【課題】基体からの剥離のおそれがほとんどない、高い精度の凹凸パターンを有するインプリント用モールド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】平坦化剤の塗布により基体主表面の凸凹４を埋めた上で、最表面には所望の凹凸パターン６’が形成されている平坦化剤層６を有することを特徴とするインプリント用モールド。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリント用テンプレートの欠陥部を荷電ビームにより修正する欠陥修正方法であって、荷電ビームによる電荷の滞留を低減し、電荷滞留による修正箇所の位置ずれがなく所望の欠陥修正をすることが可能な欠陥修正方法を提供する。
【解決手段】テンプレートの欠陥部を含む一主面上に導電性高分子を塗布して導電膜を形成する工程と、前記導電膜を形成したテンプレートを走査型電子顕微鏡を有する装置内に設置し、欠陥検査装置の検査データをもとにして前記欠陥部を検出し、欠陥部の修正すべき領域を決定する工程と、修正すべき領域に荷電ビームを照射し、修正すべき領域の導電膜部分を除去し、欠陥部を露出させる工程と、露出させた欠陥部にアシストガスを吹き付けながら荷電ビームを照射し、欠陥部をエッチングして修正する工程と、導電膜を除去する工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】インプリント装置にて、型と樹脂とを引き離す際の離型性と、使用可能期間の長期化の点で有利な型を提供する。
【解決手段】型１は、石英からなり、被処理体としての樹脂を成形するパターン部３を有する。この型１は、樹脂と接触するパターン部３の表面上に形成された、フッ化水素を含む液体に対して不溶である材料からなる第１層４と、第１層４の表面上に積層する形で形成された、シランカップリング剤を含む化学吸着膜としての第２層５とを有する。 （もっと読む）

【課題】熱や周囲環境の変化により伸縮して形状変化が生じた樹脂スタンパの形状を調整することができる樹脂スタンパ用ステージを提供すること。
【解決手段】一方の表面に微細な凹凸パターンが形成された樹脂スタンパ１６を、その凹凸パターン形成面とは反対側の面が接するように載置するための載置台１２を有し、該載置台１２は、前記樹脂スタンパの反対側の面を吸引する複数の吸引孔１５を有する吸引機構１４と、前記複数の吸引孔１５を、前記樹脂スタンパが載置される載置面１２ａの平面方向にそれぞれ独立して移動させる移動機構と、を備えていることを特徴とする樹脂スタンパ用形状調整ステージ。 （もっと読む）

【課題】光学素子の製造方法において、曲率を有する光学面を有する光学素子の光学面に複数の凹凸形状による微細構造を精度よく形成することができるようにする。
【解決手段】凸レンズ面１ａに沿って配置された複数の凹凸形状による反射防止部を備える光学素子の製造方法であって、弾性体からなる基体部５Ａの一表面に、反射防止部の凹凸形状を凸レンズ面１ａの接線方向に沿って伸長または圧縮し反転させた形状からなる成形面部を形成して、微細構造形成用型５を製作する型製作工程と、微細構造用形成用型５を湾曲させて、一表面を凸レンズ面１ａに実質的に沿う形状に変形させることにより、成形面部を反射防止部が反転した形状に変形させる型変形工程と、凸レンズ面１ａを有するレンズ本体１の凸レンズ面１ａに成形用樹脂を塗布し、型変形工程で変形された成形面部５ｃ’を凸レンズ面１ａに押圧し、成形用樹脂を硬化させる成形工程と、を備える方法とする。 （もっと読む）

【課題】短時間で板隙を修正できる板隙修正方法を提供する。
【解決手段】打点Ｐを含む平面部８０をシェル要素モデル４０より検出する平面部検出工程Ｓ１３０と、検出した平面部８０と１Ｄ要素１００とに基づいて、１Ｄ要素１００が介在する平面部８０を一つのグループとしてグループ化するグループ化工程Ｓ１４０と、グループに属する平面部８０の中で、一つの平面部８０を基準平面部として設定し、基準平面部を基準にして、グループに属する平面部を移動させる順序を、グループ毎に決定する順序決定工程Ｓ１６０と、を行う。 （もっと読む）

【課題】均一な微細パターン形状の形成を実現できる積層体、及びこの積層体を用いたモールドの製造方法を提供すること。
【解決手段】積層体（１０）は、基材（３）上に設けられた反応防止層（２）と、反応防止層（２）上に設けられた熱反応型レジスト層（１）とを具備し、反応防止層（２）は、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）、亜鉛（Ｚｎ）、スズ（Ｓｎ）及びルテニウム（Ｒｕ）並びにこれらの酸化物及び窒化物並びに炭素（Ｃ）、炭化ホウ素（Ｂ_４Ｃ）、窒化ホウ素炭素（ＢＣＮ）及び窒化炭素（ＣＮ）からなる群より少なくとも１つ以上選ばれる材料で構成され、熱反応型レジスト層（１）は、酸化鉛からなる材料で構成される。 （もっと読む）