【課題】弁体の無摺動動作によりパーティクルや粉塵の発生を抑えつつ開閉動作でき、大口径に設けた場合にも大型化を防ぎ、スループットを上げるために高速に開閉動作し、開閉動作後の弁体を確実にロックし、ウエハや基板等の大型化に対応し、エアシリンダの駆動源を用いたときに弁閉時にエアを排気しても弁閉止状態を確実に保持するゲートバルブを提供する。
【解決手段】弁箱１に保持枠体２を介在させてピストンロッド１１を有する複動式エアシリンダ５を設け、ステム４にステムホルダ２１を設け、ステムホルダ２１の摺動部３１を揺動リンク３２のガイド部３３に沿って上下動自在に摺動させ、ピストンロッド１１とステムホルダ２１との間に傾動保持用スプリング１３を装着し、ローラカム１５と傾動用ローラ１４とを弁閉傾動動作開始位置で嵌合させ、これらの嵌合時に揺動リンク３２を揺動させてその揺動動作に伴って弁体３を弁座シール面７に揺動閉止させた。 （もっと読む）

【課題】弁体を全開状態に維持したり、弁体を緊急時に全閉させたり、弁体が正常に作動するか否かの確認を、構成部品が少なく、かつ制御系が簡単な流体制御手段により容易に行いうるようにすることにより、信頼性の高い安価な緊急遮断弁装置を提供する。
【解決手段】単作動型シリンダ９に連結された第２シリンダ１０と、第２シリンダ１０内に収容され、かつ単作動型シリンダ９のピストンロッド１３と対向するストッパピストン２２と、単作動型シリンダ９と第２シリンダ１０に接続され、かつ各シリンダへの圧力流体の供給と排出を制御する第１電磁切換弁３２と第２電磁切換弁３３とを備え、弁体の全開状態において、ストッパピストン２２とピストンロッド１３との間に間隙Ｓが形成されるようにし、かつ単作動型シリンダ９内の圧力流体を排出し、ピストンロッド１３を、間隙Ｓ分だけ閉弁方向に移動させて停止することにより、弁体を、予め定めた中間開度まで閉弁させうるようにする。 （もっと読む）

【課題】パイロット式流調弁装置において、止水後に給水の圧力が上昇して主弁が沈込みを生じ、これにより主弁とパイロット弁との間に隙間が生じることに起因して止水不良を生ぜしめる問題を解決する。
【解決手段】パイロット式流調弁装置２０において、パイロット弁５２の全体を背圧室４０の圧力の作用する水室５０内に水没状態に設けて水室５０の圧力をパイロット弁５２の前進方向の推力として働かせるとともに、推力の作用の下でパイロット弁５２を前進後退移動させる回転カム６４を設ける。その回転カム６４は、パイロット弁５２を前進移動させて閉弁状態としたとき、パイロット弁５２と分離状態となって、推力の作用でパイロット弁５２を独立して前進移動可能なものとする。 （もっと読む）

【課題】全体の小型化と部品点数の削減とを図りつつバルブを作動させる推力を高めてシール性を向上させ、高圧流体用のバルブにも適用でき、可動時にかかる荷重を分散させて耐久性を向上させ、内部構造を単純化して部品点数を削減し、バルブへの組付けや調整も容易なバルブ用アクチュエータを提供する。
【解決手段】エアー駆動のアクチュエータでピストン２５の推力を拡大して弁３５を締め切る推力拡大機構３０を内蔵するバルブ用アクチュエータである。推力拡大機構３０は、弁駆動用出力軸部２６の上部のディスク面３８上に複数のボール２８が配置され、ボール２８は、シャフト４３下端の固定ディスク面５０と、円錐形状のテーパ面状部３１を有するテーパ面状部面４８との間に挟持される。ピストン２５の作動により、ボール２８がディスク面３８と固定ディスク面５０との間を移動して、ピストン２５の推力が出力軸部２６に拡大して出力される。 （もっと読む）

【課題】複雑な解決手段が設けられた従来技術の欠点を解消する改良された切換弁を提供する。
【解決手段】切換弁１、特に作動液流を制御するための切換弁１において、ボールペン機構２を備え、ボールペン機構２は、ボールペン機構２の操作手段３に操作パルスＩを印加することにより交互に第１の係止位置又は第２の係止位置に係止可能であり、かつ第１の係止位置又は第２の係止位置が、切換弁１の制御ピストン６のそれぞれの第１の切換位置又は第２の切換位置に対応するように、切換弁１に連結されているよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】軽い操作で吐止水及び流量調節の何れをも行うことができ、しかも一旦流量調節を行った後はその後に止水を行っても次の吐水時に予め調節した所望の流量で吐水を行うことのできるパイロット式吐止水・流調弁装置を提供する。
【解決手段】パイロット式吐止水・流調弁装置１０を、パイロット弁３４を進退移動させて吐止水の切換えを行う吐止水切換機構と、流量調節を行う流調機構とを備えて構成する。
パイロット弁３４は吐止水切換機構と流調機構とで共通とし、また流調機構は吐止水切換機構によるパイロット弁３４の止水動作後の吐水動作時に、パイロット弁３４の流調位置を前回調節した流調位置に維持するように構成し、またパイロット弁３４は伸縮可能な駆動軸６０に設けておく。 （もっと読む）

流体調整デバイスは、入口、出口、弁口を有する弁本体と、弁本体内でシフト可能な制御要素とを含む。制御アセンブリは、制御要素に連結されるアクチュエータを含み、ダイヤフラムチャンバに隣接して配置されるダイヤフラムを含む。検知管は、第１の端部、第２の端部、および中間部分を有し、第１の端部は、ダイヤフラムチャンバと連通するように位置付けられ、第２の端部は、出口に隣接して配置され、中間部分は、出口の中間部分に隣接して配置される。検知管は、肩部および広がり部分を含み、広がり部分は、第２の端部に隣接して配置される。 （もっと読む）

【課題】タイヤ内へのシーリング剤注入時の圧力設定とタイヤ昇圧時の圧力設定とを１つの簡易な構成の圧力切換弁で行うことができるシーリング・ポンプアップ装置、及び、シーリング・ポンプアップ方法を提供することを課題とする。
【解決手段】シーリング・ポンプアップ装置は、シーリング剤が収容された液剤容器と空気入りタイヤとの間に圧力切換用安全弁５２を備えている。圧力切換用安全弁５２は、筒部と、筒部５８内を往復動する弁体６０と、弁体６０を上流側に向けて付勢する圧縮コイルバネ６６と、を有する。筒部５８の側部には、筒部長手方向位置が互いに異なっていて筒部内側とタイヤ側接続配管とを連通させる第１筒孔部７０及び第２筒孔部７２が形成されている。弁体６０には、上流側に連通し弁体側壁に開口する弁流路９６が形成されている。そして、弁体６０の筒部長手方向位置を切り換えることにより圧力切換用安全弁５２の開閉を切り換える。 （もっと読む）

【課題】常時開位置又は常時閉位置に弁体と弁座との関係を維持するバネを使用しつつも耐食性に優れた弁を提供する。
【解決手段】ケーシング２０内を流体が流れる流路２０ｃと、ピストン５を軸方向に移動させる駆動力を作用させる駆動部材移動室３７とを完全に隔離し、流体が駆動部材移動室３７内に侵入しないようにする。 （もっと読む）

【課題】漏水の問題を解決し得てしかも操作軸を駆動する駆動部として力の弱い小型のモータ等を使用することが可能な給水制御バルブを提供する。
【解決手段】給水制御バルブ２４において、操作軸５６をバルブボデー３０から２次側の流出水路３４を通って主弁３６側に延出させて、流出水路３４の側で主弁３６を操作軸５６によりパイロット弁４５を介し操作するようにする。操作軸５６とバルブボデー３０との間はＯリング８６にてシールし、そしてＯリング８６を通過して漏れた漏水を導水路にて導き、漏水センサにて漏水検知し、主弁３６を自動閉弁させるようにする。 （もっと読む）

ガス流量調節器は、アクチュエータ、調整弁、および二次装置を含む。下流圧力フィードバックは、調整弁の出口の中に置かれるピトー管を介してアクチュエータおよび二次装置に提供される。ピトー管は、アクチュエータに接続され、アクチュエータ制御空洞およびダイヤフラムを出口の中の下流圧力と流体連通させ、アクチュエータ設定点圧力で出口圧力を維持する端部を有する第１の分枝を有する。また、ピトー管は、二次装置に接続され、二次装置の内部を出口の中の下流圧力と流体連通させ、出口圧力が所定の通常の運転圧力範囲から分岐するときに、前記下流圧力の変化に対応する第２の分枝も有する。
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【課題】主弁４４とパイロット弁４９とで構成される湯沸器用の止水弁４を電動モータ７により開閉するようにした電動式止水弁装置であって、電動モータにより回転されるカム８２とカムに連動するレバー８３とを備え、レバーの一端のカムフォロア８３２がカムの大リフト部８２２の外周面に当接するようにカムを回転させることでパイロット弁が開弁され、カムフォロアがカムの小リフト部８２１の外周面に当接するようにカムを回転させることでパイロット弁が閉弁されるようにしたものにおいて、パイロット弁をその弁棒のこじりを生じても確実に閉弁できるようにする。
【解決手段】カム８２と一体に回転する押圧カム部８２３が設けられる。カム８２を開弁回転位置から閉弁回転位置に回転させる際に、押圧カム部８２３によりカムフォロア８３２をカム８２の外周面に当接する方向に押圧する。 （もっと読む）

【課題】パイロット式流調弁装置において、止水後に給水の圧力が上昇して主弁が沈込みを生じ、これにより主弁とパイロット弁との間に隙間が生じることに起因して止水不良を生ぜしめる問題を解決する。
【解決手段】パイロット式流調弁装置２０において、パイロット弁５２の全体を背圧室４０の圧力の作用する水室５０内に水没状態に設けて水室５０の圧力をパイロット弁５２の前進方向の推力として働かせるとともに、推力の作用の下でパイロット弁５２を前進後退移動させる回転カム６４を設ける。その回転カム６４は、パイロット弁５２を前進移動させて閉弁状態としたとき、パイロット弁５２と分離状態となって、推力の作用でパイロット弁５２を独立して前進移動可能なものとする。 （もっと読む）

【課題】弁体の開閉動作の速度を制御して、弁体が弁座に激しく衝突するのを確実に防止し得るスイング逆止弁を提供する。
【解決手段】スイング逆止弁３の弁箱９の外壁にシリンダー装置２０を付設し、弁体を開状態と閉状態に揺動可能に支持する弁棒１１とシリンダー装置２０のピストン２２を連結機構で連結し、弁体の開閉動作とピストン２２の往復移動が連動するようにする。さらに、シリンダー装置２０のシリンダー室２５内に流出入する流体の流路となる連通管２８に流量調整弁２６を介装して、流量を適宜に設定する。シリンダー室２５内に流出入する流体の流量を調整することで、ピストン２２の移動が緩慢となって弁体の開閉動作のブレーキとして作用し、弁体を緩慢に動作させることができる。弁体の開動作と連動するピストン２２の移動により容積を拡大させるシリンダー室２５を連通管２８により弁体の上流側に連通しても良い。 （もっと読む）