０は、開口部５の方向に所定角度で向き、互いに交わるように隣接配置された複数の被保持面１０，１０からなる。 （もっと読む）

【課題】ケーブルの状態を検出可能であって、ケーブル内に挿通されている電線等の引っ張り又は弛みによる破損を効果的に防止することができるケーブル監視装置を提供する。
【解決手段】一端が動力ケーブル２に連結されたワイヤー３、３と、ワイヤー３、３に対して常に所定の引っ張り力を付与し、ワイヤー３、３を弛みのない状態で維持する引っ張り力負荷シリンダ５と、ワイヤー３、３の他端が連結される固定端シリンダ７とを備える。また、固定端シリンダ７の近傍に、引っ張り監視近接スイッチ８を取り付け、ワイヤー３、３に対して特定値以上の引っ張り力がかかった際には、その旨を引っ張り監視近接スイッチ８にて検出可能とする。さらに、引っ張り力負荷シリンダ５の近傍に、弛み監視近接スイッチ６を取り付け、ワイヤー３、３に特定量以上の弛みが生じた際には、その旨を弛み監視近接スイッチ６により検出可能とする。 （もっと読む）

【課題】多数の工具を収納しておくことができるとともにコンパクトな構成でしかも安定性の高い工作機械を提供する。
【解決手段】工作機械システム１０は、隣接して平行に設けられた第１工作機械１１ａ及び第２工作機械１１ｂと、コントローラ１２と、ワーク移動装置１４とを備える。第１工作機械１１ａ及び第２工作機械１１ｂは、鉛直平面内において３６０°回転する回転アーム３２と、該回転アーム３２に設けられた加工主軸３６と、加工主軸３６に着脱自在な複数の工具Ｔを備えた回転マガジン８０とを有する。回転マガジン８０は、第１工作機械１１ａ及び第２工作機械１１ｂの上方に設けられている。回転アーム３２の回転中心軸と、回転マガジン８０の回転軸は同一鉛直面上に配置されている。 （もっと読む）