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Fターム[5F172NP03]の内容

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Fターム[5F172NP03]に分類される特許

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【課題】少なくとも励起レーザ電流制御回路の遅延時間および時定数に起因する光パルスのオーバーシュートを抑えて、入力パルス波形に対応した光パルスを出力すること。
【解決手段】入力パルス波形に対応した励起レーザ電流SCを励起レーザ4に入力し、励起光をファイバレーザ共振器5に入力して光パルスSDを増幅出力するパルスファイバレーザにおいて、励起レーザ4に励起レーザ電流SCを供給するACC回路3と、光パルスSDの強度を検出する出力光検出器7と、入力パルス波形が入力されてから光パルスが出力開始されるまでの遅延時間(t1+t2)に対応した所定の期間R1内は、励起レーザ4に所定の励起レーザ電流を供給するフィードフォワード制御を行うとともに、前記所定の期間が経過した後は、光パルスSDの強度に基づいて励起レーザ電流SCを調整して光パルスの強度が目標値となるようにフィードバック制御を行う制御部2と、を備える。 (もっと読む)


【課題】レーザチャンバ内の全ガス交換の回数を抑制する。
【解決手段】このエキシマレーザ装置は、ハロゲンガスを含む第1レーザガスを収容した第1容器と、第1レーザガスよりもハロゲンガス濃度の低い第2レーザガスを収容した第2容器と、に接続され、第1レーザガス及び第2レーザガスのレーザチャンバの内部への供給を行うガス供給部を含んでもよい。そして、ガス供給部による第2レーザガスのレーザチャンバの内部への供給、及び、ガス排気部によるレーザチャンバの内部のガスの部分的な排気のいずれかを行うガス圧制御と、ガス供給部による第1レーザガス及び第2レーザガスのレーザチャンバの内部への供給、及び、ガス排気部によるレーザチャンバの内部のガスの部分的な排気の両者を行う部分ガス交換制御と、を選択的に行ってもよい。 (もっと読む)


【課題】フォトリソグラフィにおける集積回路製造のためのレーザ光源として線狭帯域化用途に使用されるDUVガス放電レーザシステムにおける帯域幅の能動制御の技術を提供する。
【解決手段】光源により生成されたレーザ出力光パルスビームパルスの帯域幅を測定して帯域幅測定値を供給する帯域幅測定モジュールと、帯域幅測定値及び帯域幅設定値を受信して帯域幅誤差信号を供給する帯域幅誤差信号発生器と、帯域幅誤差に応答して細かい帯域幅補正アクチュエータ信号及び粗い帯域幅補正アクチュエータ信号を供給する能動帯域幅コントローラとを含むことができる、線狭帯域化高平均パワー高パルス繰返し数レーザマイクロフォトリソグラフィ光源帯域幅制御方法及び装置を開示する。 (もっと読む)


【課題】産業アプリケーションに適する全ファイバ型チャープパルス増幅レーザシステムを構築する。
【解決手段】モジュール式超高速パルスレーザシステムは、モジュールとして構築され、個々に予備テストされた構成要素で組み立てられる。個々のモジュールは、発振器、前置増幅器とパワー増幅器ステージ、非線形増幅器、及び伸長器と圧縮器を含む。個々のモジュールは、一般的に単純なファイバスプライスによって接続される。 (もっと読む)


【課題】光強度を向上したレーザ装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】第1のレーザと、第2のレーザと、外部共振器と、制御部と、を備えたレーザ装置が提供される。前記第1のレーザは、第1のレーザ光を出射する。前記第2のレーザは、第2のレーザ光を出射する。前記外部共振器は、前記第1のレーザ光と前記第2のレーザ光とが入射される。前記制御部は、前記外部共振器の共振波長を制御して前記第1のレーザ光に共振させ、前記第2のレーザを制御して前記第2のレーザ光を前記外部共振器に共振させる。 (もっと読む)


【課題】大きなエネルギーを持ったパルスレーザを出力することなく温度チューニングを行う。
【解決手段】温度チューニング中は、まず、RF信号制御機構10が音響光学素子4に十分なパワーのRF信号を与えて共振器20のロスを十分に大きくし、固体レーザ媒質2を高ゲインの状態にする。次に、RF信号制御機構10がRF信号のパワーを急速に小さくして共振器20のロスを例えば半分にして共振器20でレーザ発振可能とし、パルスレーザを出力する。このパルスレーザの出力エネルギーを検出して温度チューニングする。
【効果】共振器20のロスを実働時のような最小値にしないため、パルスレーザの出力エネルギーは実働中に比べて小さくなる。従って、温度チューニング中に大きなエネルギーのレーザパルスがレーザ照射対象物などに不要に照射されてしまうことを回避できる。 (もっと読む)


【課題】大きなエネルギーを持ったレーザを出力することなく且つ高精度に温度チューニングを行う。
【解決手段】温度チューニング中は、まず、第二高調波発生素子(4)の温度を最適温度近傍から外した温度にした状態で第三高調波発生素子(5)の温度をスイープして第三高調波発生素子(5)の最適温度Ttpを求める。次に、第三高調波発生素子(5)の温度を最適温度近傍から外した温度にした状態で第二高調波発生素子(4)の温度をスイープして第二高調波発生素子(4)の最適温度Tspを求める。
【効果】温度チューニング中に大きなエネルギーのレーザがレーザ照射対象物などに不要に照射されてしまうことがなくなる。温度チューニング中の出力の変化範囲を大きくすることが出来るため、精度の高い温度チューニングを行うことが出来る。 (もっと読む)


【課題】マスタクロックジェネレータと、光発振器と、光増幅器と、前記光増幅器に光学的に接続された励起半導体レーザと、前記半導体レーザの駆動部とを備えた高パワーパルス光発生装置において、出力パルス光が被照射体で反射し、戻り光として高パワーパルス光発生装置に入射して励起半導体レーザに到達した際の励起半導体レーザの破損を防ぐ。
【解決手段】マスタクロックジェネレータからのマスタクロックと、光発振器からの発振パルス光および駆動部からのパルス状駆動電流との同期をとるとともに、駆動電流パルスの立ち上がりのタイミングを制御するための制御部を設け、戻り光が励起半導体レーザに到達した際に、前記励起半導体レーザがレーザ発振状態にならないように制御する構成とした。 (もっと読む)


【課題】メンテナンス性に優れ、耐久性及び信頼性の向上したレーザ加工装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のレーザ加工装置1は、所定波長の励起光を出力する複数の半導体レーザから射出される励起光を合波して増幅し、増幅されたレーザ光を出力する光学部2Aと、複数の半導体レーザの出力を制御する制御部2Bと、光学部2Aから発生する熱を冷却する冷却ファンを具備した冷却部2Cと、を収容した光学ユニット用筐体2と、光学部2Aに対して電源供給する光学部用電源5Aと、冷却部2Cの冷却ファンに対して電源供給する冷却部用電源5Cと、制御部2Bに対して電源供給する制御部用電源5Bと、を収容し、光学ユニット用筐体2に対して電気的に接続可能な電源ユニット用筐体5と、を有する。 (もっと読む)


【課題】出射するレーザ光の副波長帯成分を低減することができるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ加工装置10は、信号用レーザ光を出射する種光源21と信号用レーザ光を増幅する予備増幅部22とを備えた本体ユニット11と、本体ユニット11に接続され、予備増幅部22にて増幅された予備増幅光を伝送するファイバケーブル12(伝送用ファイバ37)と、ファイバケーブル12に接続され、該ファイバケーブル12にて伝送されたレーザ光Lを外部に出射するレーザ出射部13aを有するヘッドユニット13とを備える。そして、ヘッドユニット13には、レーザ光Lの光軸上のファイバケーブル12の出射側端部とレーザ出射部13aとの間にバンドパスフィルタ48が設けられる。 (もっと読む)


【課題】低コスト化及び小型化を図りながら、レーザ光の波長及び光強度を安定化できるレーザ光源装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源装置1は、電流が供給されることで励起光L1を出射する励起用光源10と、励起用光源10からの励起光L1を受けてレーザ光L2を生成する共振器20と、レーザ光源装置1から出射されるレーザ光の光強度を可変とする光学素子81を有する光強度変更装置80と、当該レーザ光源装置1から出射されるレーザ光の光強度を検出する光強度検出装置70と、励起用光源10及び光学素子81を制御する制御装置60とを備える。制御装置60は、光強度検出装置70の検出結果に基づいて、励起用光源10に供給する電流値を制御する光源制御手段と、光強度検出装置70の検出結果に基づいて、光学素子81を制御する素子制御手段とを備える。 (もっと読む)


【課題】設定が容易なレーザ発振器、レーザ発振器の出力制御方法、及びレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ10において生成されるパルス状のレーザ光に、励起レーザ21,31において生成される励起レーザ光を結合させることによりレーザ10において生成されるレーザ光を増幅するとともに、その増幅量が変更可能とされた増幅器40を備えたレーザ発振器において、レーザ10において生成されるレーザ光のパルスのデューティが変更可能とされており、設定されたデューティを基にレーザ10へ供給する電流値を調節することにより、いずれのデューティに設定されてもレーザ10において生成されるレーザ光の出力パワーが一定レベルとなるように補正する制御部3を備えたことを特徴とするレーザ発振器。 (もっと読む)


【課題】レーザー照射時のレーザー安定性とレーザー遮光時のフラッシュランプ消耗軽減を兼ね備えたレーザー装置およびその制御方法を提供する。
【解決手段】レーザーの照射手段と、フラッシュランプを含む励起手段と、レーザーの遮光手段と、遮光手段による遮光とその解除を制御するとともに、フラッシュランプの設定条件を制御する制御手段を有し、制御手段が、レーザーの照射を停止する際に遮光手段によりレーザーを遮光する工程に続いて、フラッシュランプの消耗を軽減するように設定条件を制御する工程を行い、照射を再開する際に、レーザーが安定して照射されるように設定条件を制御する工程に続いて、遮光を解除する工程を行うレーザー装置の制御方法を用いる。 (もっと読む)


【課題】メーカ側でのメンテナンス性をより向上させることができるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】種光源23、予備増幅器30及び主増幅器50のそれぞれの駆動状態のデータである光出力情報、電力情報及び温度情報を検出する各フォトダイオード25,39,58、各駆動回路22,34,52b,53b及び各サーミスタ36,54を備える。そして、駆動情報のデータと、その検出時における日時データとをCPU21aにて対応付けて記憶するメモリ21bと、メモリ21bに記憶される日時データ及び駆動状態のデータを出力可能なCPU21aとを備える。 (もっと読む)


【課題】メンテナンス性を向上させることが可能なレーザ出射装置を提供する。
【解決手段】信号用レーザ光源21を含む第1のユニットU1(信号用光源ユニット)と、レーザダイオード27及び希土類ドープ光ファイバF3をそれぞれ含む第2及び第3のユニットU2,U3(増幅ユニット)と、レーザダイオード37、希土類ドープ光ファイバF6及びレーザダイオード44をそれぞれ含む第5、第6及び第7のユニットU5〜U7(増幅ユニット)とを、ユニット毎で個別に交換可能に備える。そして、CPU17は、各ユニットU1〜U8の異常状態を検出し、検出されたユニットU1〜U8の異常検出情報(異常状態に関するデータ)を表示部16aに出力する。 (もっと読む)


【課題】光増幅ファイバを用いた光増幅装置の出力光パルスごとのピーク値を検出するための技術を提供する。
【解決手段】波高値検出器16は、光増幅ファイバから出力された出力光パルス群のパワーを検出する。受光素子15は、複数のパルスを含む光パルス群を受光して、その光パルス群を電流信号に変換する。電流/電圧変換回路31は、受光素子15から出力される電流を電圧に変換する。積分回路32は、電流/電圧変換回路31の出力電圧を積分する。PGA(Programmable Gain Amplifier)33は、積分回路32から出力された信号を増幅してAD変換回路34に与える。PGA33のゲインは信号処理回路40からのゲイン設定信号によって設定される。信号処理回路40は、パルス群の繰り返し周波数が高いほどゲインが高くなるようにPGA33のゲインを調整する。 (もっと読む)


【課題】周波数安定化レーザ・システムを提供する。
【解決手段】レーザー安定化システム100は、第1の端部及び第2の端部を備えたレーザー源104と、第1の端部及び第2の端部を備えた第1の導波管部であって、第1の導波管部の第1の端部がレーザー源104の第1の端部に結合される第1の導波管部と、第1の端部及び第2の端部を備えた第2の導波管部であって、第1の導波管部の第1の端部がレーザー源104の第2の端部に結合される第2の導波管部と、第1の導波管部の第2の端部と第2の導波管部の第2の端部との間に結合された共鳴振動数を備えたマイクロキャビティ102から成る。さらに、マイクロキャビティ102とレーザー源104との間に結合された電子ロッキングループ108が、レーザー源104をマイクロキャビティ102の共鳴振動数に電子的にロックする。 (もっと読む)


【課題】光ノイズが小さく安定したSHG光を出力し、且つ、消費電力が抑制された半導体レーザ励起固体レーザ装置及びレーザ光の出力方法を提供する。
【解決手段】設定温度において、モードホップを生じることなく一定の波長の単一縦モードの励起光を、設定出力値で出射する半導体レーザと、半導体レーザを駆動する駆動装置と、設定温度において出力効率が最大であり、光ノイズが一定値以下の、且つ励起光の出力値が設定出力値である場合に所定の出力値である出力光を、励起光から生成する固体レーザモジュールと、半導体レーザの温度と固体レーザモジュールの温度を調整する単一の温度調整装置と、出力光が所定の出力値であるように駆動装置を制御し、且つ、半導体レーザ及び固体レーザモジュールの温度が設定温度であるように温度調整装置を制御する制御装置とを備える。 (もっと読む)


【課題】 高出力レーザ光共振器において、発振開始直後からの適正なアライメント保持が可能な光共振器用自動アライメント装置を提供すること。
【解決手段】 光共振器1の共振器ミラー2,3からの出力ビーム6の一部を取り出すビームスプリッタ25と、前記ビームスプリッタ25で取り出したビーム26を、前記出力ビーム6を取り出した出力結合部におけるビーム像23として像転送するイメージリレー光学系30と、前記イメージリレー光学系30で像転送したビーム像23を入射させる受光部を有する4分割光検出器21と、前記4分割光検出器21に入射させたビーム像23に基づいて前記受光部の分割された領域におけるビーム強度信号が均一又は一定の比になるように、前記共振器ミラー2,3の角度を適正にアライメント補正する補正部28とを備えさせる。 (もっと読む)


【課題】安定したレーザ光を得る。
【解決手段】レーザシステムは、パルスレーザ光を出力するように構成されたシードレーザシステムと、前記パルスレーザ光のパルスエネルギーを変化させるように構成されたパルスエネルギー調整部と、前記パルスレーザ光を増幅するように構成された少なくとも1つの増幅器と、前記少なくとも1つの増幅器の励起強度を変化させるように構成された少なくとも1つの電源と、前記パルスレーザ光の1パルスごとに前記パルスエネルギー調整部を制御し、前記パルスレーザ光の複数パルスごとに前記少なくとも1つの電源を制御するように構成されたコントローラと、を備えてもよい。 (もっと読む)


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