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Fターム[5F031GA42]の内容

ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 移送装置、手段 (13,292) | アーム部 (5,670) | 駆動機構 (1,726)

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【課題】剥離時の損傷を抑制できる剥離装置を提供すること。
【解決手段】基板2と、基板2を補強する補強板3との界面8を一端側から他端側に向けて順次剥離する剥離装置10において、基板2及び補強板3を含む積層体6の第1主面6bを支持する支持手段20と、積層体6の第2主面6aを吸着する可撓性板30と、可撓性板30上に間隔をおいて固定され支持手段20に対して独立に移動可能な複数の可動体40と、複数の可動体40の移動を制御する制御装置80とを備え、複数の可動体40のうち剥離時に最初に支持手段20に対して離間する可動体40は、剥離開始前に界面8に対して垂直な方向から見たときに界面8の剥離開始端8bの後方に配置されている。 (もっと読む)


【課題】基板搬送装置のバキューム機構に用いられるパッドからの基板のずれを検出可能な基板搬送方法を提供する。
【解決手段】この基板搬送方法では、複数の載置部のうちの一の載置部の基板を保持部で受け取って保持し、保持部に保持される基板を一の載置部から搬出し、保持部に保持される基板の保持部に対する位置(第1の位置)を検出し、保持部に保持される基板を他の載置部に臨む場所まで搬送し、その場所において、保持部に保持される基板の保持部に対する位置(第2の位置)を検出し、第1の位置及び第2の位置に基づいて、搬送前後において生じた、基板の保持部に対する位置ずれ量を算出し、算出された位置ずれ量が所定の範囲に入るか否かを判定する。 (もっと読む)


【課題】装置の大型化を抑制し、装置内に収納する基板を増加することができる基板処理装置及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置は基板処理装置本体とポッドを搬送する搬送機構22を備え、基板処理装置本体にポッドを搬入出する搬入出部と、基板処理装置本体内においてウエハを収容するポッドを移送するポッド移送装置と、この搬入出部とポッド移送装置とを離間させるようにして設けられ、基板処理装置本体内に搬入されたポッドを収納するバッファ棚とを有し、搬送機構22はポッド移送装置に向けて伸縮する伸縮部202と、伸縮部202の伸縮動作に伴って伸縮部202の伸縮する長さよりも大きくなるようにポッドを移動させる移動部210・220とを有する。 (もっと読む)


【課題】 ダイシングテープを使用せずにウエーハをハーフカット可能なウエーハ支持プレートを提供することである。
【解決手段】 ウエーハを支持し搬送するためのウエーハ支持プレートであって、円形凹部から形成されウエーハを収容して支持するウエーハ支持部と、該円形凹部の底に形成された複数の貫通孔と、該ウエーハ支持部を囲繞し加工装置の搬送手段が作用するフレーム部と、を具備したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】可動の支持部により基板を支持しながら、基板を支持する構成の軽量化を図ること。
【解決手段】基板を支持する支持手段と、前記支持手段を所定の基板受け渡し地点に移動させる移動手段と、を備えた基板搬送装置であって、前記支持手段は、前記基板を支持する支持位置と基板の支持を解除する支持解除位置との間で移動可能な可動支持部を少なくとも含み、前記基板を支持する複数の支持部と、前記可動支持部を、前記支持位置に位置させる方向に付勢する付勢手段と、を含み、前記基板搬送装置は、更に、前記基板受け渡し地点に配置され、前記付勢手段の付勢力に抗して前記可動支持部を前記支持位置から前記支持解除位置に移動する支持部移動手段を備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】昇降ピン及び昇降ピンの昇降機構無しでローラコンベア上の基板を直交する方向から搬送アームのフォークを挿入して、搬送アームに受け渡す基板受渡装置(方法)を提供する。
【解決手段】基板Gを水平方向に搬送可能なローラコンベアRC1と、基板を水平、鉛直方向及び鉛直軸回りに回転自在に移動可能なフォーク101を有する搬送アーム110と、を具備し、ローラコンベアは、駆動シャフト55に適宜間隔を置いて駆動ローラ56を装着した駆動ローラ列と、フリーローラシャフト57に適宜間隔を置いてフリーローラ59を回転自在に装着したフリーローラ列を並列に配列し、フリーローラ列を隣接する駆動ローラ列側へ移動して、駆動ローラ列とフリーローラ列の間に空間Iを形成するフリーローラ駆動用シリンダ65を具備する。空間に搬送アームのフォークを搬送方向と直交する方向から挿入して、第1ローラコンベア上の基板を搬送アームに受け渡す。 (もっと読む)


【課題】弾性材料からなる吸着パッドにおける吸引口の位置精度を高め得る吸着装置および搬送装置を提供する。
【解決手段】吸着装置20には、金属製のホルダ30と、炭素を含む導電性のゴム等の弾性材料からなる4つの吸着パッド40a〜40dと、各吸着パッド40a〜40dを対応する吸引部33a〜33dに対して押圧した状態でホルダ30に固定される金属製の固定治具50とが設けられており、この固定治具50には、各吸着パッド40a〜40dの吸引口44が露出する開口が形成されている。 (もっと読む)


【課題】光透過性の高い基板を使用する場合であっても、基板の配設状態を検知可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を処理する反応室と、前記基板が載置された基板ホルダを保持すると共に基板処理中前記反応室内に配置される基板保持具12と、前記基板が前記基板ホルダに載置された状態で該基板ホルダの搬送を行う基板移載機11とを具備し、基板移載機11は前記基板ホルダを保持するアーム13と、光を投光する第1の投光部と該第1の投光部から投光された光を受光する第1の受光部を有する第1のファイバセンサとを有し、該第1のファイバセンサはアーム13が正常に前記基板ホルダを保持している場合に、前記第1の投光部と前記第1の受光部との間に前記基板ホルダが位置する様に配置される。 (もっと読む)


【課題】移動距離を延長しても、直線移動機構全体の重量化、および旋回動作による慣性力の増大を適切に回避する。
【解決手段】搬送装置A1は、固定ベース1と、垂直状の旋回軸線Os周りに旋回可能な旋回ベース2と、旋回ベース2に支持された直線移動機構3と、直線移動機構3に支持され、ワークWを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド4A,4Bと、軸線Osに沿って配置され、固定ベース1内のモータM3,M4からの駆動力を直線移動機構3に伝達するための伝動軸25,26とを備える。直線移動機構3は、水平軸線O1周りに回転可能な駆動プーリ335、および、垂直面内に沿うように駆動プーリ335に掛け回され、移動行程の平行線に沿って往復動する出力ベルト337を含んで構成された駆動機構33A,33Bと、出力ベルト337に連結されたハンド4A,4Bを移動可能に支持するガイドレール32A,32Bとを有する。 (もっと読む)


【課題】作業性を向上させることができるとともに、短時間でウエハの並べ替えを行い、処理効率の向上を図ることができるウエハ並べ替え装置を提供する。
【解決手段】複数のウエハ2が収容されるカセット1を載置可能な複数のカセットステージ10と、ウエハ2の識別情報を認識する識別手段3を有する識別ステージ30とを平面視円弧状に並べて一列に設置するとともに、各ステージの半径方向外方及び上方を開放状態とし、その半径方向内方位置に、旋回アーム40の先端に1ウエハを一枚ずつ支持して各ステージ間を移送する移送手段4を設けた。 (もっと読む)


【課題】真空搬送室に、基板を処理するための複数の処理室を接続した基板処理装置において、装置の大型化を抑え、フットプリントの増大を抑制する技術を提供すること。
【解決手段】真空雰囲気に維持された真空搬送室13の周囲に、基板に対して真空処理が行なわれる複数の処理室30を設ける。前記処理室30は容器本体31の上部開口を蓋体32で開閉するように構成されている。蓋体開閉機構6を、複数の処理室30の各々の蓋体32の開閉位置を通りながら前記真空搬送室13の外周に沿って移動するように設ける。前記蓋体32には被保持部5が設けられており、蓋体開閉機構6に設けられた蓋体保持機構7を前記開閉位置にて上昇させることにより、処理室30から蓋体32を持ち上げる。 (もっと読む)


【課題】基板を基板収納容器から確実に取り出すことができる載置プレート、基板移載装置および基板処理装置を提供する。
【解決手段】ウエハ1をポッドに出し入れするツィーザ50において、ツィーザ50はウエハ1を載置する基端側載置部52、52および先端側載置部54、54と、ウエハ1を前記ポッドから取り出す際にウエハ1の前記ポッド内の奥側の周縁部を引っ掛ける先端側引っ掛け部55、55と、ウエハ1の位置ずれを防止する座ぐり51と、を具備し、先端側引っ掛け部55、55は先端側が二股に分かれて配置され、先端側載置部54、54の載置面との夾角Θbが直角または鋭角に設定され、ウエハ1を引っ掛ける際には、前記ポッド内の位置決め部の近傍に位置するように構成されている。 (もっと読む)


【課題】基板表面への傷付きを防止すること。
【解決手段】基板8の斜め下側を向いた基板8裏面の周縁部を支持する複数の基板支持板52,53を備えた基板受け渡し機構により基板テーブル12と基板8との隙間が制御され、基板テーブル12には、基板受け面に配置される基板8の下側の端面を支持する基板支持突起33と、基板支持板52,53を受け入れる複数の凹所38,39とが設けられ、基板8の受け渡し時に、搬送部42に対して基板テーブル12が駆動機構により進退可能に構成されているとともに、搬送部42に対して基板支持板52,53が基板受け渡し機構により進退可能に構成され、基板受け渡し機構は、基板テーブル12と基板支持板52,53との隙間を制御することで基板テーブル12と基板8との隙間を制御するように構成した。 (もっと読む)


【課題】大型の基板で製膜処理等を行うにあたり、調整が容易で高速に基板搬送が可能な真空処理装置を提供する。
【解決手段】真空処理装置は、搬送室10、第1処理室12−1〜2、第2処理室12−3〜4、第1基板搬送台車20−1〜2、第2基板搬送台車20−3〜4を備える。搬送室10は、X方向に伸び、第1搬送領域10−1と第2搬送領域10−2を含む。第1処理室12−1〜2は、第1搬送領域10−1側に接続される。第2処理室12−3〜4は、第2搬送領域10−2側に接続される。第1基板搬送台車20−1〜2は、第1搬送領域10−1内を移動する。第2基板搬送台車20−3〜4は、第2搬送領域10−2内を移動する。第1基板搬送台車20−1〜2は第2処理室12−3〜4の少なくとも一つと第1処理室12−1〜2とに対し基板2を搬入、搬出する。第2基板搬送台車20−3〜4は第2処理室12−3〜4に対し基板2を搬入、搬出する。 (もっと読む)


【課題】解体作業の合理化、簡素化を達成し得る平面型表示装置の解体装置を提供する。
【解決手段】平面型表示装置の解体装置10は、(A)平面型表示装置50の画像表示部51を真空吸着する真空吸着装置40、(B)取付け手段30、及び、(C)取付け手段30を水平方向に移動させる移動手段20を備え、取付け手段30は、(B−1)移動手段20に移動可能に取り付けられた取付け部材31、並びに、(B−2)取付け部材31に対して水平方向に延び、且つ、水平軸AXHを回転軸として回転自在に取付け部材31に取り付けられた支持部材35から成り、真空吸着装置40は、必要に応じて、垂直軸AXVを回転軸として回転自在に支持部材35に取り付けられている。 (もっと読む)


【課題】基板処理装置において、基板を円滑且つ適切に処理する。
【解決手段】接合装置1の処理容器10は、上側に位置する上部容器11と下側に位置する下部容器12がシールドベローズ13によって接続された構成を有している。上部容器11と下部容器12との間にはウェハWの接合処理を行うための処理空間Kが形成されている。下部容器12内には熱処理板20が設けられ、熱処理板20の外周部には受渡部材42を収容可能な切欠き溝21が形成されている。上部容器11には、上部容器11の下面から鉛直下方に延伸する支持部材41と、ウェハWの外周部を保持すると共に熱処理板20との間でウェハWの受け渡しを行う受渡部材42と、支持部材41と受渡部材42を連結する連結部と備えた受渡アーム40が設けられている。受渡アーム40は上部容器11と共に鉛直方向に移動自在になっている。 (もっと読む)


【課題】ワークの種類に関わらずワークを精度よく搬送可能なワーク搬送方法およびワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】同心円周上に所定ピッチで複数個の貫通孔が形成さえた、保持面から僅かに突出したパッド77を先端のU形の保持アーム34に、さらに所定ピッチで複数個有し、当該パッド77から保護シートに向けて圧縮空気を吹き付けて保持アーム34の保持面と保護シートとの間に負圧を発生させて保護シートを浮遊させた状態で懸垂保持し、あるいは当該パッド77で表面の回路の露出したウエハの裏面を吸着保持してそれぞれを搬送する。 (もっと読む)


【課題】ウェハの受け渡し時におけるチャック機構の吸着不良を低減する。
【解決手段】ハンドリングユニットのウェハ保持面18は、断面がL字状の金属板で円弧に沿ったC字状に形成されている。ウェハ保持面18はウェハ16の外周を囲む大きさとされ、平面部18Fでウェハ16の下面を保持している。平面部18Fの外周部には、ウェハ16の平面部18Fからの高さより高い寸法で立上り部18Hが立ち上げられ、立上り部18Hでウェハ16の外周を囲んでいる。ウェハ保持面18の一部は切り欠かれ、切り欠き部を利用して、後述するシャトル24の軸部38を側方から囲むことができる。ウェハ保持面18の平面部18Fには、平面部18Fから突出された2本の固定ピン28と、平面部18Fからの突出高さが固定ピン28より高い1本の固定ピン30が周方向に間隔を開けて突設されており、ウェハ16の下面との接触部とされている。 (もっと読む)


【課題】回転棚のような移動棚の可動範囲の制限をなくし、所定のポッドをより短い距離及び時間で、移動棚の払い出し位置まで移動させることが可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】複数の基板が収容される基板収容器が搬入出されるロードポートと、前記基板収容器を複数収納する移動可能な容器収納棚と、基板を移載する際に基板収容器が載置される移載棚と、前記ロードポートと、前記容器収納棚と、前記移載棚との間で前記基板収容器を搬送する容器搬送装置と、前記移載棚に載置された基板収容器内の基板の移載を行う基板移載装置と、少なくとも前記容器搬送装置、前記基板移載装置の駆動を制御する制御装置とを備え、前記容器収納棚には、基板収容器が載置されることにより変位するフラグを備え、前記容器収納棚の周囲には、前記フラグを検出するための基板収容器検出センサが固定して設けられることを特徴とする基板処理装置を提供する。 (もっと読む)


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