【課題】不要な振動モードが生じることを抑制できるＭＥＭＳ振動子を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳ振動子１００は、基板１０と、基板１０の上方に配置された第１電極２０と、第１電極２０との間に空隙を有した状態で配置され、第１電極２０との間の静電力によって基板１０の厚み方向に振動可能となる梁部３２、および梁部３２を支持する支持部３４を有する第２電極と、を含み、第２電極３０は、梁部３２を複数有する。 （もっと読む）

【課題】 圧電アクチュエーターを用いた駆動装置の起動時において、起動時間のばらつきの少ない安定した起動を実現する。
【解決手段】 信号が印加されることによって振動する素子を有する振動部と、前記素子の振動により駆動される被駆動体と、前記素子を振動させる第１の信号、及び、前記第１の信号よりも高い周波数を有する第２の信号を生成する信号生成部と、を備える駆動装置であって、前記被駆動体と前記振動部とが接触した状態において、前記第１の信号を前記素子に印加することと、前記第２の信号を所定時間だけ前記素子に印加することと、によって、前記被駆動体の駆動を開始する。 （もっと読む）

【課題】振動子と接触子との間の摩耗の進行により振動型モータの駆動特性が変化しても振動型モータを安定的に駆動する。
【解決手段】駆動装置は、振動型モータ２０６の駆動速度を検出する速度検出手段２０８と、駆動速度が所定速度になるように周波電圧の周波数を制御する周波数制御手段２１０と、第１の時点において駆動速度を所定速度とする周波電圧の周波数である第１の周波数を記憶する記憶手段２１３と、第１の時点よりも後の第２の時点において駆動速度を所定速度とする周波電圧の周波数である第２の周波数を取得し、該第２の周波数と第１の周波数を用いて設定された参照周波数との差に応じて周波電圧の振幅を制御する振幅制御手段２１２とを有する。 （もっと読む）

【課題】小型軽量で温度上昇を抑えて安定駆動することができる圧電アクチュエーターを実現する。
【解決手段】圧電アクチュエーター１００は、圧電素子１１を含む長方形の振動体１と、圧電素子１１に駆動信号を供給する駆動回路２６と、駆動信号と振動体１の振動に基づいて検出される検出信号との位相差を検出する位相差検出回路２７と、駆動信号の周波数及び電力を制御する周波数制御器２０とを備え、周波数制御器２０は、周波数を変化させて、位相差が所定の範囲内となった場合に、周波数の値を第１の周波数記憶値として記憶し、電圧を上限電圧値に設定し、周波数を調整して位相差を所定の範囲内に保つ制御を行い、周波数が、第１の周波数記憶値から、振動体１の共振周波数の温度特性に基づいて予め定められた第１の値を超えて変化した場合に、周波数の値を第２の周波数記憶値として記憶し電圧を上限電圧値よりも小さい下限電圧値に設定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】安定した状態で確実に起動し安定駆動状態を維持することができる圧電アクチュエーターを実現する。
【解決手段】圧電アクチュエーター１００は、圧電素子１１を含む振動体１と、振動体１に設けられローター２に当接する摺動部１５と、圧電素子１１に駆動信号を供給する駆動回路２６と、駆動信号と振動体１の振動に基づいて検出される検出信号との位相差を検出する位相差検出回路２７と、駆動信号の周波数及び電力を制御する周波数制御器２０とを備え、周波数制御器２０は、周波数を変化させて、位相差が所定の範囲内となった場合に電圧を上限電圧値に設定し、位相差が所定の範囲外にある場合には電圧を上限電圧値よりも小さい下限電圧値に設定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ローターの回転速度の変動を抑えて安定した回転を得ることができる圧電アクチュエーターを実現する。
【解決手段】圧電アクチュエーター１００は、圧電素子１１を含む振動体１と、円盤形状を有するローター２と、振動体１の一端から突出しローター２に当接する摺動部１５と、圧電素子１１に駆動信号を供給する駆動制御部５とを備え、駆動制御部５は、予め取得した駆動開始からの時間経過に伴うローター２の回転速度の目標値に対する差異の変化に基づいて、駆動信号の周波数を変化させて回転速度を制御する。 （もっと読む）

【課題】挙動が不安定な低速駆動領域での不要な振動の発生を抑制して駆動を安定化させ、消費電力の抑制を図ることが可能となる振動型アクチュエータの駆動制御装置を提供する。
【解決手段】電気−機械エネルギ変換素子が設けられた弾性体を有する振動体と、前記振動体に直接的または間接的に接触する移動体と、を備え、
前記電気−機械エネルギ変換素子への印加電圧により、前記振動体に励起される振動波によって発生する摩擦力で前記移動体を振動体に対して相対移動させる振動型アクチュエータの駆動制御装置であって、
前記印加電圧の少なくとも周波数及び振幅を、指令手段からの速度指令に基づいて可変制御する制御手段を備え、
前記制御手段によって、予め定めた駆動領域で前記印加電圧の振幅を増加させる。 （もっと読む）

【課題】複数の振動波モータによる駆動力を合成して駆動するに当たり、複数の振動波モータの中で最も高い共振周波数点を有する振動波モータの共振周波数点を超えないように制限することができ、安定した駆動が可能な振動波モータの駆動制御装置を提供する。
【解決手段】複数の振動波モータによる駆動力を合成して被駆動部材を駆動する振動波モータの駆動制御装置であって、
前記振動波モータの駆動周波数を制限する駆動周波数制限手段を備え、
前記駆動周波数制限手段によって、前記複数の振動波モータの中でモータの回転速度を決める駆動周波数が最も高い共振周波数点を持つ振動波モータの共振周波数点を超えないように前記駆動周波数を制限する構成を有している。 （もっと読む）

【課題】複数の振動波モータからの駆動力を合成して駆動するに当たり、構造の複雑化、外形寸法及び装置重量の増大やコストの上昇を招かずに、各モータの能力を発揮することができ、騒音の発生を抑制することが可能となる振動波モータの駆動装置を提供する。
【解決手段】複数の振動波モータからの駆動力を合成して被駆動部材に伝達する動力伝達機構と、を有する振動波モータの駆動装置であって、
振動波モータの駆動を制御する駆動制御手段と、
振動波モータの振動状態を検出する振動状態検出手段と、を有し、
駆動制御手段は、振動状態検出手段により前記振動体と前記接触体とが相対移動を行なわない状態で検出された振動波モータの振動状態に基づいて、複数のモータの個体差による回転速度差が小さくなるように駆動周波数を補正する。 （もっと読む）

【課題】電気−機械エネルギー変換素子に印加する交番電圧の高調波成分を低減し、振動体の共振周波数のばらつきや駆動中の変化に対し、該変換素子に印加する交番電圧の変動が小さく、安定した電圧振幅を出力することが可能な振動装置の駆動回路を提供する。
【解決手段】電気−機械エネルギー変換素子により発生させた振動波により対象物を駆動する振動装置の駆動回路であって、該変換素子の固有静電容量と、該変換素子に直列に接続された複数のインダクタと、複数のインダクタの間に一端が接続され、且つ、該変換素子に並列に接続されたキャパシタと、によって構成された電気的な共振回路を備え、電気的な共振回路は、少なくとも第１の周波数と第２の周波数とによる２つの共振周波数を有し、第１の周波数をｆ１とし、第２の周波数をｆ２とし、交番電圧の周波数をｆｄとするとき、次式の関係を満たすことを特徴とする。ｆ１＜ｆｄ＜ｆ２ （もっと読む）

【課題】複雑な可動フレーム構造を必要とせず簡便に作製でき、耐久性に優れたミラー駆動装置及びミラー駆動方法を提供する。
【解決手段】ミラー部12の両側に一対のアクチュエータ部30が連結され、さらにその外側の両側に一対のアクチュエータ部20が連結される。外側アクチュエータ部20の一端は固定部22として支持部材に固定され、他端は内側アクチュエータ部30に連結される。各アクチュエータ部20,30は、圧電体の変形によって屈曲変位を行うものであり、それぞれ対応する駆動電圧供給部28,38から駆動電圧が印加される。一方の駆動電圧供給部（例えば28）から、対応するアクチュエータ部（例えば20）に対して共振を励起する周波数の駆動電圧が供給され、これと同時に他方の駆動電圧供給部（例えば38）から、他のアクチュエータ部（例えば30）に非共振でミラー部12を傾ける駆動電圧を供給する。 （もっと読む）

【課題】 部品点数を増やすことなく作動不良率の低減を可能にした振動波モータを提供すること。
【解決手段】 弾性体上に電気−機械エネルギー変換素子を配置し、該素子に第一、及び第二の電極を設けていて、該第一及び第二の電極にお互いに位相の異なる周波電圧を印加して進行性振動波を発生させ、該振動波により、該弾性体と該弾性体に加圧接触した部材とを相対運動させ、さらに第三の電極を介して振動状態を検出する手段を有し、該素子は複数のアース電極を設けていて、該複数のアース電極は該弾性体との導電手段を有し、該素子はＦＰＣを介して電力を供給され、該第一、第二及び第三の電極は該ＦＰＣと電気的に接続されている振動波駆動装置において、該第三の電極を中心として該第一の電極が一方に、該第二の電極がもう一方に配設され、該第一の電極と該第三の電極間、及び該第二の電極と該第三の電極間において該アース電極と該ＦＰＣが電気的に接続されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】多自由度の駆動が可能な超音波モータに利用される圧電素子であって、振動状態を検出可能で且つ簡易な構成の圧電素子及び該圧電素子を具備する超音波モータを提供すること。
【解決手段】所定の駆動信号を印加されることで励起される複数の振動モードによって被駆動体を駆動する超音波振動子に用いられる圧電素子10を次のように構成する。すなわち、前記複数の振動モードにおける振動のうち、前記被駆動体を複数軸方向に駆動する際の推進方向の振動成分を検出する振動検出電極を構成する内部電極3d-1,3d-2,4d-1,4d-2,3d-1’,3d-2’,4d-1’,4d-2’を含む振動検出電極層3,4を具備し、振動検出電極層3,4は、同一周波数で互いに直交する方向の屈曲振動モードにおける腹部近傍に設けられている。 （もっと読む）

【課題】振動体の振幅を検出せず、急激な負荷変動に対しても印加電圧の周波数が振動体の共振周波数を超えない制御で、安定した駆動が可能な振動型アクチュエータの制御装置を提供する。
【解決手段】振動体に励起される振動波で移動体を相対移動させる振動型アクチュエータの制御装置であって、振動体に印加する交流電圧の周波数を指令する指令手段と、指令手段の指令に基づき、振動体に印加する交流電圧を生成する交流電圧生成手段５と、交流電圧における周波数、振幅、位相のうちの一つ以上のパラメータに、所定の変動を与える変動付与手段と、変動付与手段が出力する変動を入力とし、振動体の振動に応じて変化する物理量を出力とする、一つ以上の所定周波数での周波数応答特性を求める周波数応答特性計測手段１２と、を備え、共振周波数推定手段１３から出力された共振周波数の推定値に応じて、交流電圧生成手段５が出力する交流電圧の周波数範囲を決定する。 （もっと読む）

【課題】摩擦力の変化、環境変動、個体差による周波数応答特性の変化に追随して、印加電圧の周波数を高精度に制御することができる振動型アクチュエータの制御装置を提供する。
【解決手段】振動型アクチュエータの制御装置は、振動体に加振力を印加するための交流電圧における周波数、振幅、位相のうちの少なくとも一つのパラメータを設定可能な交流電圧生成手段８と、振動体の振動に起因するいくつかの物理量を計測する計測手段９と、交流電圧における少なくとも一つのパラメータに、所定の変動を与える変動付与手段と、変動に応じた第１の信号と、計測された物理量に応じた第２の信号と、の間における少なくとも一つの所定周波数による周波数応答特性を求める周波数応答特性計測手段１０と、周波数応答特性に応じて交流電圧の周波数を制御する周波数制御手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】振動子の製作工程や形状により生じた出力特性のバラツキを、振動子が振動型駆動装置として取り付けられた状態で検出することが可能となる振動型駆動装置の制御装置を提供する。
【解決手段】制御手段による制御のもとで、
複数の振動子のうちの出力特性を検出する検出対象の振動子に対し、被駆動体との接触面と垂直な方向に駆動部を変位させる第１の振動モードの振動と、被駆動体との接触面と平行な方向に駆動部を変位させる第２の振動モードの振動と、を励起させることにより駆動部に楕円運動を生じさせる交流電圧を駆動信号生成手段により印加する一方、
検出対象の振動子以外の振動子には、第１の振動モードの振動を励起する交流電圧のみを駆動信号生成手段により印加し、出力特性検出手段によって、検出対象の振動子の出力特性を検出する。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータを効率良く駆動することができる圧電アクチュエータ駆動回路を提供する。
【解決手段】本発明は、分極部(4a,4b)に駆動電圧が印加される圧電アクチュエータ(2)を駆動する圧電アクチュエータ駆動回路(3)であって、電圧源(14)と、分極部と電圧源との間に接続されたハイ側スイッチング素子(16)と、分極部とアース電位との間に接続されたロー側スイッチング素子(18)と、ハイ側スイッチング素子のみを導通状態とする電圧印加期間、ハイ側スイッチング素子及びロー側スイッチング素子を何れも非導通状態とするフロート期間、及びロー側スイッチング素子のみを導通状態とする接地期間を周期的に切り換えることにより、電圧パルスを分極部に印加し、圧電アクチュエータを駆動するスイッチング素子制御回路(12)と、を有することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、その組立性を改善し、低コスト化を図ることができる圧電アクチュエータおよびこれを用いた撮像装置を提供する。
【解決手段】本発明の圧電アクチュエータＤ１は、所定の立体形状の圧電部材１と、圧電部材１を４個の領域ＡＡ〜ＡＤに分け、各領域ＡＡ〜ＡＤのそれぞれに各電圧を印加する４組で一対の電極２Ａ１；２Ａ２、２Ｂ１；２Ｂ２、２Ｃ１；２Ｃ２、２Ｄ１；２Ｄ２とを備え、４個の領域ＡＡ〜ＡＤにおける所定の境界部を駆動力の出力領域ＯＤｘ、ＯＤｙとするものである。 （もっと読む）

【課題】従来のものに比べ、より一層の駆動効率の向上を図ることが可能となる振動発生装置を提供する。
【解決手段】圧電材料で形成された圧電体を電極で挟持して構成された圧電素子と、
前記圧電素子が接合された振動体と、
前記圧電素子に交番電圧を印加する電源と、
を備え、前記電源による前記圧電素子への交番電圧の印加によって、前記振動体に振動を発生させる振動発生装置であって、
前記圧電素子は、交番電圧印加に伴なって共振周波数が高周波側に変化する圧電体によって構成され、
前記電源の印加による交番電圧の周波数を制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記圧電素子へ印加された交番電圧の周波数を制御することにより、前記圧電素子が有する共振周波数の変化範囲を包含する周波数範囲において、該圧電素子の共振周波数を低周波数側から高周波数側に逐次変化させる。 （もっと読む）

【課題】振動を抑制することで安定した動作を確保できるアクチュエータ装置を得る。
【解決手段】ベース板１０と、加圧板１５と、平板状の圧電素子２０Ａ，２０Ｂと、該圧電素子２０Ａ，２０Ｂの間に挿入された補強板２５と、圧電素子２０Ａ，２０Ｂの一端部の表面に貼着された摩擦板３０Ａ，３０Ｂと、圧電素子２０Ｂの他端部裏面側に取り付けた重り４０と、ベース板１０と加圧板１５との間に介在されたスペーサ３６と、を備えたアクチュエータ装置。ベース板１０及び／又は加圧板１５には振動抑制部材が設けられている。例えば、機械的な内部損失の大きな樹脂シートやゴムシートが貼着されている。あるいは、ベース板１０及び／又は加圧板１５の振動を減衰させる突起が形成されている。 （もっと読む）