国際特許分類[C04B35/581]の内容
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複合組成物
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窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法
【課題】3A族の酸化物をはじめとする焼結助剤は含有しておらず、研削加工を行っても表面粗さの小さい窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】耐食性を有する純度99%以上の窒化アルミニウム焼結体であって、密度が3.20×103kg/m3以上であり、Caを200ppm以上400ppm以下、Siを10ppm以上100ppm以下、Cを220ppm以上1500ppm以下含有する。窒化アルミニウム焼結体は、3A族の酸化物をはじめとする焼結助剤を含有せず、緻密化を促進する物質であるCaと阻害する物質であるSiおよびCを所定量含有する。これにより、研削面において窒化アルミニウム焼結体の表面粗さを小さくすることが可能となる。その結果、研削面の表面積が小さくなり、窒化アルミニウム焼結体の耐食性を向上させることができる。
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窒化アルミニウム焼結顆粒の製造方法
【課題】 高熱伝導性及び樹脂等への充填性に優れ、数μm〜数十μmの粒径を有し、放熱性の樹脂やグリース、接着剤、塗料等の放熱材料用フィラーとして有用な窒化アルミニウム焼結顆粒を簡便に製造する方法を提供する。
【解決手段】 アルミナ及び/又はアルミナ水和物粉末を噴霧乾燥して得られた比表面積2〜500m2/gである多孔質アルミナ顆粒を窒素流通下、還元剤の存在下に還元窒化し、多孔質窒化アルミニウム顆粒とし、次いで、該多孔質窒化アルミニウム顆粒を焼成して焼結せしめることにより、窒化アルミニウム焼結顆粒を得る。
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窒化アルミニウム焼結体の製造方法
【課題】 直接窒化法により得られる窒化アルミニウム塊状物を粉砕した窒化アルミニウム粉末を、上記粉砕時に生成する微粉を含んだ状態でそのまま使用しながら、成形、焼成して、高熱伝導性、高絶縁性等の特性を実現することが可能な窒化アルミニウム焼結体の製造方法を提供する。
【解決手段】 直接窒化法によって得られる窒化アルミニウム塊状物を累積90%体積粒径が5〜9μm、好ましくは、比表面積が3.6m2/g以上となるように粉砕後、上記粉砕時に生成する微粉を分離することなく、上記窒化アルミニウム粉末に対して、焼結助剤として、希土類金属酸化物を3〜7質量%、カルシウム系化合物をCaO換算で100〜500ppmの割合となるように添加して、非酸化性雰囲気下、1700℃を超え1800℃以下の温度で焼成することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法。
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半導体製造装置用部材およびその製造方法
【課題】 冷却効率が良好で、密着強度が高く信頼性に優れた半導体製造装置用部材およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の半導体製造装置用部材は、窒化アルミニウム質基体1の表面に水酸化アルミニウムからなる被膜(水酸化アルミニウム膜2)が設けられていることを特徴とするものである。これにより、水酸化アルミニウム膜2は水分との濡れ性がいいので、水酸化アルミニウム膜2から窒化アルミニウム質基体1への伝熱が良くなり、冷却効率が良好な半導体製造装置用部材を実現できる。また、水酸化アルミニウム膜2と窒化アルミニウム質基体1との界面へのクラックの発生が抑制され、密着強度が高く信頼性に優れたものとすることができる。
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窒化アルミニウム焼結顆粒の製造方法
【課題】 大粒径の窒化アルミニウム焼結顆粒を工業的に製造することを可能とする窒化アルミニウム焼結顆粒の製造方法を提供する。
【解決手段】 熱可塑性樹脂、窒化アルミニウム粉末及び焼結助剤を含有する樹脂組成物を押出成形して、好ましくは、直径が300〜1000μmのストランド状グリーン体に成形後、該ストランド状グリーン体を、好ましくは、ストランド状グリーン体の直径に対して、0.3〜3倍の長さに切断加工してグリーン片を得、次いで、得られたグリーン片を、例えば、1500〜2000℃で焼成して窒化アルミニウム焼結顆粒を得る。
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窒化アルミニウム焼結顆粒の製造方法
【課題】 大粒径の窒化アルミニウム焼結顆粒を工業的に製造することを可能とする窒化アルミニウム焼結顆粒の製造方法を提供する。
【解決手段】 有機バインダー、窒化アルミニウム粉末及び焼結助剤を含有するグリーンシートを細片に切断加工することにより、好ましくは、個々のグリーン片の体積が1.5×107〜1.0×109μm3であるグリーン片を得、次いで、得られたグリーン片を、例えば、1500〜2000℃の温度で焼成して窒化アルミニウム焼結顆粒を得る。
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窒化アルミニウム焼結体及びそれを用いた半導体製造装置用又は検査装置用のウエハ保持体
【課題】 常温のみならず高温においても体積抵抗率を高い値に維持することができる窒化アルミニウム焼結体、及び該窒化アルミニウム焼結体を少なくとも部分的に用いた半導体製造装置用又は検査装置用のウエハ保持体を提供する。
【解決手段】 カーボンナノチューブを内部に含んだ窒化アルミニウム粒子からなる窒化アルミニウム焼結体であって、その常温及び500℃における体積抵抗率がそれぞれ1.0×1013Ω・cm以上及び1.0×108Ω・cm以上である。
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窒化アルミニウム焼結体の製造方法
【課題】本発明は、窒化アルミニウム基板の製造に関し、酸化性、非酸化性と雰囲気の相反する脱脂炉と焼結炉において共用可能な台板を提供する。
【解決手段】窒化アルミニウム粒子と焼結助剤と有機バインダーとから成る窒化アルミニウム成形体を酸化性雰囲気の脱脂炉中で脱脂し、次いで1600〜2100℃の非酸化性雰囲気の焼結炉中で焼成して窒化アルミニウム焼結体を得る製造方法において、窒化アルミニウム成形体を積載した耐酸化性及び耐熱性を有する台板を前記脱脂炉及び焼結炉内で共用可能に使用すること、また前記台板が、グラファイト板の全表面を炭化珪素の皮膜で被覆していることを特徴とする。
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半導体装置用放熱板
【課題】熱伝導率が高く放熱性が優れた半導体装置用放熱板を提供する。
【解決手段】Y元素を0.14〜1.5質量%含有し、窒化アルミニウム(101面)のX線回折強度IAlNに対するAl2Y4O9(201面)のX線回折強度IAl2Y4O9の比(IAl2Y4O9/IAlN)が0.002〜0.06であり、且つY2O3(222面)のX線回折強度IY2O3の窒化アルミニウム(101面)のX線回折強度IAlNに対する比(IY2O3/IAlN)が0.008〜0.06であり、熱伝導率が240W/m・K以上、三点曲げ強度が200MPa以上である窒化アルミニウム焼結体から成ることを特徴とする半導体装置用放熱板である。
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窒化アルミニウム焼結体加工物の製造方法
【課題】酸化イットリウムを焼結助剤とする窒化アルミニウム焼結体を1750℃を超える高温下で処理して加工物を製造する際、熱処理時の熱変形を抑制し、且つ、良好な熱伝導特性を有する加工物を得るための方法を提供する。
【解決手段】上記熱処理に供する窒化アルミニウム焼結体として、粒界相にYAG(3Y2O3・5Al2O3)結晶相とYAP(Y2O3・Al2O3)結晶相が共存し、且つ、上記YAG結晶相、YAP結晶相に対するYAM(2Y2O3・Al2O3)結晶相の存在割合が、窒化アルミニウム(100)面に対するYAG結晶相(211)面、YAP結晶相(220)面及びYAM結晶相(210)面のX線回折パターンの強度比の合計の10%以下である窒化アルミニウム焼結体を使用する。
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