腐食性ガス、特にハロゲン含有ガスから不純物を約１００ｐｐｂの濃度に低下するまで除去するための方法、組成物、および装置が開示される。重要な構成要素はジルコニア（ＺｒＯ_２）であり、これは種々の物理形態で、このようなガスを脱水することができる。ジルコニアは、基体上のコーティングの形態であってもよいし、粒状バルク材料であってもよいし、多孔質体の細孔内部に堆積させることもできる。このジルコニアは簡単な容器中に維持され、気相堆積または蒸着製造ユニットなどへのガス供給ライン中に容易に取り付けられる。本発明の精製方法は、これらのガスの存在下で長期間実施することができる。本発明によって、高純度の電子製品、補綴製品、または類似の製品の気相堆積または蒸着の形成を意図したガス流への最終的な精製が行われ、上流の予備脱水プロセスまたは固体粒子除去ユニットと併用することができる。 （もっと読む）