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基板収納容器
基板保持具並びにその製造方法及び製造装置
【課題】基板の全面に対して均一な処理を行えるようにした基板保持具を提供すると共に、その基板保持具を製造するための製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】長尺状の金属プレート10をプレスすることにより、金属プレート10の長手方向(X方向)に複数の波形形状を所定ピッチで形成し、波形形状における山部11および谷部12を金属プレート10の幅方向(Y方向)に沿って弓状に湾曲させた形状の基板保持具4を製造する際、金属プレート10の長手方向に沿って所定ピッチで波形形状の谷部12を1つずつ順次プレス形成していくことにより、基板9を保持する谷部12の湾曲形状と、山部11の湾曲形状とを順次形成していく。
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基板収納容器
【課題】気体を効率的に置換してその作業の迅速化や効率化を図ることができ、容器本体からの蓋体の取り外しを容易にして基板を円滑に加工等できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ収納用の容器本体1と、容器本体1の開口した正面7に嵌合される蓋体20と、容器本体1と蓋体20の間に介在される変形可能なシールガスケット30とを備え、容器本体1の正面内周にシールガスケット30用のシール形成面8を形成し、蓋体20の裏面周縁部にシールガスケット30用の取付溝25を形成する。また、シールガスケット30を、取付溝25に嵌入される基体31と、基体31から突出する延出片33と、延出片33の先端部から伸びてシール形成面8に圧接する第一のシール片35と、延出片33から突出する第二のシール片37とから形成し、第二のシール片37を延出片33に直交させてシール形成面8に隣接する隣接面9に接触させる。
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帯体の巻取り方法
【課題】 帯体が傾いて巻き取り長さに異同を生じさせ、帯体の巻装に歪みが生じて一定の方向に曲がりやすくなるのを抑制できる帯体の巻取り方法を提供する。
【解決手段】 巻取り用コア1の周面2にキャリアテープ10をトラバースして巻き取る帯体の巻取り方法であり、巻取り用コア1の一端部から他端部方向に向かうにしたがい周面2を半径外方向に傾斜させ、この周面2の傾きθを、0<θ≦2arctan〔キャリアテープの厚み/トラバースピッチ〕に基づくものとする。そして、巻取り用コア1にキャリアテープ10を巻き取る場合に、巻き取ったキャリアテープ10の側部にキャリアテープ10の側部を重ねて重ね巻きする工程と、巻き取ったキャリアテープ10の側部にキャリアテープ10の側部を重ねることなく巻き取る工程とを交互に繰り返す。
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基板保持部材
【課題】液晶ディスプパネル部材等の、表面に機能層を備えた板状物からなる基板を、輸送および保管する基板用トレイで使用する基板保持部材であって、固定治具を用いることなく、容易にかつ安定に設置が可能な基板保持部材を提供する。
【解決手段】四角形状で剛性のある板状物からなる基板111の面方向を水平方向として、基板を、トレイ枠部の枠内側領域において、基板をその下側から保持する枠部に支持された基板支持部13を備えた基板用トレイ11において、基板支持部に固定され、基板を保持する基板保持部材14であって、固定治具を用いることなく、嵌合部を嵌合させることにより固定する、もしくは、嵌め込みにより固定することが可能である。
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基板トレイ、基板の載置構造及び基板処理装置
【課題】基板の位置決め精度を向上させること無く、プロセスへの影響を低減できる基板トレイ、基板の載置構造及び基板処理装置を提供する。
【解決手段】複数の基板を載置して、複数の基板と共に搬送される基板トレイ20において、載置する基板の数に対応して、基板の外径より大きい貫通孔21を複数設け、貫通孔21に、当該貫通孔21の内側を横断する梁22を少なくとも2本設け、梁22の上であって、貫通孔21の内側に基板を各々載置する。
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梱包材および梱包体
【課題】被梱包物を梱包した梱包体の角部に衝撃が加わったとしても、収納容体と蓋体との位置ずれを抑制することができる梱包材を提供する。
【解決手段】被梱包物Pを収納する収納凹部22が形成された収納容体20と、収納凹部22に形成された開口部22aを密閉するように収納容体20を覆う蓋体10とを少なくとも備えた梱包材である。蓋体10の裏面11には、収納凹部22の開口部22aに嵌合する中央凸部12が形成されており、開口部22aを挟んだ少なくとも対角の位置にある収納容体の容体隅部25と、梱包時に容体隅部25に対接する位置の蓋体裏面11の蓋体隅部15とには、収納容体20と蓋体10との位置ずれを防止するために相互に嵌合する隅嵌合部16,26が形成されている。
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表面実装型受動素子部品、部品キャリアテープ、部品内蔵配線板
【課題】板厚み内部に位置させたとき部品端子からの導電路の配置密度を向上させること。
【解決手段】直方体状の素子部材と、素子部材の長手方向の一方向側の端部面である第1の端部面上に、および該第1の端部面に連なる素子部材の少なくとも上面上および下面上のそれぞれ一部に第1の端部面上と連なるように設けられた第1の端子電極と、素子部材の長手方向の他方向側の端部面である第2の端部面上に、および該第2の端部面に連なる素子部材の少なくとも上面上および下面上のそれぞれ一部に前記第2の端部面上と連なるように設けられた第2の端子電極と、を具備し、第1の端子電極および第2の端子電極が、いずれも、素子部材の上面上に設けられている面積の方が、素子部材の下面上に設けられている面積よりも広い。
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板状物用トレイ
【課題】本発明は、使用する搬送手段の特性に応じて振動抑制を施したトレイを開発する必要がある。そこで本発明では、大面積板状物である光学部品を高密度に集積、保管が可能であり、搬送手段の特性に応じ振動抑制の指標を持つトレイを提供することを課題とする。
【解決手段】矩形状の外枠の各辺上に外周支持体を有し、前記外枠の内部領域に前記外周支持体よりも低い高さになるように2以上の内部領域支持体を位置させることを特徴とする板状物用トレイを提供する。また、矩形状の外枠の各辺上に外周支持体を有し、前記外枠の内部領域に板状物自重撓みでの沈み込み量に比例した高さに2以上の内部領域支持体を位置させることを特徴とする請求項1に記載の板状物用トレイを提供する。
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清浄気送風ユニット
【課題】清浄気を清浄気送風面から排気用面に向けて適切に流動させながらも、基板収納器の洗浄を良好に行えるようにすることができる清浄気送風ユニットを提供する。
【解決手段】直方体状の基板収納器Kを収納する複数の収納部、基板収納器Kに対して基板1の取出し及び収納を行う基板搬出入部、及び、収納部と基板搬出入部との間で基板収納器を搬送する搬送手段を備えた保管装置に保管される基板収納器Kに対して着脱自在に装着される清浄気送風ユニットJであって、基板収納器Kの4つの側面のうちの一つの側面を清浄気送風面としかつその清浄気送風面に対向する側面を排気用面として、清浄気送風面から排気用面に向けて水平方向に沿う清浄気を通風するファンフィルタユニットF、及び、基板収納器Kの4つの側面のうちの、清浄気送風面及び排気用面を除いた2つの側面を覆う一対の遮蔽板10が装備されている。
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基板保持用枠体と基板の梱包体
【課題】基板保持用枠体は、大型ガラス基板を載置し、複数枚を積層して搬送あるいは保管に用いられ、搬送時の衝撃や振動に対しての強度が求められると同時に発塵による基板への異物付着や傷による製品の品質不良の発生を防止することが求められる。2メートル角程度の大サイズ基板を安全に保管・輸送できる基板保持用枠体等を提供する。
【解決手段】金属枠体の各部上面間において溝、段部および稜線を伴わない同一の連続した平面及び曲面で形成され、基板Aが積載される金属枠体の上面にフィラーを含有し剛性を有する均一な厚みの樹脂層17が形成され、上下の金属枠体同士が接触しないことを特徴とする。
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蓋体及び基板収納容器
【課題】施錠機構の施錠時に回転操作体を円滑に回転させたり、適切な位置に停止させることができ、しかも、回転操作体の回転に要するトルクを抑制できる蓋体及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】蓋本体11とカバープレートの間に介在され、回転操作リール31の回転で施錠爪41が出没する施錠機構30と、回転操作リール31の回転位置を制御する位置制御手段50とを備え、位置制御手段50を、回転操作リール31の回転に応じて揺動するリンク51と、回転操作リール31とリンク51に連結されるバネ55と、リンク51の接触溝52と接触する位置規制ピン57とから構成する。回転操作リール31が解錠位置から施錠方向の施錠位置に回転する途中で、リンク51を揺動させてその回転途中の回転操作リール31に対する向きを変化させ、回転操作リール31に作用する付勢力の方向を回転操作リール31の回転方向に変更する。
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板体収容カセットおよびその使用方法
【課題】 直方体状の枠体(1) 内に複数枚の板体(B) を縦姿勢でかつ並列にかつその板体
(B) 面が枠体(1) の両側面と平行になるように収容する板体収容カセットであって、板体
(1) の出入および運搬を円滑に行うことができることはもとより、板体(1) が大サイズで
かつ重量が大の基板やパネルであっても、カセット側の板体(1) 支承部にも損傷を与え難
くかつ板体(1) 側の下端エッジにも割れや欠けを生じ難いカセットを提供することを目的
とする。
【解決手段】 直方体状の枠体(1) において、その低所位置には板体下端受けとめ用ロー
ラ(2) 群、低所位置であって前記ローラ(2) 群の設置位置よりも高い位置には板体下部規
制用ローラ(3) 群、枠体(1) の中所ないし高所位置には板体上部側規制用ローラ(4) 群を
それぞれ設けることにより、板体(1) を3点支持しうるようにしたカセットである。
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基板保持用枠体及びそれを用いた基板搬送方法
【課題】 基板1枚を載置する基板保持用枠体であって、その基板載置済みの基板保持用枠体を複数積み重ねた状態で、搬送時の衝撃や振動に対する割れや傷や汚れの発生を低減する基板保持用枠体及びそれを用いた基板搬送方法を提供する。
【解決手段】 枠部2の内周側に基板保持部材4を設け、その上面には基板端部制動領域5を有し、その下面には基板端部制動領域5の対応部分の形状を、その下の基板保持用枠体に載置された基板10の上面との間に隙間tを有するようなものとし、同じ下面には凸部6を有し、枠部の直線状の対向する二辺に設けられた二つの基板保持部材の凸部の間の長さxが基板の辺の長さcに揺動範囲の長さaを加えたものとする基板保持用枠体であり、その基板載置済みの基板保持用枠体を複数パレット上に積み重ねて一体として保管、搬送することに特徴がある。
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基板収納容器
【課題】基板、蓋体、施錠機構の損傷等を排除し、施錠機構の施錠動作を安定させて蓋体の引き込み量を確保し、施錠機構の組み立ての迅速化を図るとともに、回転操作体と施錠バーが外れること等で施錠機構が解錠するのを防ぐ基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ収納用の容器本体と、容器本体の正面に嵌合される蓋体10と、蓋体10施錠用の施錠機構40を備え、施錠機構40を、蓋体10に支持されてカバープレート30側から操作される回転操作体41と、回転操作体41の回転で上下方向にスライドして容器本体の施錠穴に先端部65を接離させる施錠バー64とから構成し、回転操作体41を第一、第二の回転操作体42・42Aに分割し、第一、第二の回転操作体42・42Aに、カムを形成する第一、第二のカム部51・60を形成し、第一、第二のカム部51・60に、蓋体10の厚さ方向に揺動する施錠バー64の末端部を挟持させる。
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基板収納カセット用繊維強化樹脂製サポートバーの製造方法
【課題】軽量かつ高い曲げ剛性を備えた繊維強化樹脂製サポートバーを早いサイクルで安価に製造する基板収納カセット用繊維強化樹脂製サポートバーの製造方法を提供することである。
【解決手段】断面角形状の長尺状の芯材2に繊維強化樹脂製のプリプレグ3を複数層巻きつけて内筒体4を形成する内筒体形成工程と、前記内筒体4の側面に、該内筒体4の軸方向に沿って、繊維強化樹脂製のプリプレグ3からなる補強層5を積層して予備成形体6を形成する積層工程と、前記予備成形体6の外層にラッピングテープ7を巻きつけるラッピング工程と、前記ラッピングされた予備成形体6を加熱する加熱硬化工程と、により、基板収納カセット用繊維強化樹脂製サポートバーを製造する。
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フラットパネルディスプレイ用ガラス基板の積層体及び梱包方法
【課題】フラットパネルディスプレイの製造効率を向上させることができるフラットパネルディスプレイ用ガラス基板の積層体及び梱包方法を提供する。
【解決手段】フラットパネルディスプレイ用ガラス基板の積層体10は、板厚方向に対向する第1及び第2の主面22、24を有し、且つ、第2の主面のみに滑剤30が付着した複数のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板20を、第1の主面が同一方向に向くように前記板厚方向に積層してなる。フラットパネルディスプレイ用ガラス基板の梱包方法は、板厚方向に対向する第1及び第2の主面を有し、且つ、第2の主面のみに滑剤が付着した複数のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板を、第1の主面が同一方向に向くように前記板厚方向に積層する。
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板状体の搬送容器
【課題】 仕切り壁を設けて複数に区画した各収納部に板状体を上下に積み重ねて収納する板状体の搬送容器において、仕切り壁の破損を防いで繰り返し使用に耐えうる耐久性の高い搬送容器を提供する。
【解決手段】 発泡樹脂からなる蓋体2と容器本体1とを備えて、容器本体1の収納部14に板状体を上下に積み重ねて収納するように構成された板状体の搬送容器であって、容器本体2の底部10の内面10aには複数の収納部14を形成すべく仕切り壁13が突設され、蓋体2の内面には仕切り壁13の横倒れを防止すべく仕切り壁13の上部をその厚み方向に支持可能な仕切り壁支持部としての凹部31が形成され、容器本体2と仕切り壁13とは一体に形成されている。
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チップトレイ
【課題】異物が搬送時の振動で飛散するのを防ぐことができるチップトレイを得る。
【解決手段】チップトレイ1は、複数に区画されたポケット2を有するワッフル形状である。このポケット2に半導体チップ3を収納する。ポケット2の底面に粘着材4と突起部5が設けられている。突起部5は粘着材4よりも突出している。半導体チップ3をポケット2に収納した際に、半導体チップ3の裏面は突起部5のみに接触し、粘着材4には接触しない。
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基板の保持容器、基板の保持方法および保持容器を用いた太陽電池モジュールの製造方法
【課題】ペーストと保持容器との接触によるペーストのパターン不良が発生することなく、公差を含む基板を保持することが可能な保持容器を提供する。
【解決手段】基板20の保持容器10は、対向する少なくとも1組の側面102,103を有する基板の保持容器であって、1組の側面の間の距離が下方に向かって狭まるように傾斜しており、側面の内側が、基板の端辺202〜205と当接することによって、基板を保持する。保持容器を用いることにより、公差を含む基板の端までペースト30を載置するパターンを用いることが可能となった。
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