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Fターム[5F172NP02]の内容

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【課題】 遠隔地において、レーザ装置の状態を示す情報を、予め設定されるイベント毎にデータ収集することにより、消耗部品の寿命の予測やレーザ装置のトラブルの事前予測を行うことのできるレーザ装置管理システムを提供すること。
【解決手段】 レーザ装置2を制御しているレーザ制御装置10は、例えば一定の放電パルス数発生など予め設定された特定のイベントが発生する毎に、当該レーザ装置2の状態を示す状態情報をレーザ装置2から取得して、監視端末20へ送信する。監視端末20は、受信した状態情報を通信回線50を介してサーバ装置30へ転送する。サーバ装置30では、転送された状態情報を基に、自己内のデータベースを変更すると共に出力情報を生成する。この出力情報は、通信回線50を介して表示端末40に入力され、ここで表示される。 (もっと読む)


【課題】レーザ光の安定性を向上する。
【解決手段】光学装置は、レーザ光のビーム伝播経路上に配置された光学モジュールと、前記ビーム伝播経路上に配置され、前記レーザ光のビーム伝播経路を調節するアクチュエータ部と、前記ビーム伝播経路上に配置され、前記ビーム伝播経路を検出する計測部と、 前記計測部によって検出された前記レーザ光のビーム伝播経路の検出結果に基づいて、前記アクチュエータ部を制御する制御部と、を備えてもよい。 (もっと読む)


【課題】レーザ光の低空間コヒーレンス化をはかり、スペックルノイズの発生によるレジストパターン形成への悪影響を低減化すること。
【解決手段】発振段レーザ(MO)10からのビームは、MOビームステアリングユニット30を介して増幅段レーザ(PO)20の共振器内に注入され増幅発振される。増幅段レーザ(PO)20からのビームは、POビームステアリングユニット40を介してOPS50に入射し、OPS50からの光はコヒーレンスモニタ60を介して出力される。レーザコヒーレンスコントローラ66は、コヒーレンスモニタ60の検出値に基づいて、増幅段レーザ(PO)20の共振器のミラー、MOビームステアリングユニット30のミラー、POビームステアリングユニット40のミラー等のアクチュエータに駆動信号を送り、これらのミラーの角度などを制御する。 (もっと読む)


【課題】レーザ光の低空間コヒーレンス化をはかり、スペックルノイズの発生によるレジストパターン形成への悪影響を低減化すること。
【解決手段】発振段レーザ(MO)10からのビームは、MOビームステアリングユニット30を介して増幅段レーザ(PO)20の共振器内に注入され増幅発振される。増幅段レーザ(PO)20からのビームは、POビームステアリングユニット40を介してOPS50に入射し、OPS50からの光はコヒーレンスモニタ60を介して出力される。レーザコヒーレンスコントローラ66は、コヒーレンスモニタ60の検出値に基づいて、MOビームステアリングユニット30のミラー、POビームステアリングユニット40のミラー等のアクチュエータに駆動信号を送り、これらのミラーの角度などを制御し、出力レーザ光のコヒーレンスが所望の値になるように制御する。 (もっと読む)


【課題】レーザ光の低空間コヒーレンス化をはかり、スペックルノイズの発生によるレジストパターン形成への悪影響を低減化すること。
【解決手段】発振段レーザ(MO)10からのビームは、MOビームステアリングユニット30を介して増幅段レーザ(PO)20の共振器内に注入され増幅発振される。増幅段レーザ(PO)20からのビームは、POビームステアリングユニット40を介してOPS50に入射し、OPS50からの光はコヒーレンスモニタ60を介して出力される。レーザコヒーレンスコントローラ66は、コヒーレンスモニタ60の検出値に基づいて、増幅段レーザ(PO)20の共振器のミラー、MOビームステアリングユニット30のミラー、POビームステアリングユニット40のミラー等のアクチュエータに駆動信号を送り、これらのミラーの角度などを制御する。 (もっと読む)


【課題】エネルギー変換効率を向上する。
【解決手段】レーザ装置は、一方の主面側に入射した第1レーザ光の一部を第1反射光として反射するとともに残りの一部を第1透過光として透過し、且つ、他方の主面に入射した第2レーザ光の一部を第2透過光として透過するとともに残りの一部を第2反射光として反射するミラーと、前記第1透過光と前記第2反射光との光軸、もしくは、前記第1反射光と前記第2透過光との光軸が略一致するように、前記ミラーへ前記第1および第2レーザ光を入射させる光学系と、前記第1透過光または前記第1反射光のビームパラメータを計測する第1計測部と、前記第2反射光または前記第2透過光のビームパラメータを計測する第2計測部と、前記第1計測部の計測結果に基づいて前記第1レーザ光を調整する第1調整部と、前記第2計測部の計測結果に基づいて前記第2レーザ光を調整する第2調整部と、を備えてもよい。 (もっと読む)


【課題】 レーザビーム発振手段の繰り返し周波数及び1パルス当たりの出力の安定性を少なくとも検出可能なレーザ診断装置を提供することである。
【解決手段】 レーザビーム発振手段が発振するパルスレーザビームの繰り返し周波数及び1パルス当たりの出力の安定性を少なくとも検出するレーザ診断装置であって、レーザビーム発振手段が発振するパルスレーザビームを反射する反射板と、該反射板が反射したパルスレーザビームを拡散させる拡散板と、該拡散板を透過した光を受光して電気信号に変換するフォトディテクターと、該フォトディテクターを該拡散板に接近又は離反する方向に移動する移動手段とを有するレーザ診断ユニットと、該レーザ診断ユニットの該フォトディテクターから出力される電気信号を表示するオシロスコープと、を具備したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】kHzオーダー以上の波面揺らぎに対しても補償可能な、安定で小型な高出力レーザ装置を得る。
【解決手段】光増幅後の各アレイ間の位相誤差を検出する第1の位相誤差検出手段(11)と、空間伝播後の波面検波を行うことで波面の角度に応じた位置情報を生成する波面センサ(12)と、位置情報に基づいて空間伝播後の位相誤差を検出する第2の位相誤差検出手段(13)と、それぞれの位相誤差を補償する第1および第2のフィードバック信号を算出し、いずれか一方を選択して出力する位相制御手段(14)と、選択後のフィードバック信号に応答し位相誤差の補償を行う光位相変調手段(4)とを有する。 (もっと読む)


【課題】各サブアレーでの位相差の補正と共に各サブアレーの指向角の補正さらに所望の位置への焦点調整を同一の装置により行うフェーズドアレーレーザ装置を提供する。
【解決手段】基準レーザ光源の出力光をサブアレーに分岐し、サブアレーごとに増幅後、コヒーレント加算を行うフェーズドアレーレーザ装置において、前記各サブアレー毎に、前記サブアレーの1つに基づき生成された参照光とサブアレー出力光の合波光を各象限ごとに電気信号にする4象限光検出器9と、サブアレー出力光をコリメートする光学系のための並進駆動機構11と、前記4象限光検出器からの信号に基づき、参照光とサブアレー出力光の光位相差を検出しサブアレーのための光位相変調器にフィードバック制御すると共に、サブアレー出力光の指向方向誤差を検出し前記並進駆動機構にフィードバック制御するフィードバック制御手段10と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】多数のモジュールから構成され、モジュール間の光路に光軸調整個所を有する、多段増幅式レーザーシステムなどのレーザーシステムの光軸調整作業を自動化する。
【解決手段】レーザーシステムにおいて、光軸調整個所51,52より後段のモジュールからの出力光の強度を検出し、強度の変化に応じて該光軸調整個所51,52を調整するフィードバックを設ける。さらにこれらのフィードバック制御をファジイ推論またはメタヒューリスティックなアルゴリズムを用いた制御で行う。レーザーシステムにおいて、複数の光軸調整個所51,52があって2つの光軸調整が独立に行えない場合は、フィードバックループの伝達関数が明確に求められないので、ファジイ推論等を用いた制御により、各光軸調整を独立に実施する。 (もっと読む)



【課題】 高品質の加工を行う。
【解決手段】 レーザパルスを出射するレーザ出射装置と、レーザ出射装置を出射したレーザパルスの時間波形に関するデータを取得する検出装置と、検出装置によって取得されたレーザパルスの時間波形に関するデータに基づいて、レーザ出射装置を出射するレーザパルスのパルス幅を制御する制御装置とを有するレーザ照射装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】簡明かつ低廉な構成で、和周波発生素子における光パルスの重なりを調整可能な光源装置を提供する。
【解決手段】光源装置1は、パルス光を発生するレーザ光発生部10と、発生されたパルス光を複数に並列分岐して各パルス光を各々増幅し出射する複数の光増幅器21〜23を備えた光増幅部20と、これらの光増幅器から出射されたパルス光を同軸に重ね合わせて波長変換光学素子に入射させ、和周波発生により高調波を発生させる波長変換部30とを備える。光増幅器22,23の出口部分には、波長変換部30に出射されるパルス光を平行光にコリメートする光学素子50と、波長変換部30に対する光学素子50の光軸方向の位置を調整設定可能な調整機構60とが設けられる。 (もっと読む)


【課題】送風手段より発生するオイルミストのガス経路内混入およびガス消費量の増加を防止し、安定なレーザ出力が可能なレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】送風手段10、11のギアー室の圧力を検出するギアー室圧力検出手段42と、ガス循環経路12のレーザガス2を排気する第1ガス排気通路31と、第1ガス排気通路31にガス排気量調整手段33を設け、ギアー室圧力検出手段42で検出した圧力が所定の圧力より上昇した時に第1ガス排気通路31からのレーザガス2の排気量を減少させるガス排気量調整手段33を設けた。 (もっと読む)


【課題】レーザパルスを出射するレーザ発振器の異常発生を精度良く検出する。
【解決手段】所定周波数で出射されるレーザパルスの光強度を、予め設定した複数の閾値強度と比較して、光強度が閾値強度を超えた回数を閾値強度毎に計数する。こうして各閾値強度について得られた出射パルス数と、本来計数されるべき基準パルス数とに基づいて、レーザパルスのピーク強度の最小値が存在する強度範囲(最小ピーク強度範囲)と、ピーク強度の最大値が存在する強度範囲(最大ピーク強度範囲)とを検出し、それらが所定の強度範囲内にあるか否かに基づいて、レーザ発振器の動作異常の有無を判定する。こうすれば、ピーク強度の最小値や最大値に関する情報だけでなく、ピーク強度のバラツキ幅に関する情報も反映させることができるので、レーザ発振器の動作異常の有無を精度良く判定することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】 大掛かりな設備を設けることなく、動的且つ正確に熱レンズ効果を補正することができる透過型光学素子、レーザー発振器、及びレーザー加工機を提供する。
【解決手段】 透過型光学素子は、正の熱ひずみ係数を有する物質からなりウェッジ面と平面とを有する第1光学部材と、負の熱ひずみ係数を有する物質からなりウェッジ面と平面とを有する第2光学部材とを備え、第1光学部材のウェッジ面と第2光学部材のウェッジ面とを向かい合わせに配置して、第1光学部材と第2光学部材とが相対的に平面に平行に移動し、レーザービームに生じる熱レンズ効果を補正する。 (もっと読む)


【課題】レーザ加工を行わない待機中はレーザ発振を止めておきながらパルス状のファイバレーザ光の立ち上がりでの異常な高ピークパルスの発生を効果的に防止する。
【解決手段】このファイバレーザ加工装置では、ファイバレーザ光FBの出力が、実質的に零またはその近辺の値からレーザ加工に実質的に影響しない程度の前置レベルまで立ち上がり、該前置レベルまでへの立ち上がりを開始した時(図3の時点t1)から第1の時間(前置パルス幅TB)を経過した後(図3の時点t2)に前置レベルPBからレーザ加工用の所望レベル(PA)まで立ち上がるように、パワーフィードバック制御方式でLD駆動電流ILDを制御し(図3の(e))、これによってファイバレーザ光FBの立ち上がりに際して高ピークパルスHPの発生を効果的に防止する(図3の(f))。 (もっと読む)


【課題】 加工開始直後のレーザ加工跡を良好にする。
【解決手段】 レーザ加工装置は、テーブル21を回転しながらレーザ光を加工対象物10の表面に照射することにより、テーブル21にセットされた加工対象物10の表面をレーザ加工開始位置からレーザ加工する。非加工用のレーザ光を加工用レーザ光源21から出射させているとき、オフセット信号発生回路62は、非加工用のレーザ光の入射時における対物レンズ35の焦点距離から加工用のレーザ光の入射時における対物レンズ35の焦点距離への変化分に対応したレベルのオフセット信号を発生して、レーザ光の焦点位置をオフセットしておく。非加工用のレーザ光の出射から加工用のレーザ光の出射の切換え時に、オフセット信号発生回路62からのオフセット信号の発生が停止され、レーザ光の焦点位置を加工対象物10の表面に一致させる。 (もっと読む)


【課題】 パルス往復回数およびパルス繰り返し周波数の変化に伴う増幅出力レーザパルスの分散の変化が生じた場合でも位相分散を補償し、最適なパルス幅を得ることが可能なレーザパルス圧縮装置を提供する。
【解決手段】 レーザパルス光を反射させる第1回折格子と、第1回析格子で反射した入射回析光を受光する第2回折格子と、第2回析格子で反射した回析光を反復反射させて第2回析格子に入射させるプリズムと、第2回析格子に入射した反復反射光を第1回析格子を介して反復レーザパルス光として外部に出力するレーザパルス圧縮装置において、第1回析格子で反射した入射回析光の光軸に対して平行移動可能なスライド機構部と、スライド機構部に第2回析格子を固定した可動台と、これらを収納する筐体と、筐体外部から第1回析格子と第2回析格子との距離を可変する調整手段とを備えるようにした。 (もっと読む)


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