電子ビーム露光 (6,230) | 描画方法−描画精度の向上方法 (407)

電子光学系への入力補正 (71)
温度調整 (28)
照射時間又は非照射時間 (38)
ビーム径変更法 (6)
パターン寸法・形状の補正（縮小法） (31)
パターンの輪郭処理 (7)
照射量補正法 (133)
パターンの接合・多重照射 (29)
加速電圧補正法 (6)
ビーム電流（密度）の制御によるもの (25)
電荷の中和 (10)
その他の描画方法 (23)