【課題】 被加工物毎に厚みばらつきが大きくても切削の都度切削プログラムを作成する必要がないバイト切削装置を提供することである。
【解決手段】 チャックテーブルの保持面の高さ位置とチャックテーブルで保持された被加工物の上面の高さ位置とを測定する高さ位置測定手段と、切削送り手段と切り込み手段とを制御する制御手段とを備えたバイト切削装置であって、制御手段は、高さ位置測定手段で測定した被加工物の上面の高さ位置とチャックテーブルの保持面の高さ位置とから被加工物の最大厚みを算出する被加工物最大厚み算出部と、被加工物の最大厚みと仕上げ厚みとから被加工物の除去厚みを算出する除去厚み算出部と、最大切り込み量と被加工物の除去厚みとから切削回数を算出する切削回数算出部と、切削回数算出部で算出された切削回数に基づいて、切削送り手段と切り込み手段とを作動させる切削制御手段とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】被加工物毎にバイト工具が過度に切り込むことを防止して、被加工物の被切削面の品質悪化やバイト工具に生じる欠けや異常磨耗を防止する被加工物のバイト切削方法を提供する。
【解決手段】チャックテーブル３２で保持された被加工物１１の第１領域１７ａの上面高さと第２領域１９ａの上面高さをそれぞれ複数点において検出し、第２領域の上面高さの最高位置から第１領域の上面高さの最低位置を減じた値を余剰厚みとして算出する。そして、バイト切削工具が一回の回転で被加工物に切り込める最大切り込み量と余剰厚みとから余剰厚みを除去するのに必要な切削回数を算出し、この切削回数に基づいてバイト切削工具を動作させ余剰厚みを除去し、更にバイト切削工具を動作させて被加工物を切削し、最低位置から所定厚み減じた厚みに被加工物を切削加工する。 （もっと読む）

【課題】装置全体を大型化することなく生産性を向上させることができる加工装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブルに保持された被加工物を旋削するための加工装置であって、被加工物を保持する第1のチャックテーブルおよび第２のチャックテーブルと、第1のチャックテーブルおよび第２のチャックテーブルとに保持された被加工物を旋削するためのバイト工具を備えた第1の旋削手段および第2の旋削手段と、第1のチャックテーブルおよび第２のチャックテーブルに加工前の被加工物を搬入する被加工物搬入手段と、第1のチャックテーブルおよび第２のチャックテーブルに載置され加工後の被加工物を洗浄手段に搬出する被加工物搬出手段を具備している。 （もっと読む）

【課題】バイト工具のシャンクに対する固定角度を調整可能なバイト工具の取付角度調整治具を提供する。
【解決手段】取付角度調整治具７０は、該シャンク５０を固定するＶ溝７４を有する固定部７２と、該Ｖ溝が延在する方向と平行方向に該固定部の両端から張り出した第１及び第２のアーム部７６，７８とからなり、該第１のアーム部は、該固定部の該Ｖ溝中に該シャンクを固定した状態で、バイト工具６０をシャンクに固定するねじ６８を回転軸にして揺動させた該バイト工具の側面を突き当てることで該バイト工具を該シャンクに対して第１の所定角度に調整可能な第１突き当て面７７を有し、該第２のアーム部は、該固定部の該Ｖ溝中に該シャンクを固定した状態で、該ねじを回転軸にして揺動させた該バイト工具の側面を突き当てることで該バイト工具を該シャンクに対して第２の所定角度に調整可能な第２突き当て面７９を有する。 （もっと読む）

【課題】 切削刃の急速な磨耗を防止し、切削刃の寿命を延ばすことのできるバイト切削装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された被加工物の表面を切削するバイトを回転可能に支持するバイト手段と、該チャックテーブルの該保持面に対して水平方向に該チャックテーブルと該バイト手段とを相対移動させる切削送り手段と、該チャックテーブルの該保持面に対して鉛直方向に該チャックテーブルと該バイト手段とを相対移動する切り込み手段とを備えたバイト切削装置であって、純水供給源から供給される純水と添加剤供給源から供給される添加剤とを混合して切削液を生成する混合部と、該混合部で生成された切削液を該バイトと該チャックテーブルに保持された被加工物に供給する切削液供給ノズルと、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】切削中に被加工物の動きや剥離の恐れを低減し、被加工物を破損させることなく切削面を平坦化することが可能な切削方法を提供する。
【解決手段】被加工物の第１面側を第１粘着シート７４上に配設する第１粘着シート貼着ステップと、第１粘着シート上に配設された被加工物の第１粘着シート側をチャックテーブル３０で保持する保持ステップと、被加工物の第１面側と反対側の第２面側に第２粘着シート８６を貼着するとともに、被加工物の外側で第２粘着シートを第１粘着シートに貼着して被加工物を第１粘着シートと第２粘着シートとで包み込む第２粘着シート貼着ステップと、保持面と平行な面で回転する切削刃５６を有するバイトホイール２５を回転させつつ第２粘着シートに当接させた状態でチャックテーブルとバイトホイールとを相対移動させて第２粘着シートとともに被加工物の第２面側を切削する切削ステップと、を具備した。 （もっと読む）

【課題】 ワーク表面に角錐凹部を迅速且つ、正確に形成する加工装置およびその方法の提供。
【解決手段】 加工機本体１または加工機の刃物台１２に、基部２を取り付け、基部２にカッタ支持体３を案内させ、そのカッタ支持体３と基部２との間に直線運動機構４を設け、そのカッタ支持体３の先端にカッタ５を取付ける。このカッタ５は、その先端の切削縁がＶ字状に形成されて、そのＶ字の先端と両縁で平面切削するものである。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハに形成された複数の半導体デバイスの表面高さにバラツキがあっても、各デバイスに形成された複数のバンプ（電極）の長さを均一に加工することを可能とする。
【解決手段】一次工程で全体的に切削された各バンプ４の長さを二次工程において測定するとともに、均一長さにするための必要切削量を各Ｘ・Ｙ座標に設定する。そして各Ｘ・Ｙ座標ごとに第２の切削手段２００の第２の切削バイト２０３によってバンプ４の先端を切削し、全てのバンプ４の長さを均一にする。 （もっと読む）

【課題】基板の表面に樹脂絶縁膜のパターンを切削加工で形成する方法及び半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置の製造方法において、接続用の電極（２）が一主面に形成された半導体基板（１）において、前記接続用の電極（２）を覆うように前記一主面側に樹脂絶縁膜（３）を形成する第１工程と、すくい角をゼロ又は負とした、バイト（４）による切削加工により、前記接続用の電極（２）の接続部位（２１）を露出させるように、テーパ部（１０）と前記接続部位（２１）とからなる開孔（３１）を形成する第２工程とを具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】工具又はワークの損傷の防止と、スループットの向上を両立的に実現する。
【解決手段】切削工具１４によりワーク１５の表面を切削する切削装置１０は、その先端が切削工具１４の先端よりも切削工具の切込方向（−Ｚ軸方向）に突出するように設けられた柔軟性を有する導電性部材１６と、導電性部材１６とワーク１５の接触を通電の有無により検出する通電検出手段１７と、切削工具１４によるワーク１５の切削時に生じる振動を検出する振動検出手段１８，１９と、ワーク１５に対する切削工具１４の切込量と該切込量で実際に該ワーク１５を切削したときに生じる振動との関係を示す振動特性を、予め記憶した記憶手段２０と、振動検出手段１８，１９で検出された振動と記憶手段２０に記憶された振動特性とに基づいて、ワーク表面に対する切削工具１４の先端の切込方向の位置を検出する制御手段１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】被加工物の形状接線角度が大きくなっても、目標形状に凹部または凸部を切削加工することができる切削加工方法および切削加工装置を提供する。
【解決手段】前逃げ角γが大きく、かつ、すくい角αが負の切削工具８を用い、切削工具８の切り込み量を高速で変化させるとともに、切削工具８をワークの表面往路に沿って移動させながら、ワークに凹部を切削加工する。次に、切削工具８の切り込み量を高速で変化させるとともに、切削工具８をワークの表面復路に沿って移動させながら、ワークに加工した前記凹部を再度切削加工する。これにより、往路加工で発生したバリ３１を復路加工で除去できるので、凹部を正確に加工できる。 （もっと読む）

【課題】被加工物の表面に高精度な微細形状を加工することができる微細形状切削加工装置および加工方法を提供する。
【解決手段】ＸまたはＹ移動機構１２，１１の駆動を制御する駆動プログラム開始時にタイマーカウント開始指令を出力するＮＣ装置２１と、これら移動機構の相対移動速度情報とワークＷの加工開始位置情報とから、タイマーカウント開始指令が出力されてから切削工具が加工開始位置に到達するまでの到達時間Ｔ１を演算する到達時間演算手段２２と、タイマーカウント開始指令が出力されてからの経過時間Ｔ２が到達時間Ｔ１に一致したかを判定し、一致したときにトリガー信号を出力する経過時間判定手段２３と、トリガー信号を受けて予め設定した切込量で切削工具が進退するように往復動ステージを駆動させる往復動ステージ駆動手段２４とを備える。 （もっと読む）

【課題】導光板の端面を切削するバイトに付着した切り屑を効率的に取り除くことができる端面切削装置および端面切削方法を提供すること。
【解決手段】本発明の端面切削装置は、導光板２の端面に沿って移動するバイト３６によって導光板の端面を切削する端面切削装置であって、導光板を所定位置に固定する固定手段１４と、固定手段によって固定された導光板の端面に沿って移動しながら導光板の端面を切削するバイトと、バイトの刃先のすくい面にエアを吹き付けるエア供給手段４８と、を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】生産性を向上させることができるルーツロータの加工方法を提供すること。
【解決手段】数値制御式加工装置の主軸６の仮想中心線ｃの周りに、２本の荒引き加工バイト１７，２７と１本の荒引き・仕上げ加工兼用バイト２２を各々の刃部が同仮想中心線側になるように配置し、３葉ルーツロータをかたどったワークｗのローブｒに各バイトの刃部を夫々対応させた状態において、同ワークｗを回転させることなく仮想中心線方向に往復移動させつつ各ローブｒの中心線に対して所定角度範囲（例えば９０度）の周面を同時に荒引き加工し、ついでワークｗを１８０度回転させてから残りの３箇所の周面を対応する各々のバイトにより同時に荒引き加工することにより少なくとも１回の全周面の荒引き加工を施し、さらにワークｗを所定角度ずつ回転させると共に仮想中心線方向に往復移動させつつ荒引き・仕上げ加工兼用バイト２２のみで全周面の仕上げ加工を施す。 （もっと読む）

【課題】 バイト等の切削工具で半導体ウエーハ表面のバンプの先端を削り取って高さを揃えるにあたり、切削工具の偏摩耗が抑えられて摩耗状態をほぼ均等にすることができ、切削工具の有効利用および寿命の長期化を図る。
【解決手段】 バイト２６が回転する切削ユニット２０に対して、チャックテーブル１７に回転しない状態で保持した半導体ウエーハＷを送り込んで往復動させ、往路送り（第１の切削工程）、復路送り（第２の切削工程）のいずれの過程においても、バイト２６を半導体ウエーハＷに作用させる。これによって、バイト２６の刃部２８における左右の刃先２８ａ，２８ｂの摩耗の進行を均等化させる。 （もっと読む）

【課題】生産原価の節減および高価の加工装置の効率的な活用を可能にするツイン工具台とツインクランプを有するＶ溝加工装置およびＶ溝加工方法を提供する。
【解決手段】Ｖ溝加工装置のベッドの長手方向両側にセッティングブロックをそれぞれ対向して設け、これらセッティングブロックには長手方向に連続して形成されたサイドクランプをそれぞれ設け、前記ベッドの一側には一対のフロントクランプを設け、このフロンとクランプを、両方向に螺子山を有するクランプ移送スクリューに螺合して同時移動可能にし、Ｖ溝加工装置の往復台には一対の工具台を離隔して装着し、この工具台を両方向に螺子山を有する工具台移送スクリューに装着して、前記フロントクランプと同一幅で同時に近接または離隔するようにする。 （もっと読む）

【課題】 バイト等の切削工具で半導体ウエーハ表面のバンプの先端を削り取って高さを揃えるにあたり、バイトの折損等による異常加工が起こる前に加工を停止して半導体ウエーハの損傷を未然に防止する。
【解決手段】 チャックテーブル１７を支持するステージ１４に、バンプ２の切削加工時の音響状態を検出するＡＥセンサ４０を取り付け、制御手段によって、ＡＥセンサ４０の出力信号が所定の正常加工領域を示す信号であるか否かを判別し、その出力信号が正常加工領域を逸脱した場合に、切削ユニット２０を退避位置まで上昇させてバイト２６を半導体ウエーハＷから離し、異常加工が起こらないようにする。 （もっと読む）

【課題】導光板等の複雑な溝や形状、さらに微細な溝や形状を容易に得られる表面加工機を提供。
【解決手段】基台２上にＸ軸テーブル４と、門型コラム８を設け、門型コラムにＹ軸テーブル９を設け、Ｙ軸テーブルにＺ軸方向の工具送り装置１０に垂直方向に微少高速変位制御可能な微少高速工具位置決め装置２０を介して工具１５を設け、工具送り装置のＺ軸の位置を固定したまま、Ｘ軸又は／及びＹ軸を移動させ微少高速工具位置決め装置と工具により垂直方向の微少加工を行えるようにする。高速位置決め装置の垂直方向の移動距離は２０μｍ、Ｘ軸及びＹ軸テーブルは、静圧軸受にて保持され、リニアモータ７駆動され、工具送り装置は静圧ねじ１８にて保持され、サーボモータ１７により駆動され垂直方向に移動・位置決め可能にする。 （もっと読む）

【課題】精密な微細凹凸を創成することのできる微細表面形状切削加工装置を提供すること。
【解決手段】被加工物を搭載し、往復運動をする第１のスライド機構と、第１のスライド機構の運動方向と直角方向に間欠位置決め運動をする第２のスライド機構と、第１および第２のスライド機構の運動軸とそれぞれ直角な方向に切削工具の切込み量を高速かつ微細に制御する工具切込み機構と、第１のスライド機構の運動に従ってパルス信号を発生する位置検出器とを備えた微細表面形状切削加工装置であって、第１のスライド機構の正方向の運動時に位置検出器から発生するパルス信号に同期して工具切込み機構により工具切込み量を高速に変化させ、第１のスライド機構の逆方向運動時には切削工具を待避させ、かつ、第１のスライド機構が一往復する毎に第２のスライド機構を一定量送ることによって加工面上に微細表面形状を創成するので、精密な微細凹凸を創成することができる。 （もっと読む）