【課題】第１部材と第２部材を有する物品の、各部材を別々に把持する第１把持部材と第２把持部材を備えた物品キャリアを提供する。また、この物品キャリアに第１部材を供給した後、第２部材をこのキャリア内で第１部材に組み付ける物品処理装置を提供する。
【解決手段】物品キャリアは、物品１０の第１部材６を把持する第１把持部材１６、１８と、その上方に配置され、第２部材８を把持する第２把持部材２０、２２と、これら把持部材をそれぞれ開閉する第１開閉部材と第２開閉部材とを備え、前記第１把持部材と第２把持部材を別々に開閉可能にした。物品処理装置は、物品キャリアの第１把持部材に物品の第１部材を把持させ、この第１把持部材に把持されている第１部材に物品の第２部材を組み付ける。 （もっと読む）

【課題】施錠機構の施錠時に回転操作体を円滑に回転させたり、適切な位置に停止させることができ、しかも、回転操作体の回転に要するトルクを抑制できる蓋体及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】蓋本体１１とカバープレートの間に介在され、回転操作リール３１の回転で施錠爪４１が出没する施錠機構３０と、回転操作リール３１の回転位置を制御する位置制御手段５０とを備え、位置制御手段５０を、回転操作リール３１の回転に応じて揺動するリンク５１と、回転操作リール３１とリンク５１に連結されるバネ５５と、リンク５１の接触溝５２と接触する位置規制ピン５７とから構成する。回転操作リール３１が解錠位置から施錠方向の施錠位置に回転する途中で、リンク５１を揺動させてその回転途中の回転操作リール３１に対する向きを変化させ、回転操作リール３１に作用する付勢力の方向を回転操作リール３１の回転方向に変更する。 （もっと読む）

【課題】基板、蓋体、施錠機構の損傷等を排除し、施錠機構の施錠動作を安定させて蓋体の引き込み量を確保し、施錠機構の組み立ての迅速化を図るとともに、回転操作体と施錠バーが外れること等で施錠機構が解錠するのを防ぐ基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ収納用の容器本体と、容器本体の正面に嵌合される蓋体１０と、蓋体１０施錠用の施錠機構４０を備え、施錠機構４０を、蓋体１０に支持されてカバープレート３０側から操作される回転操作体４１と、回転操作体４１の回転で上下方向にスライドして容器本体の施錠穴に先端部６５を接離させる施錠バー６４とから構成し、回転操作体４１を第一、第二の回転操作体４２・４２Ａに分割し、第一、第二の回転操作体４２・４２Ａに、カムを形成する第一、第二のカム部５１・６０を形成し、第一、第二のカム部５１・６０に、蓋体１０の厚さ方向に揺動する施錠バー６４の末端部を挟持させる。 （もっと読む）

【課題】空の板状体梱包容器を輸送する際に、板状体梱包容器の占有体積を低減し、保管効率及び輸送効率を上げる。
【解決手段】板状体を載置する板状体載置部と、前記板状体載置部を載置する載置面を有する台座と、前記載置面の周縁部の少なくとも一部に立設され、高さ方向の形状が非対称の支柱と、前記載置面の周縁部の少なくとも一部に形成され、前記支柱を立設する支柱立設部と、を備え、前記支柱は、前記支柱の一端部を前記支柱立設部に向けて前記支柱を立設させたときと、前記支柱の他端部を前記支柱立設部に向けて前記支柱を立設させたときとで、前記載置面から突出する前記支柱の高さが異なることを特徴とする板状体梱包容器を提供することにより前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】位置合わせの精度が要求されるのを抑制しながら、支持部材が隣接する一方の支持部材に対して横ずれすることを防止する梱包構造体を提供する。
【解決手段】梱包構造体１は、梱包する太陽電池モジュール３を水平な状態で支持するように構成された支持部材１０を備える。支持部材１０は、垂直方向Ｚに積み重ねられる基体部１１と、基体部１１の側面から水平方向に突出するように形成された支持部１２と、基体部１１の側面に設けられ、隣接する一方の支持部材１０と係合するように構成された係合部１４と、基体部１１の側面に設けられ、隣接する他方の支持部材１０の係合部１４が係合されるように構成された凹部１５とを含む。 （もっと読む）

【課題】炭素繊維に樹脂を含浸させた複合体を利用し、寸法を変更することなく全体の剛性を向上でき、軽量化可能で且つ製造が簡単なペリクルフレームを提供する。
【解決手段】ペリクルフレーム１０は、長方形形状のペリクルフレーム１０の各辺が、長繊維状の炭素繊維と樹脂との複合材料から成る細長材１４，２０によって形成され、前記炭素繊維は、細長材１４，２０の長手方向に配向されていることを特徴とする。細長材１４，２０の全表面は、前記炭素繊維が露出しないように樹脂皮膜で覆われる。 （もっと読む）

【課題】 ペリクルフレームの変形や歪みを低減することができるペリクル製造用キットを提供する。
【解決手段】 本発明のペリクル製造用ジグは、ジグピンの先端頭部分を、ジグ穴の奥部に設けられたテーパー部のテーパー面に当接させて、該テーパー面を押圧することにより、ペリクルフレームを固定する。 （もっと読む）

【課題】搬送時にパターン付フィルムにおいて寸法変化が生ずることのない梱包体、及びこの梱包体の搬送方法を提供すること。
【解決手段】樹脂フィルム２１上にパターン２２が形成されてなるパターン付フィルム２０を、梱包材３０で密閉してなる梱包体１０において、前記梱包材３０は、温度４０度、相対湿度９０％における水蒸気透過度が１．０ｇ／ｍ²・２４ｈｒ・ＭＰａ以下の防湿性能を有する。 （もっと読む）

【課題】単純な構成のガラス運搬用パレットでありながら、ガラス板を破損しないように安全に運搬することが可能であり、ガラス板運搬後に前記パレットを回収する場合も、廃棄する場合も嵩張らないガラス板運搬用パレットを提供する。
【解決手段】
複数枚の矩形のガラス板を縦姿勢で載置するベース部と、前記複数枚の矩形のガラス板からなるガラス板群を背面から支持する背受と、前記ガラス板群の前面を覆う前枠と、からなるガラス板輸送用パレットにおいて、前記ガラス板群の左右端部にそれぞれ当接される一対のガラス板側部抑えフレームと、前記ガラス板側部抑えフレームと前枠及び背受とを締結する側部抑えバンドとを備えていることを特徴とするガラス板輸送用パレット。 （もっと読む）

【課題】積載する板ガラスの大きさに合わせてパレットの横幅が調整可能なように左右にスライド部材を設けたパレットに関して、スライド部材の円滑な伸縮動作を長期間保障できるガラス板輸送用パレットを提供する。
【解決手段】
背枠の左右に伸縮自在な一対のスライド部材とを備えるガラス板輸送用パレットであって、前記背枠に備えられた前記スライドガイドには、レールが備えられ、前記レールの一端にスライドガイド車輪が軸着されており、前記一対のスライド部材は、それぞれ少なくとも１本のスライド軸を備えており、前記スライド軸は、その一端部に、スライド軸車輪が軸着されており、前記スライド軸を、前記スライドガイドに挿入したときに、前記スライド軸は、前記レールよりも下方に位置しており、前記スライド軸車輪は、前記レールの下方から前記レールに当接し、前記スライドガイド車輪は、前記スライド軸の下方から前記スライド軸に当接している。 （もっと読む）

【課題】半導体製造ラインにおいて、ＦＯＵＰ内へＮ２ガスを供給して、Ｎ２ガスパージを十分に行うことができ、且つパージ時間も短くすることができるノズルユニットを提供する。
【解決手段】上部にブリージングフィルターユニットの通気開口に密着するノズル先端部３６、下部に半球面シール部３７を備えると共に、上部と下部をガス通路３８が貫通した構造のノズル３５と、上部に前記ノズル３５の半球面シール部３７を受けて保持するための凹型半球面シール部４３を備え、且つ中心にガス通路４５を備えたノズル受け４２、更に、前記ノズル３５の可動性を維持したまま、該ノズル３５をノズル受け４２に保持すべく、ノズル３５とノズル受け４２にＯリング溝４６および保持用Ｏリング４７をそれぞれ設けてＮ２ガスパージ装置におけるノズルユニットを形成する。 （もっと読む）

【課題】簡易な設備を用いて低コストで生産することができるウェーハフレームカセットを提供すること。
【解決手段】半導体ウェーハがマウントされた複数のフレーム１００を内部に収納可能なウェーハフレームカセット１であって、複数の棚締結孔１３が一定の間隔を空けて形成されているとともに互いに平行に並べて設けられた一対の壁部材１１と、複数の棚締結孔１３に固定され、複数のフレーム１００のうちの１つのフレーム１００の周縁部が載置される載置面１６ａが形成された複数の棚部材１５と、一対の壁部材１１を互いに連結する枠体２とを備える。 （もっと読む）

【課題】ノズルから噴出される気体の流量を均一化することにより、例え容器本体に複数枚の基板が並べて収納されていても、短時間で気体を効率的に置換できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハＷを収納可能な容器本体１と、容器本体１の正面を開閉する蓋体１０を備え、容器本体１の底板３の後部両側に第一、第二の給気バルブ３０Ａ・３０Ｂを取り付け、底板３の前部両側に第一、第二の排気バルブ４０Ａ・４０Ｂを取り付ける。各給気バルブ３０Ａ・３０Ｂに、容器本体１の上下方向に伸びるノズル３４を備えてその周壁に半導体ウェーハＷの上下面にパージガスを噴出する複数の噴出孔を穿孔するとともに、各噴出孔から噴出されるパージガス流量の割合を平均値±２％以内の範囲に設定し、第一、第二の給気バルブ３０Ａ・３０Ｂのノズル３４から噴出されたパージガスが半導体ウェーハＷの前後方向中心線ｌ上で干渉しないようにする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、密閉型容器内部の雰囲気に起因する反応物の生成を抑制することを目的とする。
【解決手段】半導体製造装置１は、被処理物であるウエーハ１０、ウエーハ１０を収納する密閉型容器のＦＯＵＰ２０、半導体処理装置であるエッチング装置３０及びＦＯＵＰ２０とエッチング装置３０との間を密閉状態でウエーハ１０の搬送を行うＥＦＥＭ４０を有する。ＦＯＵＰ２０は、前面扉２０ａ、内側に温度と湿度とガス濃度との少なくとも一つを検知するセンサ部２１及びこのセンサ部が検知した情報を送信する送信装置２５を有する。受信装置３１は、送信装置２５からの情報を受信し、その情報をパージ部４３に供給する。パージ部４３は、ＦＯＵＰ２０内の温度などが予め定めた基準値を満足するまでパージを行う。 （もっと読む）

【課題】加熱テスト後の枠体の撓み量が少ない大型ペリクル用枠体を提供する。
【解決手段】平面視矩形状の開口部（４）を備えるペリクル用枠体（２）であって、端部同士が接合されることにより開口部（４）の周縁を形成する複数の部材（４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄ）を有する。接合される一方の部材（４１ａ、４１ｂ）の端部には、接合される他方の部材（４ｃ、４ｄ）に向けて突出する少なくとも一つの凸部（Ｐ）を設け、他方の部材（４ｃ、４ｄ）の端部には、凸部（Ｐ）を嵌合させる凹部（Ｃ）を設け、凸部（Ｐ）を凹部（Ｃ）に嵌合させることにより一方の部材（４１ａ、４１ｂ）の端部を他方の部材（４ｃ、４ｄ）の端部に接合させる。 （もっと読む）

【課題】損傷からの電子装置の防護を提供する。
【解決手段】上部１０ａ及び底部１０ｂは、電子装置Ｐと接触する折りかばん１０内側のフェルトなどの軟質層１１、革などの耐久性のある外側層、ならびにカバーの上部及び底部に構造的支持をもたらす堅い中間層からなる３層積層構造を備える。背部１０ｃは、開閉時の曲げやすさを維持するように、軟質層及び外側層の２層しか備えない。折りかばんは、折り曲げをさらに容易にする長手方向の折り目１４、１５、１６を備える。折り目は、中間層における不連続部によって作り出される。 （もっと読む）

【課題】型枠付き太陽電池モジュールなどの板状体からの抜け出しを確実に防止して梱包する。
【解決手段】底面部２の側端縁に側面部３および側面側上面部４が折り目を介して順に連設される一方、底面部２の上下各端縁に背面部５及び正面部６が折り目を介して連設されるとともに、背面部５の上端縁及び正面部６の下端縁に、背面側上面部７及び正面側上面部８がそれぞれ折り目を介して連設されて構成される。そして、側面側上面部４の各差込孔４ａに臨む上下各端部近傍に側面部３との折り目ｂに向かって凸状の切れ目ｇが形成されるととに、該凸状の切れ目ｇを挟んで側面側上面部４の端縁から設定長さにわたって一対の切れ目ｈが形成され、凸状の切れ目ｇと一対の切れ目ｈとの間に内フランジ部の幅に対応して折り目ｂと平行に内フランジ部の厚みに相当する間隔の一対の折り目ｉが形成される。 （もっと読む）

【課題】搬送の際にも内容物の汚染による性能低下を起こさないクリーン性に優れた、生産性の高い電気電子機器部品搬送用ケースの提供。
【解決手段】メタロセン触媒を使用して製造されたプロピレン系樹脂１００重量部に対し、好ましくは特定の構造を有する立体障害アミド化合物である造核剤を０．０１〜０．４重量部配合してなり、揮発性成分の量が５重量ｐｐｍ以下であるプロピレン系樹脂組成物を用いる電気電子機器部品搬送用ケース。 （もっと読む）

【課題】パレット上に積層されたガラス板積層体に被せられた袋体の開口部を密封するゴムバンドなどの締付バンドの上方への抜けを確実に防止し、ガラス板積層体の清浄性を維持する。
【解決手段】ガラス板積層体Ｇを覆うように上方から袋体４を被せるとともに、袋体４の開口部を締付バンド５で締め付けて密封することにより、ガラス板積層体Ｇを梱包するガラス板梱包用パレット２であって、袋体４を介して締付バンド５を圧接させる被圧接部２６を、ガラス板積層体Ｇの全周を包囲するように基台部２１の上面に連続的に設けるとともに、締付バンド５の上端部に係合して締付バンド５の上方への抜けを規制する突出部２６ａを、被圧接部２６に設けた。 （もっと読む）

【課題】衝撃、及び、定常的な振動による超電導装置の破損の可能性を低下することが可能であり、コストの増大を防止することが可能な超電導装置の梱包構造を提供する。
【解決手段】超電導装置２を内部に収納する箱体３と、箱体３の下面を支持し、超電導装置２を輸送する際に運搬台４に設置される衝撃吸収材５と、箱体３と超電導装置２との間に配置され、超電導装置２を支持する振動吸収材６とを有している。振動吸収材６及び超電導装置２を含む箱体３と衝撃吸収材５とからなる系の固有振動数は、運搬台４から所定の高さにおける該系の位置エネルギーが該系に作用する時間を所定値以上とする値に設定されている。振動吸収材６と超電導装置２とからなる系の固有振動数は、輸送における振動周波数の最低値に対して１／√２よりも小さい値に設定されている。 （もっと読む）