処理操作；運輸 (1,245,546) | マイクロ構造技術 (6,196) | マイクロ構造装置またはシステムの製造または処理に，特に適合した方法または装置 (1,969)

基層中または基層上での装置またはシステムの製造または処理 (1,249)
個別に処理された構成部品からの，装置またはシステムの組立 (639)
このサブクラスの他のグループに分類されない主題事項 (81)