【課題】 シリカセラミックスが本来持つ性能を損なうことなく、使用目的や要求特性に応じて、表面ｐＨを容易かつ確実に制御することができるシリカセラミックスの製造方法を提供する。
【解決手段】 シリカ粒子を含むグリーン体に、焼結助剤を含ませて、焼成することにより焼結体とするシリカセラミックスの製造方法において、前記焼結助剤の種類および添加量を調整することにより、前記シリカセラミックスの表面ｐＨを制御することを特徴とするシリカセラミックスの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】酸化チタンの光散乱による硬化深度の低下と、光活性による光重合反応の阻害要因を減らし、かつ酸化チタン含有率を増加させても、良好な流動性と光硬化性を示し、光積層造形法により、所望の立体形状物を容易に造形できる酸化チタンを含有する組成物で構成された立体形状物の製造方法を提供する。
【解決手段】下記（Ａ）〜（Ｃ）成分：（Ａ）電子顕微鏡法による数平均粒径が１０〜５００ｎｍの酸化チタン粒子、（Ｂ）重合性官能基を有する化合物、及び（Ｃ）光重合開始剤を含有する光硬化性液状組成物に光を照射して、前記組成物の硬化層を形成し、前記硬化層の上に、前記組成物を再度供給し、光を照射して、前記組成物の硬化層をさらに形成することを繰り返すことにより、前記硬化層が積層一体化した立体形状物を造形する立体形状物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】異常膨張がなく熱膨張係数も小さく焼成安定性があり大型製品を形成可能であると共に、迅速焼成および低温焼成が可能で、かつ廃棄物を有効に活用して様々な用途に活用できる、廃棄物を主材としたセラミックスおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の廃棄物を主材としたセラミックスは、石炭灰、或いは石炭灰と、石灰系廃棄物またはガラス系廃棄のうち少なくとも１つを主材として焼成されたセラミックスである。また、本発明の廃棄物を主材としたセラミックスの製造方法は、石炭灰と、石灰系廃棄物またはガラス系廃棄のうち少なくとも１つを主材としてセラミックス原料を作製する工程と、前記セラミックス原料を用いて成形する成形工程と、成形体を乾燥する乾燥工程と、乾燥した成形体を焼成する焼成工程とを経て製造されるセラミックスの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】湿式成形方法において、複雑形状のセラミックス成形体を安定的に製造する方法を提供する。
【解決手段】セラミックス粉体、硬化性樹脂、溶媒、および分散剤からなり、表面積を体積で除した値が０．４ｍｍ^−１以上であり、かつ少なくとも凹部または凸部を一つ以上有する含溶媒セラミックス成形体の乾燥方法において、含溶媒セラミックス成形体の溶媒の残存率が８０重量％となるまでは溶媒の蒸発速度を０．１〜０．４重量％／時で乾燥する第１の乾燥工程と溶媒の残存率が８０重量％から５０重量％となるまでは溶媒の蒸発速度を０．４重量％／時よりも大きく１重量％／時以下で乾燥させる第２の乾燥工程を有することを特徴とする含溶媒セラミックス成形体の乾燥方法。 （もっと読む）

【課題】１×１０^-2Ｔｏｒｒ以下の圧力下、１００℃以上の温度で、シリコンウエハを静電力によって吸着する静電チャックにおいて、被吸着物であるＳｉウエハの均一加熱性を高めることができる静電チャックを提供する。
【解決手段】１×１０^-2Ｔｏｒｒ以下の圧力下、１００℃以上の温度で、シリコンウエハを静電力によって吸着する静電チャックであって、前記静電チャックが、セラミックスからなる盤状の基板と、この基板上に設けられた前記基板と同種のセラミックスからなる絶縁性誘電層１と、前記基板と前記絶縁性誘電層１との間に埋設されている電極とを備えており、かつ、前記絶縁性誘電層１の表面には複数の凹凸部が形成されており、前記凹部３の底部平面の表面粗さＲａが０．５μｍ以上であることを特徴とする静電チャック。 （もっと読む）

【課題】多面体状で、より狭い粒子径分布を示すαアルミナ粒子を製造し得る方法を提供する。
【解決手段】本発明のαアルミナ粒子の製造方法は、αアルミナ前駆体と、以下の種晶粒子との混合物を塩化水素含有量１容積％〜２０容積％の雰囲気中にて焼成することを特徴とする。種晶粒子は金属酸化物、金属水酸化物の粒子であり、使用量はαアルミナ前駆体１００質量部あたり０．１〜５０質量部である。
種晶粒子：個数基準の中心粒子径が４０ｎｍ以下であり、粒子径１００ｎｍを超える粒子の割合が個数比で１％以下である種晶粒子 （もっと読む）

【課題】焼成したアルミナセラミックス部品同士を直接接合することにより、クラックの発生のない、しかも形状寸法に優れたアルミナセラミックス物品の製造方法を提供する。
【解決手段】所定の形状を有するアルミナ成形体を作製する工程と、前記アルミナ成形体を１２５０℃〜１７００℃で焼成し、アルミナ焼成体からなる部品を作製する工程と、前記アルミナ焼成体からなる複数の部品を組み合わせて、１３．３Ｐａ〜１．３×１０^-2Ｐａの真空状態で、部品の接合面に対して、０．１ＭＰａ〜１．５ＭＰａの圧力を加えると共に１３５０℃〜１６５０℃で加熱することにより、複数の部品を一体になす工程と、を含むことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 短時間での脱脂によっても得られる焼結体に欠陥や変形が生じないことを特徴とする射出成形用組成物であって、従来公知の射出成形用組成物よりも射出成形性、寸法安定性に優れる射出成形用組成物を提供する。
【解決手段】 金属粉末またはセラミックス粉末よりなる焼結用粉末とバインダーを含有する射出成形用組成物において、前記バインダーが４５〜６５容量％のパラフィンワックス、０．５〜４．５容量％のポリアセタール樹脂、０．５〜４．５容量％の変性ポリオレフィン樹脂、０．５〜１０容量％のポリスチレン、２０〜５０容量％のポリエチレン、０．５〜１０容量％のフタル酸エステルからなり、かつ該バインダーは全体当たり３５〜５０容量％の量で含有されている。 （もっと読む）

【課題】大気中の酸素による損傷の発生を防止することにより高い信頼性を有すると共に、低コストな被処理物保持体、この被処理物保持体を有する半導体製造装置用サセプタおよびこの被処理物保持体を備える処理装置を提供する。
【解決手段】保持体１は、電極４、ヒータ回路５を有し、被処理物を保持するためのセラミックス基体２と、セラミックス基体２に接続される一方端部を有する筒状部材６と、筒状部材６の内周側に位置し、一方端部側と、一方端部とは筒状部材６において反対側に位置する他方端部側とを隔離する封止部材１１と、筒状部材６の内周側において、封止部材１１を貫通して他方端部側から一方端部側にまで延在するとともに、電極４、ヒータ回路５に電気的に接続された端子側電極線８とを備える。 （もっと読む）