【課題】 アコースティック・エミッション検出用の追加のセンサ、配線、駆動回路や検出回路等を設けることなく、プローブ顕微鏡にアコースティック・エミッション検出センサ機能を具備させる。
【解決手段】
試料ホルダを有するスキャナ圧電体に走査信号を印加し、該試料ホルダに載置された試料の表面と所定の接触力で接触するプローブにより、試料との間で発生する相互作用を検出するプローブ顕微鏡において、スキャナ圧電体に走査信号を印加する走査信号配線から、該走査信号に重畳されるアコースティック・エミッション信号を分離して、走査位置毎に、試料とプローブの相互作用とアコースティック・エミッションを同時に検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】小さく良好に操作でき、その上、選択された駆動手段と無関係に管状圧電素子の内部でロータの正確な案内を可能とするロータの電気機械式位置決め装置を準備すること【解決手段】この発明は圧電素子の内部にロータを電気機械式位置決めする少なくとも一つの管状圧電素子を備える装置に関する。これは、ロータに垂直力を及ぼすために圧電素子と接続された少なくとも一つの弾性摩擦手段を備えることを特徴とする。装置を制御する方法が開示されている。
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