Fターム[5F031FA00]の内容
ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 移送の形態 (16,275)
Fターム[5F031FA00]の下位に属するFターム
ウエハ(ダミーも含む)の移送 (2,963)
ウエハ以外の基板(ダミーも含む)の移送 (1,711)
容器の移送 (915)
マスク,レティクルの移送 (186)
その他の移送 (325)
1枚(個)毎,枚葉式 (3,249)
複数枚(個)一括,バッチ式 (569)
容器⇔移送手段での受渡し (1,924)
移送手段⇔処理時の固着・保持部での受渡し (2,157)
移送手段⇔移送手段での受渡し (1,450)
移送時の姿勢 (432)
水平←→垂直状態の回転、表裏の回転 (200)
間隔(ピッチ)の変更 (38)
ウエハ等同士の重ね合せ,剥離 (155)
Fターム[5F031FA00]に分類される特許
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クランプデバイスおよびオブジェクトロード方法
このクランプデバイスは、第1の力を使用して、強制的にオブジェクトとサポートを互いに離すように構成された第1のデバイスと、第2の力を使用して、強制的にオブジェクトとサポートを互いに近づけるように構成された第2のデバイスとを備え、第1のデバイスおよび第2のデバイスは、それぞれ第1の力および第2の力を同時に加え、オブジェクトを所望の形状に整形してからサポート上でのオブジェクトのクランプを完了する。
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