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Fターム[5F031FA00]の内容

ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 移送の形態 (16,275)

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このクランプデバイスは、第1の力を使用して、強制的にオブジェクトとサポートを互いに離すように構成された第1のデバイスと、第2の力を使用して、強制的にオブジェクトとサポートを互いに近づけるように構成された第2のデバイスとを備え、第1のデバイスおよび第2のデバイスは、それぞれ第1の力および第2の力を同時に加え、オブジェクトを所望の形状に整形してからサポート上でのオブジェクトのクランプを完了する。
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