説明

Fターム[5F031GA49]の内容

ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 移送装置、手段 (13,292) | アーム部 (5,670) | 動作 (3,504) | アームの支持部全体が垂直方向に移動 (1,097)

Fターム[5F031GA49]に分類される特許

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【課題】半導体ウエハ等の試料の処理の歩留まりの低下を抑制する。
【解決手段】ロック室の後方に相互に連結され減圧された内部を前記ウエハが搬送される真空搬送室の容器の並びと、前記真空搬送室の容器の間に配置され前記ウエハが内部に載せられて収納される中間室と、前記真空搬送室の容器の各々の左右方向のいずれかの側の側壁に連結され内部で前記ウエハが処理される処理容器を含む複数の処理ユニットと、これらの処理ユニットを連結するバイパス路を構成するバイパス室とを備え、前記複数の真空搬送室の容器は、前記ロック室から前記複数の処理ユニットのいずれかに向けて搬送される前記ウエハまたは前記複数の処理ユニットの何れかで処理された後に前記バイパス室を通り別の処理ユニットで処理されて前記ロック室へ向けて搬送される前記ウエハのいずれかのみが搬送される。 (もっと読む)


【課題】より確実にトレイからリフトアームを用いてガラス基板を離脱させることができる簡素な構成の基板移載装置を提供する。
【解決手段】基板移載装置1Aは、トレイ100上に載置されたガラス基板200をトレイ100から離脱させることによってガラス基板200を移載するものであって、トレイ100の周縁部を開放させた状態でトレイ100を支持する支持部20と、トレイ100の周縁部を下方に向けて撓み変形させることにより、トレイ100の周縁部とガラス基板200の周縁部との間に隙間を生じさせる押圧ピン14と、トレイ100の周縁部とガラス基板200の周縁部との間に生じた隙間に側方から挿入されることにより、ガラス基板200の周縁部を下方から支持してガラス基板200をトレイ100から離脱させるリフトアーム13とを備える。 (もっと読む)


【課題】温度の高い比較的大型の搬送対象物を搬送する場合であっても、熱の影響による軸受の摩耗や損傷を抑制すること、熱の影響によるアームの変形を抑制すること、および、ハンドの重量を軽減することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】この産業用ロボットは、搬送対象物が搭載される搭載部27を有するハンド3と、その先端側でハンド3を保持するアームと、アームの基端側を保持する本体部と、搭載部27の少なくとも上面を覆うカバー部材30とを備えている。カバー部材30における輻射熱の反射率は、搭載部27における輻射熱の反射率よりも高く、カバー部材30の熱伝導率は、搭載部27の熱伝導率よりも低く、搭載部27の比重は、カバー部材30の比重よりも小さくなっている。 (もっと読む)


【課題】エネルギー線照射システムにおいて、異なる寸法のワークに効率的にエネルギー線を照射できるコンパクトで低コストの搬送機構を実現する。
【解決手段】異なる寸法のワークW1、W2がそれぞれ搭載される第1、第2ワークホルダ31a、32aと、各々のワークホルダを各々のワーク授受領域とエネルギー線照射領域AR1との間で進退移動させる進退機構33と、互いに異なる位置に設けられた第1及び第2ワーク収容部21a、22aと、第1のワーク授受領域にある第1ワークホルダ31aと第1ワーク収容部21aとの間でワークW1を搬送する第1搬送アームと、第2のワーク授受領域にある第2ワークホルダ32aと第2ワーク収容部22aとの間でワークを搬送する第2搬送アームとを設けた。 (もっと読む)


【課題】ウエーハ等の板状物を収容したカセットを上下に2段以上重ねた状態で板状物の搬出および搬入を行うことができる搬送装置を提供する。
【解決手段】板状物を保持する保持手段と保持手段を支持するアーム機構とアーム機構を駆動するための駆動機構を備えた保持ユニットと、保持ユニットを上下方向に移動可能に支持する支持機構とを具備する搬送装置であって、支持機構は、保持ユニットが装着される第1の移動基板と、第1の移動基板を上下方向に移動可能に支持する第1の案内レールを備えた第1の基台と、第1の移動基板を第1の案内レールに沿って移動せしめる第1の移動手段とを備えた第1の支持機構と、第1の基台が装着される第2の移動基板と、第2の移動基板を上下方向に移動可能に支持する第2の案内レールを備えた第2の基台と、第2の移動基板を第2の案内レールに沿って移動せしめる第2の移動手段とを備えた第2の支持機構とを具備している。 (もっと読む)


【課題】露光前に基板の裏面洗浄を行う機能を備えた基板処理システムにおいて、基板処理の歩留まりを向上させる。
【解決手段】塗布現像処理システムのインターフェイスステーション5は、ウェハを露光装置に搬入する前に少なくともウェハの裏面を洗浄する洗浄ユニット100と、洗浄後のウェハの裏面について、当該ウェハの露光が可能かどうかを露光装置に搬入前に検査する検査ユニット101と、各ユニット100、101の間で基板を搬送するアームを備えたウェハ搬送機構120、130と、ウェハ搬送機構120、130の動作を制御するウェハ搬送制御部を有している。ウェハ搬送制御部は、検査の結果、ウェハの状態が洗浄ユニット100での再洗浄により露光可能な状態になると判定されれば、当該ウェハを洗浄ユニット100に再度搬送するように、ウェハ搬送機構120、130を制御する。 (もっと読む)


【課題】円板状板状物の中心がずれた状態の円板状板状物ユニットでも、搬送先のチャックテーブルに中心を位置合わせして搬送可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】環状フレームFに円板状板状物の貼着された円板状板状物ユニットを搬送先のチャックテーブルへ搬送する装置2は、前記円板状板状物ユニットの吸引保持と該チャックテーブルの中心位置合わせを行なう吸引保持位置合わせ機構と、該吸引保持位置合わせ機構の移動機構とを具備し、前記吸引保持位置合わせ機構は、環状フレームFを吸引保持する吸引保持部46と、前記円板状板状物ユニットの前記円板状板状物の外周側面に作用する複数の爪30を待機位置と互いに半径方向に接近した作用位置との間で移動させることで、前記チャックテーブルの中心に位置付けする手段と、吸引保持部46を吸引保持位置とその上方の退避位置とに位置付ける吸引保持部位置付け手段18とを含む。 (もっと読む)


【課題】露光前に基板の裏面洗浄を行う機能を備えた基板処理システムにおいて、基板搬送の負荷を低減させる。
【解決手段】塗布現像処理システムのインターフェイスステーション5は、ウェハを露光装置に搬入する前に少なくともウェハの裏面を洗浄するウェハ洗浄部141と、洗浄後のウェハの裏面について、当該ウェハの露光が可能かどうかを露光装置に搬入前に検査するウェハ検査部142と、ウェハ洗浄部141とウェハ検査部142との間でウェハWを搬送する搬送手段143を有している。ウェハ洗浄部141、ウェハ検査部142及び搬送手段143は、筐体140の内部に設けられている。 (もっと読む)


【課題】露光前に基板の裏面洗浄を行う機能を備え、処理ユニットの構成を変更することなくフットプリントを小さくする、基板処理システムを提供する。
【解決手段】処理ステーションと、インターフェイスステーション5と、を備えた塗布現像処理システムにおいて、インターフェイスステーション5は、ウェハを露光装置に搬入する前にウェハの裏面を洗浄する洗浄ユニット100と、洗浄後のウェハが露光可能な状態かどうかを検査する検査ユニット101と、洗浄ユニット100と検査ユニット101との間でウェハを搬送するアームを備えたウェハ搬送機構120を有している。洗浄ユニット100と検査ユニット101は、インターフェイスステーション5の正面側に、上下方向に多段に設けられ、ウェハ搬送機構120は、洗浄ユニット100及び検査ユニット101に隣接した領域に設けられている。 (もっと読む)


【課題】複数のウェーハを自動的に搬送して連続的に加工を行うための搬出入装置について、部品点数が少なく、簡易な構成にて実現可能であり、更に、安価な製作コストを実現できる搬出入装置を提供する。
【解決手段】ユニット支持部には、複数の該被加工物ユニットを重ねて収容可能なユニットケースが着脱自在に配設され、搬出入手段のフレーム保持部の直下に、ターンテーブルのユニット通過部と、保持手段が位置付けられた際に、搬出入手段のフレーム保持部を上下動させることで保持手段に対する被加工物ユニットの搬入又は搬出が行われ、搬出入手段のフレーム保持部の直下に、ターンテーブルのユニット支持部が位置付けられた際に、搬出入手段のフレーム保持部を上下動させることでユニット支持部に対する被加工物ユニットの搬出又は搬入が行われる、ユニット搬出入装置とする。 (もっと読む)


【課題】複数のウェーハを自動的に搬送して連続的に加工を行うための搬出入装置について、部品点数が少なく、簡易な構成にて実現可能であり、更に、安価な製作コストを実現できる搬出入装置を提供する。
【解決手段】搬出入手段のフレーム保持部の直下に、ターンテーブルのユニット通過部と、保持手段が位置付けられた際に、搬出入手段のフレーム保持部を上下動させることで保持手段に対する被加工物ユニットの搬入又は搬出が行われ、搬出入手段のフレーム保持部の直下に、ターンテーブルのユニット支持部が位置付けられた際に、搬出入手段のフレーム保持部を上下動させることでユニット支持部に対する被加工物ユニットの搬出又は搬入が行われる、ユニット搬出入装置とする。 (もっと読む)


【課題】他の装置との非干渉領域を拡大して作業性と安全性を大幅に改善する板状被処理材の取扱装置を提供する。
【解決手段】水平走行本体HSに旋回ポストCPを装着し、旋回ポストCPに水平旋回アームCAを装着し、その先端に旋回首振可能に横断面がコ字型の竪フレームTFを連結装着し、竪フレームTFの下端部に長尺ボックスTBを傾動可能に装着する回動駆動連結機構XKを設け、長尺ボックスTBに板状被処理材Wの下端縁と上端縁を上下の挟持爪HTで挟持支持・開放する挟持爪機構KKを装着し、挟持爪機構KKは、長尺ボックスTB内に上下駆動機構を内装し、長尺ボックスTBの外側の縦長手方向に移動可能に左右一対の爪保持リングTRを設け、爪保持リングTRの前面に上下一対の挟持爪HTを装着し、爪保持リングTRの後部を長尺ボックスTBの後側からボックスTB内に挿入し挿入部をスクリューに連結してなる。 (もっと読む)


【課題】厚みに個体差のあるウエハを破損させることなく搬送できるウエハ搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るウエハ搬送装置1は、ウエハ2を保持する保持部4と、保持部4の移動を制御する移動制御部71と、保持部4によるウエハ2の保持を制御する保持制御部72と、ウエハ2の下端のトレー3の上面に対する鉛直方向の距離が第1の距離であるか否かを判定する判定部73とを備える。 (もっと読む)


【課題】ウェーハ搬送室内に搬送可能なウェーハの数を効果的に増大させることができ、EFEMに用いた場合にはウェーハ搬送の処理能力を向上させることが可能な装置を提供する。
【解決手段】ウェーハ搬送室B及びロードポートCとともにEFEMを構成し、載置テーブルを、ロードポートCがFOUP搬送装置との間でFOUPxを受け渡す位置と同一直線L上に設定したFOUP受渡位置と、ウェーハ搬送室Bの側面にFOUPxを密着させ得る位置に設定したウェーハ出入位置との間で移動させる移動機構を備えたサイド用ロードポート1を案出した。 (もっと読む)


【課題】不要シートの剥離や、接着シートの剥離及び貼付を良好に行うことができるようにすること。
【解決手段】帯状シートWSが帯状の剥離シートRLに仮着された原反RSを繰り出す繰出手段14と、帯状シートWSに円弧形状を有する切込CUを形成して当該切込CUの内側に接着シートASを形成し、切込CUの外側に不要シートUSを形成する切断手段15と、接着シートASを初期剥離領域Saから剥離する剥離板18とを備えてシート貼付装置10が構成されている。切断手段15は、接着シートASの初期剥離領域Saにおいて、円弧から突出する突出部Stを形成可能に設けられている。 (もっと読む)


【課題】 収納ケースから基板を受取って搬送し、且つ位置決めすることができる搬送システムを提供する。
【解決手段】 搬送システム1は、収納ケース12と、昇降装置13と、受渡装置14と、搬送装置15とを備えている。昇降装置13は、収納ケース12を昇降させてその中の各基板11を順に受取位置に位置させる。受渡装置14は、受取位置の基板11を受取って受渡位置にて搬送装置15に渡す。搬送装置15は一対のベルト51,51を有している。一対のベルト51,51は、左右方向に間隔をあけて設けられ、そこには複数のプロファイル54が互いに対応付けて夫々設けられている。対応付けられたプロファイル54は、搬送方向に一緒に移動し、また受渡位置にて渡された基板11の外縁部を支持し且つその基板11を規定位置へと位置決めするよう構成されている。 (もっと読む)


【課題】 保持テーブルと吸着パッドの平行度の自動調整を実現可能な板状物の搬送装置を提供することである。
【解決手段】 テーブル表面の傾きが異なる複数の保持テーブル間で板状物を搬送する板状物搬送装置であって、少なくとも垂直移動可能に支持されたアームと、該アームの先端部に固定され、上端部が逆円錐台形状の支持穴を有する支持ベースと、逆円錐台形状の頭部を有し、該頭部が該支持穴の逆円錐台形状部分に係合することにより該支持穴中に挿入支持された管状部材と、該管状部材の下端に連結された板状物を吸引保持する吸着パッドと、一端部が該管状部材の上端部に接続され他端が吸引源に接続された配管と、該管状部材に外嵌され、該支持ベースの肩部と該吸着パッドとの間に介装されたコイルばねと、を具備したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】繰出方向先端部や後端部に円弧部や直線部を有する接着シートでも、不要シートの剥離や、接着シートの貼付を良好に行うことができるようにすること。
【解決手段】帯状シートWSが帯状の剥離シートRLに仮着された原反RSを繰り出す繰出手段14と、帯状シートWSに円弧形状を有する切込CUを形成して当該切込CUの内側に接着シートASを形成し、切込CUの外側に不要シートUSを形成する切断手段15と、接着シートASを初期剥離領域(繰出方向先端部)Saから剥離する剥離板18とを備えてシート貼付装置10が構成されている。切断手段15は、不要シートUSにおける初期剥離領域Saの切込CUに連なる位置に短冊状切込Stを形成して短冊部TSを形成可能に設けられている。 (もっと読む)


【課題】アーム部の昇降範囲を大きくしつつ、最低限必要な高さ位置までアーム部を降下可能とした搬送ロボットおよび基板処理装置を提供する。
【解決手段】アーム部(12)を水平方向に回転自在に支持し、所定の基台設置フレーム(23)に設置される基台部(13)と、基台部(13)内に立設した縦軸に沿ってアーム部(12)を、基台部(13)の上方に規定されたアーム部昇降範囲(α)内で昇降させる昇降機構(7)とを備える。基台部(13)は、基台設置フレーム(23)に形成された基台収容凹部(25)内に、底壁(131)から所定高さ(h)に設定された基台固定用フランジ(8)までを埋没させた状態で固定されている。 (もっと読む)


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