【課題】 スプラッシュやパーティクルの発生に直結するアーク放電発生時の電流上昇を効果的に制限しつつ、アーク処理終了時に放電電圧が過大となることを防止し得る電源装置を提供する。
【解決手段】 本発明の電源装置Ｅは、プラズマＰに接触するターゲットＴに直流電圧を印加する直流電源部２と、この直流電源部からの正負の出力５ａ、５ｂにて電極に発生するアーク放電を検出すると共に、そのアーク放電の消孤処理をし得るアーク処理部３とを備える。アーク処理部によりアーク放電の発生が検知され、消孤処理が開始されたときに前記電極への出力が定電流特性を有し、その消孤処理の終了までに前記電極への出力が定電圧特性を有するように、前記出力を切り換える出力特性切換回路６、ＳＷ２を備える。 （もっと読む）

【課題】 安定で且つ一様なアークが保証されることが可能なアーク炉電力供給デバイスを提供する。
【解決手段】 整流器（１）を備えたアーク炉電力供給デバイスが規定される。この整流器（１）は、その交流電圧サイドで、交流電圧供給ネットワーク（２）に接続されることが可能であり、その直流電圧サイドで直流電圧回路（３）に接続される。更に、上記アーク炉電力供給デバイスは、インバータ（４）を有し、そのインバータは、その直流電圧サイドで、直流電圧回路（３）に接続され、その交流電圧サイドで、少なくとも一つのアーク電極（５）に接続される。アークの安定で且つ一様な発生の改善のため、上記インバータ（４）は、矩形交流電圧をアーク電極（５）に与えるインバータとしてデザインされる。 （もっと読む）

本発明は、電気エネルギーを交流電気炉の少なくとも１つの電極（１１）に供給して、特に金属を溶解する電子式スイッチング回路に関する。この種類の公知のスイッチング回路は、一般に直列接続された変圧器（６）と交流制御器（８）とを有する。変圧器（６）は、電源（１）から電気炉に対して供給電圧を提供する。交流制御器（８）は、変圧器（６）と電極（１１）との間に接続されて、電極（１１）に通電する電流を制御する。本発明によれば、構造的に簡単で安価な改良された構成が、このような電子式スイッチング回路に対して提唱される。この電子式スイッチング回路は、高い電極電流による電気炉の運転モード時でも交流制御器（８）の過負荷を阻止する。この改良された構造は、交流制御器がブリッジ遮断スイッチ（９）によってブリッジされることを提唱する。このブリッジ遮断スイッチ（９）は、電極（１１）に通電する電流量に応じて制御装置によって開閉される。
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