【課題】半導体製造における成膜原料として有用なトリメチルシランに含まれる不純物である含塩素化合物を簡便に高収率で除去する精製方法を提供する。
【解決手段】不純物を含むトリメチルシランをｐＨ２からｐＨ４の吸収溶液に接触させることによりトリメチルシラン中の含塩素化合物を吸収除去する。 （もっと読む）

【課題】オキサ‐シラシクロペンタン類と同様の環状有機珪素化合物の合成を、１段反応で完結させる製造法を提供する。組成の制御が容易であり、かつ経時的に安定な、アルコール性水酸基を有する有機ケイ素樹脂及びその製造法を提供する。
【解決手段】遷移金属触媒の存在下、下式(1)のオレフィン類及び下式(2)のアルコキシシランを反応させて下式(3)の環状有機ケイ素化合物を製造する。
【化１】



［式中、Zは末端炭素原子がC=C結合を形成している炭素数2〜5のアルケニル基、Rはメチル基または水素、Meはメチル基。］
【化２】



［式中、R₁は、炭素数1〜3のアルキル基又はアルコキシル基、R₂は炭素数1〜3のアルキル基。］
【化３】



［式中、Z’は炭素数2〜5のアルキレン基。］

上式(3)の有機ケイ素化合物、又はこれと多官能アルコキシシランからなる混合物を加水分解及び縮合してなる、アルコール性水酸基を有する有機ケイ素樹脂。
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