【課題】リミットスイッチの位置決めを電動アクチュエータの伸縮方向の調整だけで簡単にできるようにする。
【解決手段】電動モータで回転するねじ軸に螺合されたナット部材と、ナット部材に接続された移動体に設けられた突起によって動作するリミットスイッチを備えた電動リニアアクチュエータにおいて、前記リミットスイッチ２４をマイクロスイッチ１７と、スイッチレバー１８とで構成し、前記スイッチレバーと前記マイクロスイッチのプランジャー２２および突起との接触部位における前記スイッチレバーの水平断面形状を曲線にするとともに前記スイッチレバーを前記マイクロスイッチと分離して設けたものである。この構成により、リミットスイッチの位置調整を伸縮方向のみで行うことができ、設置スペースの縮小、位置修正による配線替えも不要になる。 （もっと読む）

【課題】制御ハードウェアーへの性能要求を低減できると共に応答性の改善も図れるロボット制御システム、ロボットシステム等の提供。
【解決手段】ロボット制御システムは、ロボット１００のフィードバック制御の目標値を出力する目標値出力部６０と、力覚センサー１０からのセンサー情報に基づいて力制御を行い、目標値の補正値を出力する力制御部２０と、補正値により補正された目標値に基づいて、ロボットのフィードバック制御を行うロボット制御部８０を含む。力制御部２０は、ロボットの姿勢に応じて変化する制御パラメーターを事前計算する事前計算部２２と、センサー情報と制御パラメーターとに基づき補正値を求める演算処理を実行する実行部２６を含む。 （もっと読む）

【課題】駆動プーリとテンションプーリとに掛け渡されたワイヤに生じる弛みを除去することができるワイヤ駆動装置を提供することにある。
【解決手段】可動体２３を有するテンションユニット２１と、可動体に揺動可能に枢支され中途部にテンションプーリが回転可能に設けられた揺動レバー３１と、可動体に移動可能に設けられ先端部が揺動レバーの上端部に連結されたテンションロッド３７と、テンションロッドの後端部に設けられた圧縮ばね４１を圧縮させてテンションロッドに加わる圧縮ばねの復元力を設定するナット４２と、テンションロッドに圧縮ばねの復元力を作用させたときにその力を揺動レバーに伝達するばね第１、第２の加圧体４６，４９と、圧縮ばねの復元力が付与されて張設されたワイヤに弛みが生じて揺動レバーがワイヤの弛みに応じて揺動したときに、可動体をワイヤの走行方向に沿って位置決め調整して揺動レバーをワイヤの弛みが除去される方向に揺動させるボルト２７を具備する。 （もっと読む）

【課題】可搬重量が大きく搬送距離が長い搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１０は、第１関節２４を回転軸として第１アーム１２が回転するように第１アーム１２が第１関節２４に連結され、第２関節２６を回転軸として第１アーム１２の回転速度の２倍の逆回転速度で第２アーム１４が回転するように、第２アーム１４が第２関節２６に連結されている。連結部材３０によって第３アーム１６が第２アーム１４に対して固定される。第１関節２４を回転軸として第１アーム１２が回転するとき、連結部材３０が移動する方向Ｌに沿って第１ステージ１８が移動するように、第１ステージ１８が連結部材３０に連結されている。さらに、第１関節２４を回転軸として第１アーム１２が回転するとき、方向Ｌに沿って第２ステージ２０が移動するように、第３関節４０に第２ステージ２０が連結されている。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハを対向するチャンバ間でスムーズに移動することのできる搬送ロボットを提供する。
【解決手段】ウエハ搬送ロボット１００は、２本のリンク１２、１３で構成されているアーム１０を備える。アーム１０の先端にはウエハホルダ６が備えられている。アーム１０の基部に相当する駆動リンク１３は筐体２に回転可能に連結されている。アーム１０は、駆動リンク１３の回転に伴うアーム先端の運動が直線又は曲線の軌道に制限される構造を有しているとともに、その軌道は、始点Ｗｓと終点Ｗｅが駆動リンク１３の回転中心から等距離の位置にあり、始点におけるアーム先端の向きと終点におけるアーム先端の向きが、始点と終点の間の中点と前記回転中心を通る直線に対して鏡像の関係を満たしている。 （もっと読む）

【課題】 構造が非常にシンプルなピックアンドプレース装置等を提供する。
【解決手段】 ピックアンドプレース装置Ａは、タイミングプーリ３０をＸ方向に移動さ
せる移動機構１と、タイミングプーリ３０に連結され且つアーム５２をＺ方向に移動可能
な直進アームモジュール機構２とを備えている。移動機構１は、独立して駆動可能なステッピングモータ１０ａ、１０ｂと、タイミングベルト２３ａ、２３ｂが走行可能なように同モータ１０ａ、１０ｂに連結されたベルト・プーリ２０ａ，２０ｂと、タイミングベルト２３ａ、２３ｂとの間に配置され且つ各ベルトが交差するように掛け回されたタイミングプーリ３０と、タイミングプーリ３０を軸支するとともに直線上に移動自在に案内する軸ガイド部４０とを有している。 （もっと読む）

【課題】 駆動源を可動部に搭載することなく複数方向への移動に対して正確で且つ迅速な制御を行い得る小型のワイヤ駆動式ロボットの提供。
【解決手段】 ＸθＺ駆動方式のワイヤ駆動式ロボットにおいて、ロボットアームを旋回させるθ回転手段を備える昇降ベースと、昇降ベースの昇降軌道をＺ軸方向に規制する昇降ガイドと、昇降ガイドを支持する走行ベースと、走行ベースの走行軌道をＺ軸と直角なＸ軸方向に規制する走行ガイドと、走行ガイドを支持するベースフレームと、昇降ベースにＺ軸方向への駆動力を与えるワイヤ駆動方式のＺ軸駆動手段と、走行ベースにＸ軸方向への駆動力を与えるワイヤ駆動方式のＸ軸駆動手段と、
からなり、Ｚ軸駆動手段及びＸ軸駆動手段の昇降駆動源及び走行駆動源をベースフレームに備えることを特徴とするワイヤ駆動式ロボット。 （もっと読む）

【課題】動作時にアームが通過するための広い空間を必要とすることがなく、かつアームを高速で移動させることが可能なロボットを提供する。
【解決手段】ロボット１０は、基端側に固定されたベース部１１と、ベース部１１に設けられた駆動部１２と、ベース部１１に連結され、駆動部１２からの動力により軸線方向（Ｚ方向）に沿って伸縮自在な伸縮アーム２０とを備えている。伸縮アーム２０の先端には、軸線方向（Ｚ方向）に平行なエンドエフェクタ取付面１３を有するスライダ１４が設けられている。伸縮アーム２０は、互いに連動して軸線方向（Ｚ方向）に沿って進退するとともに軸線方向に垂直な方向（Ｘ方向）に互いに積層された複数の移動体４０、６０、８０からなっている。スライダ１４は、移動体８０に対して、軸線方向（Ｚ方向）に沿って相対移動する。 （もっと読む）

【課題】高精度を実現するトグル式位置合わせプラットフォームを提供する。
【解決手段】本プラットフォームは、基部２００と、基部上に配置されているスクリュー２１２と、基部上に位置されている回転部品２１０と、基部上に位置されているリンク２２０，２２２と、基部上に配置されている直線性制限ユニット２３０，２３４と、基部上に位置されている作業プラットフォームとを含み、作業プラットフォームはリンクの第二端部に連結されている。回転部品はスクリューを回転させる。リンクの第一端部はスクリューに連結されており、スクリューの回転に伴い、リンクの第一端部はスクリューの方向に沿って往復運動する。直線性制限ユニットは、リンクの第二端部が直線性制限ユニットの直線方向に沿って往復運動するように制限する。位置合わせ精密度を向上させるために、プラットフォームはシングルトグル式、ダブルトグル式、または多リンク接続である。 （もっと読む）

【課題】組立設備に組み込んで設置する際に、その省スペース化が図れるピックアンドプレース装置を提供する。
【解決手段】ハンド部２４のプレース作動を許容して該ハンド部を支持する支持体２６と、該支持体を昇降移動自在に支持して該ハンド部に上下方向のピック作動を伝達するピック作動伝達機構２８と、該支持体に支持されたハンド部のピック作動を許容して該ハンド部にプレース作動を伝達するプレース作動伝達機構３０とを備え、該ピック作動伝達機構に上下動を入力するピック作動駆動源３２と該プレース作動伝達機構にプレース作動を入力するプレース作動駆動源３４とが、該ハンド部のピック作動ストロークの下端位置よりも下方に設置される。 （もっと読む）