【課題】平板状の基板をステージ上面から浮かせ、基板下面の一部を吸着パッドにより把持して所定の方向に移送する基板移送装置において、吸着パッドによる基板の変形を防ぎ、基板表面の歪みを軽減する基板移送装置を提供し、それによって、処理工程の中で基板移送を伴うスピンレス方式の塗布を均一に行う装置を提供すること。
【解決手段】ステージ上と吸着パッド上とを含む基板上の異なる点の高さを測定できる測定器を有しており、高さの測定結果に基いて、吸着パッドの高さを調整することにより、基板表面の歪みを軽減する。 （もっと読む）

【課題】 大型化によって重量が増加したドアに対して、ドア駆動機構に対する過負荷の発生を防止してドアの停止位置の再現性を確保可能なロードポート装置を提供する。
【解決手段】 ドア駆動機構においてドアを開口部形成面に垂直な方向に駆動するドア駆動機構を、カムフォロアを０°から１８０°に回動可能なロータリーシリンダと、該ロータリーシリンダの回転軸に垂直な面内に該カムフォロアを収容可能で鉛直方向に延在するカム溝を有するスライダと、から構成し、該スライダによってドアを支持する。 （もっと読む）

【課題】解体作業の合理化、簡素化を達成し得る平面型表示装置の解体装置を提供する。
【解決手段】平面型表示装置の解体装置１０は、（Ａ）平面型表示装置５０の画像表示部５１を真空吸着する真空吸着装置４０、（Ｂ）取付け手段３０、及び、（Ｃ）取付け手段３０を水平方向に移動させる移動手段２０を備え、取付け手段３０は、（Ｂ−１）移動手段２０に移動可能に取り付けられた取付け部材３１、並びに、（Ｂ−２）取付け部材３１に対して水平方向に延び、且つ、水平軸ＡＸ_Hを回転軸として回転自在に取付け部材３１に取り付けられた支持部材３５から成り、真空吸着装置４０は、必要に応じて、垂直軸ＡＸ_Vを回転軸として回転自在に支持部材３５に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】 ダイシングテープからＤＡＦが分離して剥離シート側に貼り付いてしまう現象を防止可能なテープ貼着装置を提供することである。
【解決手段】 環状フレームと該環状フレームの開口中央に配設されたウエーハにＤＡＦ一体型ダイシングテープを貼着するテープ貼着装置であって、送りだされたテープ体から剥離シートを剥離して、剥離シートとＤＡＦ一体型ダイシングテープを分離する剥離手段を具備している。剥離手段は、ＤＡＦ一体型ダイシングテープを剥離シートから剥離するピールプレートと、剥離シートとＤＡＦ一体型ダイシングテープが一体化されたテープ体を挟んでピールプレートと対向して配設され、テープ体に冷風を送りテープ体を冷却する冷却手段とを含んでいる。冷却手段は、冷風発生装置に接続されたスリット又は複数の孔が形成された環状部材から構成される。 （もっと読む）

【課題】スロット状の開口部を有するトランスファーバルブであって、保守および修理時に、プロセスチャンバからトランスファーバルブを取り外すことなく、交換可能であり、バルブ閉鎖部の全長に亘って、均等な接触力および密閉力を生成できるトランスファーバルブを提供する。
【解決手段】バルブ閉鎖ビーム４、回転軸受およびシャフト１１は気密なバルブハウジング１４内でバルブカバー２０上に配置され、シャフト１１、回転軸受およびバルブ閉鎖ビーム４は、バルブカバー２０を切り離して移動させることによって、バルブハウジング１４から切り離し可能である。バルブハウジング１４内で、シャフト軸に沿って、互いに所定距離離れて分散配置され、そしてバルブ閉鎖ビーム４およびシャフト１１が取り付けられた少なくとも３つの軸受要素２７によって、回転軸受が形成される。 （もっと読む）

【課題】ベルヌーイチャックで基板を吸引保持するときのハンド部の位置精度を緩やかなものとしながら、吸引保持した基板の位置決めを基板自身で自動的に行なって、非接触状態での基板の移載を高速度で能率よく行なえる移載装置を提供する。
【解決手段】パラレルメカニズムのハンド部に、基板を非接触状態で吸引保持するベルヌーイチャックと、基板を位置決めする複数個のガイド体とを設ける。基板を吸引する際には、吸引開始位置におけるベルヌーイチャックをハンド部で位置保持して、ガイド体が基板の外郭線の外に位置する状態にして基板を吸引保持する。吸引保持された基板を、ノズル穴から吹き出される空気流で一方向へ旋回させ、旋回変位する基板の辺部をガイド体で受け止めて位置決めする。以上により、基板を吸引保持するときのハンド部の位置精度を緩やかにできる。さらに、吸引保持した基板の位置決めを基板自身で自動的に行なえる。 （もっと読む）

【課題】 大型の矩形基板の位置ずれや欠けなどの異常を確実に検出できる搬送室およびそのような搬送室を備えた基板処理装置を提供する。
【解決手段】 搬送装置５０のスライドピック５１３に基板Ｓを載置し、搬送室２０内からゲート開口２２ｄを介してプロセスチャンバ１０ｂへ搬入する際に、ゲート開口２２ｄに対応して搬送室２０内におけるその近傍に、基板Ｓとの相対的な位置関係が同じになるように基板Ｓの幅よりも狭い間隔で左右に配備された一対のセンサ７０，７０によって基板Ｓの両端部からそれぞれ５〜１０ｍｍ内側の部位に光線を照射し、その反射率または透過率から、基板Ｓの位置ずれや欠陥などの検出を行う。 （もっと読む）

【課題】可撓性基板の搬送位置制御のために新たな設備を設置することが不要であり、既存の搬送ラインの構成をそのまま維持できるとともに、可撓性基板の搬送位置を所望の方向へ迅速かつ確実に移動させることが可能な基板搬送位置制御装置を提供することにある。
【解決手段】可撓性基板１０に張力を付与し、可撓性基板１０を長手方向に沿って搬送する曲率半径可変ロール１を備え、曲率半径可変ロール１は、曲率半径を軸方向で部分的に変化させることによって、可撓性基板１０が接触した際に生ずる張力に可撓性基板１０の幅方向で分布を与え、可撓性基板１０の搬送位置を変化させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】大型化し、薄型化した平板状の基板の自重による大きな撓みを発生させない基板保持方法を提案すること。また、前記提案する基板保持方法を用いることにより、多段積み上げ式の基板処理装置を効率の良い形態で、処理の均一性も良好にできる装置として提案すること。
【解決手段】平板状の基板の保持方法であって、該基板を上に凸に湾曲させて湾曲方向と垂直に交わる対向する２辺で湾曲状態を固定する。また、基板処理装置は、前記湾曲状態に固定した複数の基板を順送りに処理室内に格納する機構と、前記基板を複数段積み上げて処理する機構と、処理の終了した基板を処理室内から払い出しする機構と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板をリフトアップ、リフトダウンする際にガラス基板に作用する局所的な応力を発生させず、その結果、ガラス基板表面に形成した薄膜の損傷やガラス基板自体の割れを防ぐことを可能とする基板保持装置を提供する。
【解決手段】処理対象である基板を基板搬送アームで基板保持面の上方に搬送した後に基板保持面に載置し、基板を吸着保持する基板保持装置であって、平坦な基板保持面を形成するための複数の基板保持部と、基板保持面下で昇降する櫛歯状の基板保持面昇降部と、平坦な基板保持面に基板を吸着保持する基板吸着保持手段と、基板を基板保持面から浮上する基板浮上手段と、を備えたことを特徴とする基板保持装置。 （もっと読む）

【目的】振動の発生を抑制したステージ駆動装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様のステージ駆動装置１０６は、上面と裏面に移動距離以上の範囲で平行な平面部を有し、基板を配置するＸＹステージ１０５に接続され、長手方向に移動することで当該方向にステージを移動させるレール状部材２０と、レール状部材２０における上面側の平面部に円形の外周面で接触し、接触した状態で回転することでレール状部材を長手方向に移動させる駆動側回転軸１０と、駆動側回転軸１０を支持する軸受３０と、駆動側回転軸１０の下部に配置され、駆動側回転軸１０の外周面のうちレール状部材２０と接触する部分よりも軸受３０側に位置する部分に円形の外周面で接触し、駆動側回転軸１０の回転により回転させられる軸受４０と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウェハが搭載されるターンテーブルの回転及び水平面内での移動によってもフレームの上下における気密性を維持でき、アライニング作業を真空中又は特定のガス雰囲気中で行うことができるようにする。
【解決手段】アライナ装置１０は、フレーム３の底面における貫通孔３１の周縁部に上端を密着して固定するとともに支持台４の上面における孔部４２の周縁部に下端を密着して固定したベローズ９を備えている。また、孔部４２には、磁性流体継手８が嵌入している。ターンテーブル１が配置されるフレーム３の上方は、ベローズ９と支持台４の上面とで包囲される範囲においてのみフレーム３の下方に連通し、フレーム３の下方から外気が流入することがなく、気密状態に維持される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、部品を向きがずれたまま位置決めブロックに押し当てるのを防止することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る発明に係る部品位置決め装置は、上面に位置決め領域が設けられた支持台と、支持台上面と対向するベース板と、ベース板下面において、位置決め領域と対向する位置に設けられたピックアップ手段と、支持台上面において、位置決め領域に隣接するように設けられ、位置決め領域側に第１の位置決め面を有する位置決めブロックと、支持台上面に設けられ、位置決め領域を挟んで第１の位置決め面に対向する第１の接触面を有し、第１の位置決め面に垂直な方向であって第１の位置決め面に近づく第１の方向及び第１の方向とは反対の第２の方向に移動する第１のスライドブロックと、ベース板下面において、第１のスライドブロックと対向するように設けられた第１の押さえブロックと、を備える。 （もっと読む）

【課題】フリーボールベアリングからチャンバ内への粉塵の飛散を防止することができ、しかも受け球を押さえ込んで主球の回転抵抗を増大させるための受け球押さえリングの移動抵抗を、グリスを使用しないノングリス方式にて低く抑えることができる技術の提供。
【解決手段】本体２０の球受け部２３の半球状凹面２１と主球４２との間に挿入して受け球４２を押さえ込むことで主球４２の回転抵抗を増大させるリング状の押さえ片５５を有する受け球押さえリング５０を内蔵するフリーボールベアリング１１０を台板８９ａに固定し、受け球押さえリング５０に固定されたロッド６２を移動して受け球押さえリング５０を待機位置から受け球押さえ位置に移動する押さえ用駆動装置７０が台板８９ａの裏面側に設けられているベアリングユニット、フリーボールベアリング１１０、支持テーブル、搬送設備、ターンテーブルを提供する。 （もっと読む）

【課題】処理対象物を支持部材上の正確な位置に載置して処理対象物を支持部材上に正しい姿勢で支持することができるようにしたプラズマ処理装置及びプラズマ処理装置におけるトレイの載置方法を提供することを目的とする。
【解決手段】トレイ６の下面側から下方に突出して設けられた突起５２と、トレイ載置面５に下方に窪んで設けられた突起嵌入穴５３を有する。昇降ピン７によってトレイ６がトレイ載置面５に載置される過程で、トレイ６の下面側に設けられた突起５２が突起嵌入穴５３に上方から嵌入する。 （もっと読む）

【課題】基板の搬送や、基板の回転を確実に行うことができる基板保持機構、およびこの基板保持機構を備える基板処理装置を提供すること。
【解決手段】基板処理装置は、基板を保持して回転させるスピンチャックを備えている。スピンチャックは、開位置と閉位置との間で変位可能であり、開位置と閉位置との間の当接位置で基板の周端面に当接して当該基板を保持するための可動ピンと、可動ピンの変位量に応じた変位量で可動ピンと連動し、開位置および閉位置にそれぞれ対応する開検知位置および閉検知位置の間で変位する磁石６２と、開検知位置と閉検知位置との間における磁石６２の位置に応じて変化する磁界を検知するセンサ６４と、センサ６４の検出値に基づいて、開位置と閉位置との間における可動ピンの位置を検出する制御部６３とを含む。 （もっと読む）

【課題】半導体チップを損傷させずに効率よくピックアップできるピックアップ装置を提供することにある。
【解決手段】バックアップ体１内に上下方向に駆動可能に設けられ粘着テープ３を介して半導体チップ４をバックアップ体の上面から押し上げる押し上げ手段３３と、押し上げ手段によって押し上げられた半導体チップをピックアップするピックアップ手段を具備し、押し上げ手段は、上端面の全周が外方から内方に向かって低く傾斜した傾斜面３４ｂに形成された外側押し上げ体３４と、外側押し上げ体の内部に設けられ上端面によって半導体チップの周辺部よりも内側の部分を吸引して周辺部を上方に向かって傾斜させる内側押し上げ体３５，３６と、外側押し上げ体と内側押し上げ体を一体的に上昇方向に駆動して粘着シートを引き伸ばしてから、内側押し上げ体だけを上昇方向に駆動して半導体チップの周辺部から粘着シートを剥離させるカム体５３からなる。 （もっと読む）

【課題】一方向に搬送される基板を一時的に退避させる基板バッファユニットにおいて、バッファ空間の空気洗浄を効率的に行うことのできる基板バッファユニットを提供する。
【解決手段】基板搬送路を搬送される基板Ｇを一時的に収容し、前記基板搬送路から退避させる基板バッファユニット１００であって、上面が開放された箱状の筐体１と、前記基板搬送路から前記筐体内に搬入された基板を載置する載置部６と、前記載置部を前記基板搬送路から外れた所定位置に移動可能に設けられた箱状の棚部２と、前記棚部の一側面に設けられ、前記載置部に清浄空気を導入する空気導入口６ａと、前記棚部に接続され、該棚部内の空気を吸引して前記筐体外に排気する排気手段３０と、前記棚部よりも下方の前記筐体側面に設けられ、該筐体内の雰囲気を排気する排気窓４０とを備える （もっと読む）

【課題】基板が搭載される複数の搭載部間のピッチを変えるピッチ変更機構を備えている場合であっても、小型化することが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】産業用ロボットを構成する基板搭載機構３は、上下方向に重なるように配置され基板が搭載される搭載部１３〜１７間のピッチを変えるピッチ変更機構２６と、上下方向に移動可能な複数の可動ハンド１８〜２１とを備えている。ピッチ変更機構２６は、Ｙ方向を軸方向として配置される支点軸に回動可能に支持され可動ハンド１８〜２１が連結されるレバー部材５２、５３と、レバー部材５２、５３を回動させる駆動機構５８とを備え、可動ハンド１８〜２１とレバー部材５２、５３との連結部となるハンド連結部は、レバー部材５２、５３に取り付けられＹ方向に突出する突出部材と、可動ハンド１８〜２１に取り付けられ突出部材が係合する係合溝が形成されるガイド部材とを備えている。 （もっと読む）