【課題】ロボットアームに装着されたワーク把持装置に備えられた把持部を、ロボットやワーク把持装置に把持部を移動させるための駆動装置を設けることなく、ワークの種類の変更に応じて、移動させて位置決めすることにより、ワーク把持装置における把持部の位置を自動的に変更する。
【解決手段】把持部位置決め装置５００は、ベースユニット５１０を有しており、ベースユニット５１０には、移動が許容された状態と規制された状態とに切り替えられ得る把持機構を備えたワーク把持装置を位置決めするワーク把持装置位置決め部５２０と、把持機構と係合可能な係合凹部５３１を備えワーク把持装置１における移動が許容された状態にある把持機構と係合した係合凹部５３１を３次元移動させることにより把持機構をワークの種類に応じて当該ワークの被把持部に対応した位置に移動させて位置決めする把持部位置決め機構５３０と、が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ロボットアームに装着されたワーク把持装置に備えられた把持部を、ロボットやワーク把持装置に把持部を移動させるための駆動装置を設けることなく、ワークの種類の変更に応じて、作業者が移動させて位置決めして、ワーク把持装置における把持部の位置を容易かつ確実に変更する。
【解決手段】ワーク把持装置１における把持機構１１をワークの種類に応じて移動させて位置決めするための把持部位置決め治具４００は、ワーク把持装置１における移動が許容された状態と規制された状態とに切り替えられ得る把持機構１１と係合可能な係合凹部４２０が、ワークの種類に応じて把持機構１１により把持される当該ワークの被把持部に対応した位置に設けられた治具プレート４０１と、ワーク把持装置１に対して治具プレート４０１を位置決めするための治具本体位置決め部４０２と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】小型でありながら、大きな対象物を把持可能なロボットを提供する。
【解決手段】ロボットの第１アームの先端には第１の動作を行う第１動作部を取り付けておき、第２アームの先端には第２の動作を行う第２動作部を取り付けておく。そして、第１アームの側面または第１動作部の側面の少なくとも一方と、第２アームの側面または第２動作部の側面の少なくとも一方とには、対象物を挟持するための挟持部を設けておき、大きな対象物については、第１アームの側の挟持部と第２アームの側の挟持部とで挟持することによって把持する。こうすれば、大きな対象物を把持するためのアームを備える必要がないので、ロボットを小型化することができる。 （もっと読む）

【課題】製造コストの削減および軽量化を図るとともに複数枚の基板を同時に搬送することができること。
【解決手段】基板搬送用ハンドは、第１の載置部と、第２の載置部とを備える。第１の載置部は、所定の高さの載置面にて基板を支える複数の支持部を含み、第２の載置部は、第１の載置部の載置面の高さよりも上方の載置面にて基板を支える複数の支持部を含み、該支持部のうち１または複数は退避可能である。第１の載置部に基板を載置し、さらに、第２の載置部に別の基板を載置するよう基板搬送用ハンドを構成する。 （もっと読む）

【課題】磨耗量低減、汚染防止、アライメント精度向上、又は飛び出し防止の機能を備えた基板保持部材、基板搬送アーム及び基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板搬送装置の基板搬送アームに取り付けられ、基板の周縁を載置して該基板を保持する基板保持部材であって、基板の裏面に当接して該基板を保持する裏面保持部と、基板の端面に当接する端面当接部と、前記裏面保持部及び前記端面当接部が取り付けられ、一体的に前記基板搬送アームに取り付け可能な基板保持部材本体部とを有し、前記端面当接部は、載置する基板の半径方向に変形可能に、前記基板保持部材本体部に取り付けられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】物品を適切に保持できる物品保持装置を提供する。
【解決手段】物品保持装置１は、ロボットアーム５の先端部に取り付けるベース体11と、このベース体11に対して昇降する昇降体12とを備える。物品保持装置１は、物品Ｗの上面を吸着保持する吸着保持体21と、昇降体12と吸着保持体21とを連結する可撓性連結体22とを備える。物品保持装置１は、吸着保持体21が上面を吸着保持した物品Ｗを両側方から挟持してセンタリングする対をなす挟持体51を備える。可撓性連結体22は、金属製のワイヤである。 （もっと読む）

【課題】真空において熱をともなう処理を行う基板処理装置において、基板を高速で搬送しても基板の位置精度を高くすることができること。
【解決手段】熱をともなう真空処理が行われる真空処理ユニットに対して基板の搬入および搬出を行う基板搬送装置は、基板を位置決めする位置決めピンを有し、基板を位置決めした状態で保持するピックと、ピックにより真空処理ユニットに対して基板を搬入および搬出するようにピックを駆動させる駆動部と、ピックによる基板の搬送動作を制御する搬送制御部とを有し、搬送制御部は、基板を真空処理ユニットに搬入する際の、常温における基板の基準位置情報を予め把握しておき、実処理において、基板を真空処理ユニットに搬入する際に、その基板の基準位置からの位置ずれを算出し、位置ずれを補正して基板を真空処理ユニットに搬入するように駆動部を制御する。 （もっと読む）

【課題】簡単な装置構成で、可撓性の長尺線状物を収容時の湾曲した状態から元の直線状態に容易にのばすことができ、作業効率を向上させることのできる把持爪、ハンド、ハンド対および把持装置を提供する。
【解決手段】本発明の把持装置は、非直線状態の長尺線状物を把持可能なハンド対と、前記ハンド対を相対的に移動させるハンド移動部と、を備え、前記ハンド対として、前記長尺線状物を第一把持力で把持する第一部位と、前記長尺線状物を前記第一把持力よりも相対的に小さい第二把持力で把持する第二部位と、を有し、非直線状態の長尺線状物を把持する一対の把持爪を備えるハンド対を具備する。 （もっと読む）

【課題】ワークの把持を迅速に行うことを可能にしたグリッパを提供する。
【解決手段】一端に受圧面１１ａを有する固定部材１１と、受圧面１１ａに密着して取り付けられ、内部に粒体１２ｂを充填させた可撓性かつ気密性の中空バッグ１２ａを有する把持部１２と、把持部１２内の圧力を所定負圧に減圧し、かつ大気圧に戻すことができる減圧装置９と、把持部１２と減圧装置９を、固定部材１１の内部を経由して接続するチューブ１３とを有し、把持部１２は、把持部１２と固定部材１１との間に位置し、粒体１２ｂがチューブ１３に入り込むことを防ぐためのフィルタ１５を有し、フィルタ１５は、減圧装置９による把持部１２内の減圧時又は加圧時において空気を透過可能であって、かつ、把持部１２内部に突き出している形状であり、形状の空気透過部分の面積は、チューブ１３の断面積よりも大きい面積を有している。 （もっと読む）