Fターム[5F071EE00]の内容
レーザ (1,524) | ガス流構造 (170)
Fターム[5F071EE00]の下位に属するFターム
封じ切り (17)
光軸と同方向のガス流(軸流) (68)
光軸と直角方向のガス流(クロスフロー) (57)
レーザ管内へのガス流噴射(ノズル噴射) (5)
その他のガス流 (22)
Fターム[5F071EE00]に分類される特許
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ガスレーザ装置および方法
【課題】スループットの向上を図ることである。
【解決手段】ガス放電レーザ装置が開示される。1つの実施形態において、ガス放電レーザ装置は、放電チャンバが設けられたガスレーザと、弁部材を介して放電チャンバに制御可能に流体連結されたガス貯蔵チャンバとを含み、ガス貯蔵チャンバは、弁部材がガス貯蔵チャンバを放電チャンバと流体連結の状態にさせるように制御されたときにはガスが放電チャンバから取り除かれるように、放電チャンバの中よりも低い圧力をその中に有するように構成される。
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