【課題】少なくとも励起レーザ電流制御回路の遅延時間および時定数に起因する光パルスのオーバーシュートを抑えて、入力パルス波形に対応した光パルスを出力すること。
【解決手段】入力パルス波形に対応した励起レーザ電流ＳＣを励起レーザ４に入力し、励起光をファイバレーザ共振器５に入力して光パルスＳＤを増幅出力するパルスファイバレーザにおいて、励起レーザ４に励起レーザ電流ＳＣを供給するＡＣＣ回路３と、光パルスＳＤの強度を検出する出力光検出器７と、入力パルス波形が入力されてから光パルスが出力開始されるまでの遅延時間（ｔ１＋ｔ２）に対応した所定の期間Ｒ１内は、励起レーザ４に所定の励起レーザ電流を供給するフィードフォワード制御を行うとともに、前記所定の期間が経過した後は、光パルスＳＤの強度に基づいて励起レーザ電流ＳＣを調整して光パルスの強度が目標値となるようにフィードバック制御を行う制御部２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】単列構成で、パルスレーザ光の１パルス当り又は単位時間当りのエネルギーを抑えながら大きな出力を達成できる極端紫外光源用ドライバレーザを提供する。
【解決手段】このドライバレーザは、レーザ光をターゲットに照射することによりターゲットをプラズマ化して極端紫外光を発生させる極端紫外光源装置において用いられるドライバレーザであって、レーザ媒質としてＣＯ_２を用いて、時間と共に強度が増加するパルスレーザ光を生成する発振段レーザ装置と、発振段レーザ装置から出力されるパルスレーザ光を、時間と共に減少する増幅率で増幅することにより、レーザ光のパルス幅を伸長する少なくとも１つの増幅器を含む増幅段装置とを具備する。 （もっと読む）

【課題】
複数の電気光学素子に印加する電圧を経時的にそれぞれ変化させ、レーザ光のパルス幅を伸長し、出力されるパルスレーザのピークエネルギーを低下させることができるパルスレーザ発振器を提供する。
【解決手段】
印加された電圧に応じて光を偏光する複数の電気光学素子６ａ，６ｂと、前記複数の電気光学素子６ａ，６ｂの個々に電圧を印加するとともに電圧を制御する電圧制御装置７とを備えたパルスレーザ発振器であって、前記電圧制御装置７によって、前記複数の電気光学素子６ａ，６ｂの個々に印加する電圧を経時的にそれぞれ変化させ、レーザ光のパルス幅を制御するものである。 （もっと読む）

【課題】１パルスのレーザ光における特定時間のエネルギーを低減する。
【解決手段】任意に発生した１パルスのパルスレーザ光の強度を調整するためのレーザ用アッテネータ３であって、パルスレーザ光の光路上にクロスニコルに配置された第１及び第２の偏光ビームスプリッタ１１Ａ，１１Ｂと、第１及び第２の偏光ビームスプリッタ１１Ａ，１１Ｂの間に配置され、電圧の印加により内部を通過するレーザ光の偏光面を回転させる第１及び第２のポッケルスセル１２Ａ，１２Ｂと、第１及び第２のポッケルスセル１２Ａ，１２Ｂに対する印加電圧値及び印加タイミングを制御する制御部１３と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】
電気光学素子に印加する電圧を経時的に変化させ、レーザ光のパルス幅を伸長し、出力されるパルスレーザのピークエネルギーを低下させることができるパルスレーザ発振器を提供する。
【解決手段】
印加された電圧に応じて光を偏光する電気光学素子６と、前記電気光学素子６に電圧を印加するとともに電圧を制御する電圧制御装置７とを備えたパルスレーザ発振器であって、前記電圧制御装置７によって前記電気光学素子６に印加する電圧を経時的に変化させ、レーザ光のパルス幅を制御するものである。 （もっと読む）

【課題】設定が容易なレーザ発振器、レーザ発振器の出力制御方法、及びレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ１０において生成されるパルス状のレーザ光に、励起レーザ２１，３１において生成される励起レーザ光を結合させることによりレーザ１０において生成されるレーザ光を増幅するとともに、その増幅量が変更可能とされた増幅器４０を備えたレーザ発振器において、レーザ１０において生成されるレーザ光のパルスのデューティが変更可能とされており、設定されたデューティを基にレーザ１０へ供給する電流値を調節することにより、いずれのデューティに設定されてもレーザ１０において生成されるレーザ光の出力パワーが一定レベルとなるように補正する制御部３を備えたことを特徴とするレーザ発振器。 （もっと読む）

【課題】光増幅ファイバを用いた光増幅装置の出力光パルスごとのピーク値を検出するための技術を提供する。
【解決手段】波高値検出器１６は、光増幅ファイバから出力された出力光パルス群のパワーを検出する。受光素子１５は、複数のパルスを含む光パルス群を受光して、その光パルス群を電流信号に変換する。電流／電圧変換回路３１は、受光素子１５から出力される電流を電圧に変換する。積分回路３２は、電流／電圧変換回路３１の出力電圧を積分する。ＰＧＡ（Programmable Gain Amplifier）３３は、積分回路３２から出力された信号を増幅してＡＤ変換回路３４に与える。ＰＧＡ３３のゲインは信号処理回路４０からのゲイン設定信号によって設定される。信号処理回路４０は、パルス群の繰り返し周波数が高いほどゲインが高くなるようにＰＧＡ３３のゲインを調整する。 （もっと読む）

【課題】簡便にパルス光を整形することができるパルス整形装置、パルス整形方法、及びそれを用いた電子銃を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかるパルス整形装置は、パルス光の直交する偏光成分間に時間遅延を与える複屈折素子１２３と、複屈折素子１２３からのパルス光のパルス形状を調整する可変ミラー４０と、複屈折素子１２３から出射したパルス光の直交する偏光成分の一方を他方の偏光成分から取り出すＰＢＳ１２５と、可変ミラー４０によりパルス形状を調整するために、ＰＢＳ１２５によって取り出された一方の偏光成分に応じた測定を行うビームモニタ５５と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】レーザー装置およびレーザー装置の駆動方法を改善して、従来技術の欠点を回避し、レーザー装置の駆動状態についての情報を簡単に得られるようにする。
【解決手段】複数の個別の光ファイバ（２８ａ，２８ｂ）を有する光導体装置（２８’）を設け、レーザー装置（２６）により、ポンピング光（６０）を、光導体装置（２８’）の少なくとも１つの第１の光ファイバ（２８ａ）を介して受け取り、自然発光（６１）の少なくとも一部を光導体装置（２８’）の少なくとも１つの第２の光ファイバ（２８ｂ）を介して検出器へ伝送する。 （もっと読む）

【課題】高出力ビームが得られ、エネルギー効率に優れたレーザ装置およびこれを用いたレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置は、全反射ミラー１１，部分反射ミラー１２およびブリュースターウィンドウ１３を含むレーザ発振器と、レーザ発振器から出力されたレーザ光を時間的に分配するための音響光学素子２１と、ウィンドウ１４，ミラー１５，１６および偏光回転ミラー１７を含むレーザ増幅器などで構成される。レーザ光は、レーザ増幅器内に配置された放電励起ガス２を複数回通過する。 （もっと読む）

【課題】Ｑスイッチ式ファイバレーザから、パルスエネルギーが高く、かつパルス幅が１００ｎｓ〜５００ｎｓ程度と広い光パルスを得るために、共振器内を伝搬する光パルスの周回時間を長くした場合に生じる出力光パルスのうねりをなくし、うねりのない出力光パルスを生成するＱスイッチ式ファイバレーザを提供する。
【解決手段】Ｑスイッチ式ファイバレーザの共振器内に、分岐手段と伝搬距離延長手段とを有する部分的フィードバック光路を設け、前記分岐手段は、前記部分的フィードバック光路に入射した光パルスを一定の光パワー比で、部分的フィードバック光路から出射して、前記共振器内に戻る光パルスと前記伝搬距離延長手段に出射する光パルスとに分岐させるように構成され、また伝搬距離延長手段は、入射してきた光パルスを一定の光路長内で伝搬させることにより伝搬距離を延長して、再び前記分岐手段に入射させるように構成されていることとした。 （もっと読む）

【課題】１パルスあたりの出力エネルギーおよびパルス幅を変えることなく、連続的なパルス周波数の調整やパルス出力タイミングの制御を実現し、耐振動性や耐衝撃性などの信頼性に優れるとともに、励起源の寿命による出力劣化や温度変動などに対しても、自動的に周波数調整が可能な受動Ｑスイッチレーザ装置を得る。
【解決手段】励起源１０２および共振器を有し、励起源１０２により励起された発振光ＬＯを共振器から出力する受動Ｑスイッチレーザ１０１と、励起源１０２に一定のオフセット電流を供給する駆動電源１１２と、オフセット電流に電流パルスＩｐを付加するパルス発生電源１１１とを備える。電流パルスＩｐにより発振光ＬＯのパルス出力タイミングを制御する。 （もっと読む）

【課題】１００μ秒以上にレーザパルスの間隔を変化させても、その間隔に影響されることなく安定したレーザパルスを出力できるファイバレーザ光源を提供する。
【解決手段】レーザ活性物質を含むファイバとその両端にファイバグレーティングを設けたレーザ共振器と、前記共振器の一端に励起光を入射する励起用レーザ光源と、連続パルス光を出力する際に、前記励起用レーザ光源に前記レーザ共振器がパルス発光できる第１の電流を与えた後に、前記第１の電流より小さく前記レーザ共振器の閾値電流より大きい第２の電流を与え、前記第２の電流を停止した後に休止期間を設けて次のパルス発光を行うための電流を前記励起用レーザ光源に与える駆動電流供給手段と、から成るファイバレーザレーザ光源。 （もっと読む）

【課題】 発振スペクトル線幅の狭小化と、高速な波長掃引と、を達成し得る光源装置を提供する。
【解決手段】 光増幅媒体と光スイッチとを含んで構成された光共振器を備える光源装置で、光スイッチは、波長可変光源で構成された光照射源より、出射された光パルスの照射を受けて透過率または反射率が変化するもので、波長可変光源より出射される光パルスの中心波長に対応して、増幅された光を光共振器より出射するものであり、光共振器の長さＬと光パルスの繰り返し周波数ｆとの関係（Ｌ＜ｃ／（ｎｆ））と、光スイッチの変化した透過率または反射率が回復する回復時間τとＬとの関係（τ＞（ｎＬ）／ｃ）を規定。 （もっと読む）

【課題】 レーザビーム発振手段の繰り返し周波数及び１パルス当たりの出力の安定性を少なくとも検出可能なレーザ診断装置を提供することである。
【解決手段】 レーザビーム発振手段が発振するパルスレーザビームの繰り返し周波数及び１パルス当たりの出力の安定性を少なくとも検出するレーザ診断装置であって、レーザビーム発振手段が発振するパルスレーザビームを反射する反射板と、該反射板が反射したパルスレーザビームを拡散させる拡散板と、該拡散板を透過した光を受光して電気信号に変換するフォトディテクターと、該フォトディテクターを該拡散板に接近又は離反する方向に移動する移動手段とを有するレーザ診断ユニットと、該レーザ診断ユニットの該フォトディテクターから出力される電気信号を表示するオシロスコープと、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の光量を変化させても同じ光波形で出力することのできるレーザ駆動装置、光走査装置並びに画像形成装置を提供する。
【解決手段】レーザ光を出射する光源１と、光源１から出射するレーザ光の光量を一定として光源１のオンオフ駆動制御を行う光源駆動制御部５ａと、光源１から出射されたレーザ光の光路上に配置され、入射するレーザ光の透過率を電気的に変更可能な光量調整素子３と、光量調整素子３の透過率を制御して、光量調整素子３における透過により出射されるレーザ光のピーク光量を調整するピーク光量制御部５ｂと、を備える。 （もっと読む）

【課題】中心波長の制御に影響を与えることなくスペクトル純度幅（スペクトル指標値）の安定化制御を行えるようにして、見かけ上のスペクトル純度幅の制御を行うことで発生する上記諸問題点を解消する。
【解決手段】増幅用レーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル純度幅E95をスペクトル純度幅計測手段で計測し、計測されたスペクトル純度幅E95が、目標スペクトル純度幅E950の許容幅E950±ｄE95内に収まるように、発振用レーザ装置で放電を開始してから増幅用レーザ装置で放電を開始するまでの放電タイミングを制御することで、スペクトル純度幅E95を安定化制御する。 （もっと読む）

【課題】共振器の物理的な長さを大きくすることなく、Ｑスイッチレーザのパルス幅を延長することができ、装置の小型化が可能なＱスイッチレーザ発光装置を提供する。
【解決手段】全反射ミラー１３と出力ミラー１４との間に、これらのミラーの光軸上に、電気光学Ｑスイッチ素子１１、高屈折率材料部材１０、固体レーザ媒質１２が、全反射ミラー１３から出力ミラー１４に向けてこの順に配置されている。固体レーザ媒質１２は、光軸上の両端面１８ａ、１８ｂが、ブリュースター角度で前記光軸に対して傾斜しているため、この固体レーザ媒質１２から出射するレーザ光は、ランダム偏光ではなく、直線偏光となる。また、高屈折率材料部材１０が設けられているので、光学的光路長が短い。 （もっと読む）

フェムト秒パルス・レーザを構築して動作させる設計態様および技術が提供される。レーザ・エンジンの一例は、フェムト秒の種パルスから成る光線を生成して出力する発振器と、種パルスの存続時間を伸張する伸張器／圧縮器と、伸張済み種パルスを受信し、選択された伸張済み種パルスの振幅を増幅して、増幅済みの伸張済みパルスを生成し、且つ、増幅された伸張済みパルスから成るレーザ光線を、該パルスの存続時間を圧縮してフェムト秒パルスから成るレーザ光線を出力する上記伸張器／圧縮器へと出力する増幅器と、を含んでいる。増幅器は、増幅済みの伸張済みパルスの分散を補償する分散制御器を含むことにより、各処置の間において又は走査の速度に従い上記レーザの繰り返し率を調節可能にする。レーザ・エンジンは、500メートル未満の合計の光路によりコンパクトとされ得ると共に、たとえば50個未満などの少ない個数の光学素子を有し得る。 （もっと読む）

フェムト秒パルス・レーザを構築して動作させる設計態様および技術が提供される。レーザ・エンジンの一例は、フェムト秒の種パルスから成る光線を生成して出力する発振器と、種パルスの存続時間を伸張する伸張器／圧縮器と、伸張済み種パルスを受信し、選択された伸張済み種パルスの振幅を増幅して、増幅済みの伸張済みパルスを生成し、且つ、増幅された伸張済みパルスから成るレーザ光線を、該パルスの存続時間を圧縮してフェムト秒パルスから成るレーザ光線を出力する上記伸張器／圧縮器へと出力する増幅器と、を含んでいる。増幅器は、増幅済みの伸張済みパルスの分散を補償する分散制御器を含むことにより、各処置の間において又は走査の速度に従い上記レーザの繰り返し率を調節可能にする。レーザ・エンジンは、500メートル未満の合計の光路によりコンパクトとされ得ると共に、たとえば50個未満などの少ない個数の光学素子を有し得る。 （もっと読む）