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Fターム[5F172NN22]の内容

レーザ (22,729) | 課題・目的 (2,491) | 特定パラメータの制御・安定化 (1,262) | 出力光 (1,140)

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【課題】汎用的な曲率誤差をもった凸レンズおよび凹ミラーを用いて、0.5mrad以下の平行なレーザビームを実現する。
【解決手段】レーザ出力を取り出す出力鏡と、入射したレーザビームが入射角45度で反射された後、所定の方向へビームを伝送するように配置された放物面鏡とを備え、位置可変機構によって前記放物面鏡への入射ビーム径に対して出射ビーム径を所定の範囲で可変することが可能であり、前記放物面鏡からの出射ビームによって成される外部光軸方向は前記位置可変機構による位置変化によっても略一定であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 種光をレーザ媒質部において効率良く増幅することができるレーザ増幅装置を提供する。
【解決手段】 レーザ増幅装置は、種光L1を出力する種光源と、励起光L2を出力する励起光源と、励起光L2が入力された状態で種光L1が入力されることにより、種光L1を増幅して出力するレーザ媒質部5と、種光L1が入力されたときに光透過率が高くなる可飽和吸収体6と、を備えている。可飽和吸収体6は、種光L1の光路に沿ってレーザ媒質部5に並設されている。 (もっと読む)


【課題】安定したレーザ光を得る。
【解決手段】マスタオシレータは、励起光を出力するポンピングレーザと、前記励起光によってレーザ発振するシードレーザと、前記シードレーザから出力されたパルスレーザ光を前記励起光によって増幅する増幅器と、前記シードレーザと前記増幅器との間の光路上に設置された少なくとも1つの光シャッタと、前記ポンピングレーザを所定の繰返し周波数で継続的に発振させるとともに、前記光シャッタを開閉制御するコントローラと、を備えてもよい。 (もっと読む)


【課題】光学経路上に配された傾斜プリズムによって生じる光学収差を効果的に補償可能なレーザー照射装置の提供。
【解決手段】光学経路上に、傾斜プリズム3と、傾斜プリズム3を透過する光に生じる非点収差および/または色収差を補償する集光レンズ22と、を備えるレーザー照射装置などを提供する。集光レンズ22は、前記光学経路の光軸に対して所定角度θ傾斜されて配設され、この傾きによる逆極性の非点収差によって傾斜プリズム3で生じた非点収差を補正する。 (もっと読む)


【課題】より小型化が可能な光渦レーザー発振装置及び光渦レーザー発振方法を提供する。
【解決手段】本発明の一観点に係る光渦レーザー発振装置は、固体レーザー媒質と、固体レーザー媒質に光を供給する光源と、固体レーザー媒質と前記光源との間に配置される集束レンズと、固体レーザー媒質を中心に等距離に配置される反射ミラー及び出力ミラーと、を有する。また本発明の一観点に係る光渦レーザー発振方法は、光源から励起光を固体レーザー媒質に照射して光を励起し、固体レーザー媒質が励起した光を、固体レーザー媒質を中心に等距離に配置される反射ミラー及び出力ミラーで共振させて発振する。 (もっと読む)


【課題】レーザ光の低空間コヒーレンス化をはかり、スペックルノイズの発生によるレジストパターン形成への悪影響を低減化すること。
【解決手段】発振段レーザ(MO)10からのビームは、MOビームステアリングユニット30を介して増幅段レーザ(PO)20の共振器内に注入され増幅発振される。増幅段レーザ(PO)20からのビームは、POビームステアリングユニット40を介してOPS50に入射し、OPS50からの光はコヒーレンスモニタ60を介して出力される。レーザコヒーレンスコントローラ66は、コヒーレンスモニタ60の検出値に基づいて、増幅段レーザ(PO)20の共振器のミラー、MOビームステアリングユニット30のミラー、POビームステアリングユニット40のミラー等のアクチュエータに駆動信号を送り、これらのミラーの角度などを制御する。 (もっと読む)


【課題】レーザ光の低空間コヒーレンス化をはかり、スペックルノイズの発生によるレジストパターン形成への悪影響を低減化すること。
【解決手段】発振段レーザ(MO)10からのビームは、MOビームステアリングユニット30を介して増幅段レーザ(PO)20の共振器内に注入され増幅発振される。増幅段レーザ(PO)20からのビームは、POビームステアリングユニット40を介してOPS50に入射し、OPS50からの光はコヒーレンスモニタ60を介して出力される。レーザコヒーレンスコントローラ66は、コヒーレンスモニタ60の検出値に基づいて、MOビームステアリングユニット30のミラー、POビームステアリングユニット40のミラー等のアクチュエータに駆動信号を送り、これらのミラーの角度などを制御し、出力レーザ光のコヒーレンスが所望の値になるように制御する。 (もっと読む)


【課題】レーザ光の低空間コヒーレンス化をはかり、スペックルノイズの発生によるレジストパターン形成への悪影響を低減化すること。
【解決手段】発振段レーザ(MO)10からのビームは、MOビームステアリングユニット30を介して増幅段レーザ(PO)20の共振器内に注入され増幅発振される。増幅段レーザ(PO)20からのビームは、POビームステアリングユニット40を介してOPS50に入射し、OPS50からの光はコヒーレンスモニタ60を介して出力される。レーザコヒーレンスコントローラ66は、コヒーレンスモニタ60の検出値に基づいて、増幅段レーザ(PO)20の共振器のミラー、MOビームステアリングユニット30のミラー、POビームステアリングユニット40のミラー等のアクチュエータに駆動信号を送り、これらのミラーの角度などを制御する。 (もっと読む)


【課題】ビーム伝送系のレーザから直接放出されたレーザ光よりもコヒーレンスが低減された光ビームを供給するビーム伝送系を提供する。
【解決手段】投影露光系のビーム伝送系は、キャビティ内の複数の縦レーザモードからレーザ光ビームを生成するレーザを含む。1つの縦レーザモードによって生成される光は平均線幅λlatを有し、ビームのレーザ光は、ビームの各横位置において、横レーザモードに対応する第2の線幅λlatを有し、ビームのレーザ光は、その断面全体にわたって平均化した場合、複数の横レーザモードに対応する線幅λbを有し、λm<λlat<λbである。ビーム上に配置される光遅延装置は、光路差ΔIを与える。但し、λ0は第1のレーザ光ビームの光の平均波長であり、λlatは第2の線幅を表している。 (もっと読む)


【課題】一緒に実装され得るレーザの温度を上昇させないように構成されたビームダンプを提供する。
【解決手段】ビームダンプ103は、光源101(たとえば、周波数変換レーザ)から光(たとえば、初期光)を受光するように構成された不透明なエンクロージャを含むことができ、前記光は、1つまたは複数の接続された光ファイバ102を介して、エンクロージャの開口を通って伝送される。受光した光は、エンクロージャ内で散乱し得る。しかしながら、ビームダンプ103は、(1つまたは複数の)ファイバ102中への戻り散乱光である光の量を最小限に抑えるように構成される。たとえば、戻り散乱光の量は、初期光の1/1000未満となり得る。さらに、ビームダンプ103は、光がエンクロージャの内側表面に接触するときに生じ得る光汚染を最小限に抑えるように構成することができ、小型で低コストの構造となる。 (もっと読む)


【課題】 理論値に近いレーザ出力が得られるようにした光共振器を提供する。
【解決手段】 光共振器10は、レーザ媒質3の片側にトリプルアクシコンミラー1を配設するとともに他方の側にハーフミラーによる出力ミラー2を配設し、出力ミラー2とトリプルアクシコンミラー1との間の光路をZ形状に形成するための第一及び第二の2つの中継ミラー4,5が上記光路の折り返し位置に配設されている。トリプルアクシコンミラー1は、どの方向から来た入射光も正確に同じ方向に反射させる構造を有するレトロリフレクタである。そして、第一の中継ミラー4が凸面鏡の場合は第二の中継ミラー5は凹面鏡であり、第一の中継ミラー4が凹面鏡の場合は第二の中継ミラー5は凸面鏡であり、第一の中継ミラー4の反射面と第二の中継ミラー5の反射面絶対値が同じで符号が逆の曲率半径を有している。 (もっと読む)


【課題】 出力されるレーザ光の立ち上がり期間短くしつつ、出力されるレーザ光の立ち上がり期間のばらつきを抑制することができるファイバレーザ装置を提供する。
【解決手段】 ファイバレーザ装置100は、種レーザ光源10と、励起光源20と、増幅用光ファイバ30と、制御部60と、出力設定部63と、出力命令部65とを備え、出力命令が制御部60に入力されるとき、制御部60は、予備励起状態と、出力状態となる様に種レーザ光源10と励起光源20とを制御し、予備励起状態においては、レーザ光が種レーザ光源10から出力されず、出力設定部63により設定されるレーザ光の強度に基づく所定の強度の励起光が励起光源20から一定期間出力され、出力状態においては、出力設定部により設定される強度のレーザ光が出力されるように、レーザ光が種レーザ光源10から出力されると共に励起光が励起光源20から出力されることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】低コヒーレンスであるランダムレーザーを用いることにより、簡易かつ小型な構成でスペックルノイズを低減させることが可能な自発光型の画像形成装置を提供する。
【解決手段】複数のドット領域11に分割され、各々のドット領域11内に、励起光L1が照射されることにより誘導放出を生じるレーザー媒質12と、レーザー媒質12中に分散し励起光L1を散乱させる粒子状の光散乱部材13と、を有する画像形成部10Aと、レーザー媒質12に励起光L1を照射する光源と、励起光L1を画像形成部10A上で走査する走査手段と、を備えることを特徴とする。 (もっと読む)


空間フィルタは、第1のフィルタ素子及び第1のフィルタ素子とオーバラップする第2のフィルタ素子を含む。第1のフィルタ素子は、第1の距離だけ離れた第1の対の円柱レンズを含む。第1の対の円柱レンズのそれぞれが第1の焦点距離を有する。第1のフィルタ素子は、第1の対の円柱レンズの間に配置された第1のスリットフィルタも含む。第2のフィルタ素子は、第2の距離だけ離れた第2の対の円柱レンズを含む。第2の対の円柱レンズのそれぞれが第2の焦点距離を有する。第2のフィルタ素子は、第2の対の円柱レンズの間に配置された第2のスリットフィルタも含む。 (もっと読む)


【課題】光ノイズの影響を最小限に抑えつつ、駆動電流を少なくしたり、温度変動に対するマージンを大きくする。
【解決手段】出力Pを一定にするように駆動電流Iopを制御しながら温度を変えて駆動電流Iopと光ノイズNとを測定し、光ノイズNが許容値以下となる温度領域を探索し、その温度領域に対応する駆動電流Iopが最少となる温度で動作するように固体レーザ結晶13と光共振器の温度を制御する。その温度で動作させていて光ノイズNが許容値Nthを超えると、温度領域の最低値と最高値の中間の温度で動作するように温度を変更する。
【効果】光ノイズの影響を最小限に抑えつつ、駆動電流を少なく抑えることが出来る。光ノイズNが許容値Nthを超えると、光ノイズNの影響のない動作ポイントに迅速に移行させることが出来る。 (もっと読む)


【課題】 高調波のレーザ光をモニタするパワーモニタを校正することができるとともに、パワーモニタを別途追加することなく基本波の出力をモニタすることができる波長変換レーザ発振器を得る。
【解決手段】 高調波レーザ光を出力するときに、この高調波レーザ光の出力を測定する第1の測定手段と、高調波レーザ光を出力するときに、波長変換素子を透過した基本波レーザ光の出力を測定するとともに、高調波レーザ光を出力しないときには、高調波レーザ光と基本波レーザ光の出力をともに測定する第2の測定手段とを備えた。 (もっと読む)


【課題】出力変動を抑制することができる光ファイバ増幅モジュールおよび光源装置を提供する。
【解決手段】光源装置1は、種光源10、プリアンプ20、プリアンプ30およびブースタアンプ40を備える。ブースタアンプ40は、光アイソレータ41、光コンバイナ42、増幅用光ファイバ43、光ファイバ44、励起光源45〜45および冷却部46を備える。増幅用光ファイバ43は、偏波保持機能を有し、二重クラッド構造のものである。冷却部46は、増幅用光ファイバ43と光ファイバ44との融着接続部を冷却する。 (もっと読む)


【課題】固体レーザー(1)と、ビーム整形レンズ(3)と、振動ミラーのモーター(5、7)と、振動ミラー(4、6)と、フィールドレンズ(9)と、移動プラットフォーム(10)と、工業制御用コンピューター及び制御用ソフトウェア(8)と、を備えた固体レーザーリフトオフ装置である。
【解決手段】ビーム整形レンズ(3)は固体レーザーの後方に配設され、固体レーザー(1)から射出されるレーザービームを必要なレーザービーム形状に整形する。振動ミラーのモーター(5、7)はフィールドレンズ(9)の前方に配設され、制御用ソフトウェア(8)の命令により、振動ミラー(4、6)の作動を制御し、異なるレーザービームスキャンパスを実現する。上記固体レーザーリフトオフ装置のリフトオフ方法で、小レーザースポットを用いてスキャンすることにより、GaN(窒化ガリウム)とサファイア基板を非破壊リフトオフすることが実現できる。 (もっと読む)


【課題】本発明は、レーザ発振装置の特に光学部品の防塵対策構造を提供することを目的とする。
【解決手段】レーザ光を出力するレーザ発振手段と、レーザ光を外部に出力しないときにレーザ光を受光するアブソーバと、レーザ発振手段とアブソーバの間を連通するケースと、ケース内部をケース外部よりも高圧とするガス供給手段を備え、ケースのガス供給手段よりも前記アブソーバ側にガス吸引手段を設けたものである。この構成により、ケース内部のガスがガス供給手段側からガス吸引手段側、すなわちアブソーバ側へ流れるので、ケース外部からの粉塵の侵入を防止しながらアブソーバなどから生じる粉塵を光学部品に到達させることなく外部へ排出できるので、粉塵付着による光学部品の光学性能劣化を阻止することができる。 (もっと読む)


【課題】送風機、熱交換器、ガス配管は、ガスレーザ発振装置を構成する部品の多くを占めていて体積の小型化ならびに材料費の低コスト化の大きな障害になっていた。
【解決手段】内部にレーザガスを配置した筐体19と、前記筐体19の内部に対向配置した放電電極23、24と、前記放電電極23、24よりも筐体19の外側でレーザの光軸20方向に対向配置した部分反射鏡26と反射鏡25を備え、前記筐体19は、その内部に前記放電電極23、24によるレーザガスへの放電空間21よりも大なる直径の空間を有し、前記放電空間21の方向に延びる冷却フィン27を前記レーザの光軸20方向に間隔を開けて複数設け、かつ冷却媒体の通路を設けたことにより、放電によるガス温度上昇ならびに冷却による温度降下でガスの対流を発生させ、レーザガスの循環を可能にした。 (もっと読む)


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