【課題】 本発明は、研磨布のゆっくりとした厚さ変化の影響を実質的に受けることなく定寸精度を長時間にわたり維持できる両面ポリッシュ加工機及び両面ポリッシュ加工機の定寸制御方法を提供することを課題とするものである。
【解決手段】 本発明の両面ポリッシュ加工機においては、初回のワークの研磨については、研磨時間に基づいて研磨を終了させ、２回目以降のワークの研磨については、上記距離センサー２２による距離の計測値に基づいて研磨を終了させるとともに、初回を含む各回の研磨の終了後に、ワークの仕上がり厚さの実測値とワークの仕上がり厚さの目標値に基づいて上記距離センサー２２の計測値を補正する。補正は研磨の各回毎に行われるので、長時間にわたり定寸精度を維持することができる。 （もっと読む）