Fターム[5H633JB00]の内容
往復動・振動型電動機 (8,843) | 他の要素、構成負荷との結合 (302)
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Fターム[5H633JB00]に分類される特許
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アクチュエータの位置検出装置
【課題】ケールと駆動部の距離を最小化して共振周波数を上げることにより、サーボ周波数帯域を上げ、外乱抑制性能を向上させることができるアクチュエータの位置検出装置を得る。
【解決手段】ピボットを挟んでアームとボイスコイルモータを備えたアクチュエータであって、前記ボイスコイルモータのコイルに、該コイルに近接したマグネットと対向するスケールを設け、前記スケールに対向するマグネット及び該マグネットが装着されたヨークに、このヨーク外方からスケールまで連通する光路穴を開け、前記ヨークの外方から前記光路穴を通して前記スケールに向けてセンサ光を照射し、スケールで反射またはスケールを透過したセンサ光を受光してスケールを読み取る光検出器を設けた。
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