処理操作；運輸 (1,245,546) | マイクロ構造技術 (6,196) | マイクロ構造装置またはシステム，例．マイクロマシン装置 (4,227)

可動の，または可撓性の要素がない装置，例．マイクロ毛細管装置 (859)
可撓性の，または変形可能な要素，例．弾性のある舌片または薄膜，からなる装置 (2,808)
相互に移動可能な要素，例．スライド可能な，または回転可能な要素，からなる装置 (110)
マイクロ構造システム (450)