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Fターム[5F031EA06]の内容

ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 容器の構造 (2,912) | キャリアの溝の構造 (147)

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【課題】カセット載置テーブルを引き出し及び収納する動作でウエーハカセット内のウエーハが飛び出さないようにすることを目的とする。
【解決手段】ウエーハカセット1は、対向する側板2にウエーハ10を収容する収容溝3が複数形成され、収容溝3は、ウエーハ10が収容される収容領域30と、ウエーハ10を収容領域30に収容する為のガイドの役割となる案内領域31と、から構成され、収容領域30より案内領域31を厚くして段差h3を形成している。そのため、ウエーハカセット1が載置された状態のカセット載置テーブルを引き出し及び収納する動作により、ウエーハ10がウエーハカセット1内から飛び出そうになっても、ウエーハ10の外周10bが案内領域31に形成された段差h3に接触するため、ウエーハ10がウエーハカセット1から飛び出すことを防止できる。 (もっと読む)


【課題】基板を支持する支持部材の寸法精度を向上させることができ、例え基板が大きく重い場合にも、支持部材が撓んでしまうおそれを抑制できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハを収納可能な容器本体に、半導体ウェーハを支持する支持部材30を固定部材60を介して内蔵固定した基板収納容器であり、支持部材30を、容器本体の側壁に装着される取付壁31と、取付壁31の表面前部に配設されて半導体ウェーハの側部周縁前方を水平に支持する複数の第一の支持片39と、取付壁31の表面後部に配設されて半導体ウェーハの側部周縁後方を水平に支持する複数の第二の支持片45とから構成し、取付壁31、第一、第二の支持片39・45を別体とする。第一の支持片39を、取付壁31の表面前部に挿入支持される挿入部40と、挿入部40から容器本体の内方向に張り出す半導体ウェーハ用の支持張り出し部42とから構成する。 (もっと読む)


【課題】 直方体状の枠体(1) 内に複数枚の板体(B) を縦姿勢でかつ並列にかつその板体
(B) 面が枠体(1) の両側面と平行になるように収容する板体収容カセットであって、板体
(1) の出入および運搬を円滑に行うことができることはもとより、板体(1) が大サイズで
かつ重量が大の基板やパネルであっても、カセット側の板体(1) 支承部にも損傷を与え難
くかつ板体(1) 側の下端エッジにも割れや欠けを生じ難いカセットを提供することを目的
とする。
【解決手段】 直方体状の枠体(1) において、その低所位置には板体下端受けとめ用ロー
ラ(2) 群、低所位置であって前記ローラ(2) 群の設置位置よりも高い位置には板体下部規
制用ローラ(3) 群、枠体(1) の中所ないし高所位置には板体上部側規制用ローラ(4) 群を
それぞれ設けることにより、板体(1) を3点支持しうるようにしたカセットである。 (もっと読む)


【課題】より好適にウェーハを支持することによって、パーティクルの発生を効果的に防ぎ、ウェーハの更なる汚染防止を図ることができるウェーハ収納容器を提供する。
【解決手段】前側に開口3を有すると共に、円盤状のウェーハ2を支持する支持部材25を備える容器本体4と、開口3を塞ぐと共に、ウェーハ2を保持するリテーナ21を備える蓋体5と、からなるウェーハ収納容器1であって、ウェーハ2の外周部のうち、結晶方位に起因してエッジが形成される領域を非接触領域Aとして設定し、リテーナ21及び支持部材25は、非接触領域Aを避けた位置でウェーハ2と接触する。 (もっと読む)


【課題】溝付きケースに入っているウェハを一括して効率的に取り出すことができる治具を提供する。
【解決手段】一部が開口する略U字形断面の半円筒形状の側面と、半円筒形状の軸方向に端面とを有し、ウェハの外周に対し、U字形断面の開口部の平行に対向する内側端縁部で接触する半導体ウェハの移し替え治具。この治具のU字形断面の開口部を下にして、ウェハを複数枚収納して水平に載置された溝付きケースに重ね、両者を上下反転して複数枚のウェハを溝付きケースから前記治具に移し替え、ウェハをU字形断面の開口部の平行に対向する内側端縁部で保持した後、前記治具を起こして前記治具内部に保持した複数枚のウェハを隙間無く積層させ、積層した状態のウェハからウェハを1枚ごとあるいは積層状態のままで任意の枚数ごと取り出す。 (もっと読む)


【課題】プラズマ処理装置において、シングルアーム型の搬送装置を採用しつつ高スループットを実現する。
【解決手段】ドライエッチング装置1の搬送装置15は、処理前のトレイ3をストック部13のカセット62の主棚部67b,68bから回転ステージ33に搬送し、回転ステージ33でのアラインメント処理後のトレイ3をカセット62の仮置き棚部67c,68cを経てプラズマ処理部11へ搬送する。また、搬送装置15は、処理後のトレイ3をプラズマ処理部11からストック部13のカセット62の主棚部67b,68bに搬送する。 (もっと読む)


【課題】大径基板に対応した搬送系を構成する基板収容器(フープ)に、サイズダウンした基板を格納できるようにする。
【解決手段】8インチウェーハを支持し得る第1支持溝16eに支持される上部板401および下部板402と、上部板401および下部板402に設けられ、2インチウェーハであるウェーハ14(必要に応じて、ウェーハホルダ100およびホルダ部材405を介して)を支持し得る第2支持溝404を有する各保持柱403a〜403cとを備える。8インチウェーハに対応したポッド16に、2インチウェーハであるウェーハ14を格納でき、搬送系であるポッド16を共通化して半導体製造装置のコストを削減できる。各ガス供給ノズルから各ウェーハ14までを遠ざけて、各ウェーハ14に到達する前に反応ガスを充分に混合させることができ、各ウェーハ14への成膜精度を向上させることができる。 (もっと読む)


【課題】設備費を抑えつつ、様々なサイズの複数枚のパネルを収容することが可能なパネル収容ケースを提供する。
【解決手段】複数枚のパネルPを互いに間隔をあけて保持した状態に収容するパネル収容ケース10であって、上部が開口部とされ、内部がパネルPの収容空間とされた有底のケース本体20と、ケース本体20の上部に被せられてケース本体20の開口部を塞ぐ蓋体と、パネルPの側縁部を係合可能な上下方向に沿う複数の保持溝61が間隔をあけて形成された一対の溝ユニット53と、一対の溝ユニット53をケース本体20内における対向位置に保持することにより保持溝61同士を対向させてパネルPの両側縁部を係合可能とする保持ユニット81とを備え、一対の溝ユニット53は、保持ユニット81によって、互いの間隔が調整可能とされている。 (もっと読む)


【課題】簡易な設備を用いて低コストで生産することができるウェーハフレームカセットを提供すること。
【解決手段】半導体ウェーハがマウントされた複数のフレーム100を内部に収納可能なウェーハフレームカセット1であって、複数の棚締結孔13が一定の間隔を空けて形成されているとともに互いに平行に並べて設けられた一対の壁部材11と、複数の棚締結孔13に固定され、複数のフレーム100のうちの1つのフレーム100の周縁部が載置される載置面16aが形成された複数の棚部材15と、一対の壁部材11を互いに連結する枠体2とを備える。 (もっと読む)


【課題】 容器本体の各支持部に規制板を支持させ、この規制板によって薄肉厚基板の撓みを回避させるものであり、該規制板の回転を防止できるとともに、該規制板と支持部との擦れを低減させ、また、基板の取り出しも容易にした基板収納容器を提供する。
【解決手段】 正面に開口部を有する容器本体と、容器本体の内側壁に互いに対向して配置された一対の支持部材とを備える。各支持部は、垂直方向に並設させた複数の支持板を備えて構成される。一対の支持部の高さが同じ支持板によって規制板を載置させるともに、規制板を載置する支持板よりも一段上にある他の支持板に基板を載置させる。規制板は、平面的に観た場合、収納容器の前記開口部側および中央部において切り欠きが設けられた形状をなし、規制板を支持する前記支持板に対して位置規制される簡易な構成の位置規制手段が設けられている。 (もっと読む)


【課題】ウエーハ及び/又は搬送手段を破損させてしまう恐れのないウエーハ収容カセットを提供することである。
【解決手段】複数のウエーハを収容可能なウエーハ収容カセット32であって、対向する一対の側壁33a,bの内面にウエーハを収容する左右で高さの揃った複数対の収容棚56が形成されるとともに、該収容棚56にウエーハを出し入れする開口部54を前面に有するカセット本体33と、該カセット本体33に着脱自在に装着されて該開口部54を覆うとともに、該複数対の収容棚56に対応する複数の貫通スリット64を有するウエーハ入れ補助板62と、該カセット本体33と該ウエーハ入れ補助板62とを着脱可能に係合する係合手段と、を具備したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 半導体ウエハの撓みを抑制する支持具であって、支持具に半導体ウエハが取り付けられた状態で半導体ウエハに対して加工を行うことができるとともに、半導体ウエハの破損を防止しながら半導体ウエハを搬送することができる支持具を提供する。
【解決手段】 半導体ウエハを支持する支持具10であって、枠体12と、枠体12に設けられており、枠体12の内孔14の中心に向かう方向に進退動可能であり、内孔14の中心軸回りに均等角度間隔で設けられた少なくとも3つの可動部30を有しており、各可動部30は、枠体12の内孔14の中心軸が伸びる方向に隙間30dを空けて配置された一対の支持部を有している。 (もっと読む)


【課題】板状部材を起立姿勢で安定して搬送することと、ラック内に収納された板状部材を起立姿勢で安定して保持することとを両立する。
【解決手段】ラック12が、複数の板状部材2を収納する収納空間33、及び板状部材2を配列方向と交差する水平な搬入方向に搬入させるための搬入口34を有するラック本体32と、複数の板状部材2の上縁部をそれぞれ支持する複数の上側支持部61と、複数の上側支持部61の下方に設けられ、起立させられた複数の板状部材2の下縁部を支持する下側支持部63と、配列方向において複数の上側支持部61の端及び下側支持部63の端より外側に設けられ、搬入口34から収納空間33内に搬入される板状部材2の下縁部を収容する下縁部収容部64と、を備え、1つの上側支持部61は、搬入され下縁部収容部64によってその下縁部が収容された板状部材2の上縁部を該板状部材2が傾いた状態で支持することが可能に構成される。 (もっと読む)


【課題】板状体の搬送容器として、板状体の側端部を容器本体の側壁に有する支持用溝に挿入して収納する際、下端部を底部上面の横方向の支持用溝に容易に嵌り込ませることができるようにする。
【解決手段】対向する両側壁12bの内面に支持用溝13を有する容器本体1と、側壁上端部に外嵌合する蓋体2と、底パッド4とを備え、容器本体1の縦方向の支持用溝13の下端から連続して底部11上面において内方に延びる横方向の補助溝13aを形成し、板状体Bの下端コーナー部を縦方向の支持用溝13から連続して補助溝13aにより支持するようにし、底部内方に有する支持用溝に対して確実に嵌り込ませることができるようにする。 (もっと読む)


【課題】リブと半導体基板との間の貼り付きを防止し、洗浄液、エッチング液を半導体基板表面にスムーズに流し、均一なエッチングが実現できる方法を提供する。
【解決手段】基板カセットに設けられた複数のリブ10の間に、単結晶シリコン基板を配置し、基板カセットをエッチング液が収容された槽内に浸漬し、単結晶シリコン基板の表面処理を行う半導体装置の製造方法であって、基板カセットのリブ10の表面に単結晶シリコン基板との接触面積を低下させる穴部101が設けられている。 (もっと読む)


【課題】 落下や振動での極限的な条件下においても、中央部に配設した基板も適切に保持され得る基板収納容器を提供する。
【解決手段】 容器本体の左右の側壁の内側には、基板を一定間隔で水平に支持する相対向する1対の支持部材が備えられ、支持部材の奥側には、基板の挿入限界を規制する位置規制部が備えられ、この位置規制部の外側の側壁には、補強用リブが形成されていることを特徴とする。
前記補強用リブが、側壁から外側に突出する格子状のリブ、側壁の上部から底部にかけて外側に突出する細長のリブ、また、側壁にハニカム状に形成されるリブであることが好ましい。 (もっと読む)


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