【課題】
ｉ線に高い光感度を有し、耐熱安定性に優れ、疎水性材料への溶解性に優れる非イオン系光酸発生剤及びこれを含むフォトリソグラフィー用樹脂組成物を提供する。
【解決手段】
本発明は、下記一般式（１）で表されることを特徴とする非イオン系光酸発生剤（Ａ）及び該非イオン系光酸発生剤（Ａ）を含むフォトリソグラフィー用樹脂組成物（Ｑ）である。
【化１】


［式（１）中、ｘは１〜８の整数、ｙは３〜１７の整数、Ｒは置換基（Ｔ）を有しても良いフェニル基、ビフェニル基、あるいはナフチル基を表す。］ （もっと読む）

【課題】フラーレン誘導体を含む光増感性が高く、水溶性の光増感性材料を提供する。
【解決手段】本発明は、（１）親水性基と疎水性基とを含む脂質分子から構成されるリポソームの内部に所定のＣ_６０フラーレン誘導体が存在するフラーレン含有リポソーム、または（２）シクロデキストリンに所定のＣ_６０フラーレン誘導体が包接されたフラーレン−シクロデキストリン錯体を含む光増感性材料を用いることで、光増感性が高く、水溶性の光増感性材料を提供する。 （もっと読む）