フォトマスクケース
【課題】位置を確定する作業中に塵などがフォトマスクに付着すること及び運搬中にガタツキが発生することを抑制することができるフォトマスクケースを提供する。
【解決手段】
収納するフォトマスクの上下方向一方側に当接する当接部と、該フォトマスクの左右方向及び上下方向での位置を確定するための保持手段とを備えたケース本体と、該フォトマスクを厚み方向でケース本体側に押し付けて固定するための蓋体とを備え、保持手段が、フォトマスクの左右方向及び上下方向での位置の確定を行う左右方向保持手段８及び上下方向保持手段１１を備え、左右方向保持手段８の操作部８Ｃ及び左右方向保持手段１１の操作部１１Ｃをフォトマスクの左右両端から外れた外側の位置に配置した。
【解決手段】
収納するフォトマスクの上下方向一方側に当接する当接部と、該フォトマスクの左右方向及び上下方向での位置を確定するための保持手段とを備えたケース本体と、該フォトマスクを厚み方向でケース本体側に押し付けて固定するための蓋体とを備え、保持手段が、フォトマスクの左右方向及び上下方向での位置の確定を行う左右方向保持手段８及び上下方向保持手段１１を備え、左右方向保持手段８の操作部８Ｃ及び左右方向保持手段１１の操作部１１Ｃをフォトマスクの左右両端から外れた外側の位置に配置した。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばガラス基板上に回路パターンを転写するためのフォトマスクを収納して保管及び運搬するためのフォトマスクケースに関し、特に縦寸法及び横寸法が共に１ｍを超えるような大型のフォトマスクを収納する際に有用なフォトマスクケースに関する。
【背景技術】
【０００２】
上記フォトマスクケースは、フォトマスクを収納するための収納空間を形成するための基部と蓋部とから構成され、基部には、フォトマスクを載置して仮置き状態にするための支持用保持手段と、この支持用保持手段に一体化されてフォトマスクの高さ位置を調整する高さ調整部と、フォトマスクを左右方向での位置を確定するためのサイド方向位置決め用保持手段と、フォトマスクを厚さ方向での位置を確定するための厚さ方向位置決め用保持手段とを備えている。
そして、前記高さ調整部を備えた支持用保持手段が、フォトマスクの４つの角部にそれぞれ配置され、前記サイド方向位置決め用保持手段が、フォトマスクの左右両側の上下方向中間部の２箇所にそれぞれ配置され、厚さ方向位置決め用保持手段が、フォトマスクの左右幅の中央部の上下方向両端にそれぞれ配置され、全ての保持手段がそれぞれのボルトにより位置固定及び固定解除ができるように構成されている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−３２９１５号公報（図２〜図６参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１の構成によれば、フォトマスクケースを構成する基部を例えば斜めに立てかけ、その立てかけた基部にフォトマスクを仮置きし、その仮置きしたフォトマスクに対して各保持手段のボルトを操作してフォトマスクの位置確定を行うようにしているため、次のような不都合が発生していた。
即ち、厚さ方向位置決め用保持手段が、フォトマスクの左右幅の中央部の上下方向両端にそれぞれ配置されているため、特に上側の厚さ方向位置決め用保持手段を操作する場合に、作業者がフォトマスクの左右幅の中央前方に立って操作しなければならない。従って、作業中に作業者の抜けた髪の毛や衣服に付着している塵がフォトマスクの表面に付着してしまう。
また、特に大型のフォトマスクは、重量が重いため、そのような重いフォトマスクの下端を、上下方向に移動可能な厚さ方向位置決め用保持手段及び高さ位置決め用保持手段により保持する構成では、それら保持手段のボルトがフォトマスクの重量を受けて緩んでしまうことがあり、運搬中に上下にガタツキが発生してしまう。
【０００５】
本発明は前述の状況に鑑み、解決しようとするところは、位置を確定する作業中に塵などがフォトマスクに付着すること及び運搬中にガタツキが発生することを抑制することができるフォトマスクケースを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のフォトマスクケースは、前述の課題解決のために、収納するフォトマスクの上下方向一方側に当接する当接部と、該フォトマスクの左右方向及び上下方向での位置を確定するための保持手段とを備えたケース本体と、該フォトマスクを厚み方向でケース本体側に押し付けて固定するための蓋体とを備え、前記保持手段が、前記フォトマスクの左右方向での位置を確定すべく、該フォトマスクの左右両側の上下方向中間部に対応する位置にそれぞれ配置される左右方向保持手段と、前記フォトマスクの上下方向での位置を確定すべく、該フォトマスクの上下方向他方側の左右両側に対応する位置にそれぞれ配置される上下方向保持手段とを備え、前記フォトマスクの左右方向での位置確定を可能にするための左右方向保持手段の操作部及び該フォトマスクの上下方向での位置確定を可能にするための上下方向保持手段の操作部を、前記フォトマスクの左右両端から外れた位置に対応する位置に配置したことを特徴としている。
【０００７】
上記構成によれば、まず、例えば当接部を下方側にしてケース本体を上下に立てる、あるいは斜めに立てかけて、フォトマスクの下端を当接部に当接させて該フォトマスクを支持する。この状態において、フォトマスクの左右方向での位置確定を可能にするための左右方向保持手段の操作部及びフォトマスクの上下方向での位置確定を可能にするための上下方向保持手段（フォトマスクの上端に配置されている）の操作部を操作する場合には、それら両方の操作部がフォトマスクの左右両端から外れた位置に配置されていることから、フォトマスクの左右端から外側に外れた位置でそれら操作部を操作することができる。即ち、作業者は、ケース本体の当接部に当接して支持されているフォトマスクの前方に位置することなく、２つの操作部を操作することができる。その結果、作業中に作業者の抜けた髪の毛や衣服に付着している塵がフォトマスクの表面に付着することを抑制することができる。
また、フォトマスクの下端が下方側に設けた当接部に支持される構成であるから、特に重量のあるフォトマスクをガタツキなく確実に支持することができる。
前述とは逆に、当接部が上方側に設けられている場合には、フォトマスクの上端を当接部に当接させて該フォトマスクを支持する。この状態において、前記と同様に、左右方向保持手段の操作部及び上下方向保持手段（フォトマスクの下端に配置されている）の操作部をフォトマスクの左右両端から外れた位置に位置している作業者によって操作することができる。運搬する際には、当接部が下方に位置するようにフォトマスクケースの上下が逆になるようにフォトマスクケースを引っくり返すことになる。
更に、当接部はフォトマスクを支持するだけの構成であるため、当接部に対する操作が不要になる。その結果、操作が必要となる部品点数を少なくすることができる。
【０００８】
また、本発明のフォトマスクケースは、前記当接部が、前記ケース本体の下方側に配置され、前記上下方向保持手段が、前記フォトマスクの上端の左右両側のコーナー部に配置され、かつ、該フォトマスクのコーナー部の上端から横側に沿って折れ曲がった鉤型形状に構成され、該フォトマスクのコーナー部の横側に配置された上下方向保持手段の横側部に、該上下方向保持手段の操作部を備えていてもよい。
【０００９】
上記のように、上下方向保持手段を、当接状態にしたフォトマスクのコーナー部の上端から横側に沿って折れ曲がった鉤型形状に構成すれば、上下方向保持手段の占めるスペースを少なくすることができ、フォトマスクケースの小型化を図ることができる。
【００１０】
また、本発明のフォトマスクケースは、前記上下方向保持手段の横側部に、上下方向に沿う長孔を形成し、該長孔を貫通すると共に前記ケース本体側に備えたネジ孔に螺合することにより該横側部を該ケース本体に固定するための固定ネジから該上下方向保持手段の操作部を構成していてもよい。
【００１１】
また、本発明のフォトマスクケースは、前記長孔が、複数個備えられ、それら複数の長孔が上下方向で並ぶように並設されていてもよい。
【００１２】
上記のように、上下方向で並ぶように複数の長孔を並設するようにすれば、上下方向保持手段を上下方向にスムーズに移動させるガイド部として機能させることができる。しかも、複数の長孔を上下方向で並ぶように配置することによって、例えば複数の長孔を左右方向に間隔を置いて平行に並べて配置する場合に比べて、横側部の左右幅をコンパクトにすることができ、フォトマスクケースの小型化を図ることができる。
【発明の効果】
【００１３】
左右方向保持手段の操作部及び上下方向保持手段の操作部を当接部に当接状態にしたフォトマスクの左右両端から外れた位置に配置することによって、従来のようにフォトマスクの前方でそれら操作部を操作しなくて済む。また、フォトマスクの上下方向の一方を当接部により当接支持させることによって、従来のようにネジが緩んで運搬中にフォトマスクケース内でガタツクといったことがない。したがって、位置を確定する作業中に髪の毛や塵などがフォトマスクに付着すること及び運搬中にガタツキが発生することを抑制することができるフォトマスクケースを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】フォトマスクケースのケース本体の正面図である。
【図２】フォトマスクケースの蓋体の正面図である。
【図３】フォトマスクを収納したケース本体に蓋体を閉じる直前の状態を示す上下方向に沿って切断した端面図である。
【図４】フォトマスクを収納したケース本体に蓋体を閉じた状態を示す上下方向に沿って切断した端面図である。
【図５】上下方向保持手段を示し、（ａ）はそれの側面図、（ｂ）はそれの正面図、（ｃ）はそれの底面図である。
【図６】左右方向保持手段を示し、（ａ）はそれの平面図、（ｂ）はそれの正面図、（ｃ）はそれの側面図である。
【図７】当接部を示し、（ａ）はそれの平面図、（ｂ）はそれの側面図、（ｃ）はそれの正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図３及び図４に、フォトマスク１を収納して保管や運搬を行うための本発明のフォトマスクケース２を示している。
前記フォトマスクケース２は、前方が開放され、フォトマスク１を収納するための箱型形状のケース本体３と、このケース本体３の前方の開口を閉じて密閉するための箱型形状の蓋体４とを備えている。
【００１６】
前記フォトマスク１は、所定の大きさに加工されたブランクス上に回路パターンが形成されている。このように形成されたフォトマスクを用いて、ガラス基板に転写することによって、半導体素子やフラットパネルディスプレイといった電子部品を製造することができる。
【００１７】
ケース本体３は、図１、図３及び図４に示すように、正方形状の平板部３Ａと、この平板部３Ａの外周縁の４辺から前方側に垂直に延びる４つの板部３Ｂ，３Ｃ，３Ｄ，３Ｅとを備え、平板部３Ａの前面に左右方向及び上下方向に向かって延びる保形用のリブ３Ｆ，３Ｇを備えている。
【００１８】
また、ケース本体３の下端には、フォトマスク１の下端に当接する４個の当接部５Ａ、５Ｂ，６Ａ，６Ｂを備えている。これら当接部のうち左右方向両端に位置する当接部５Ａ，５Ｂのうちの左側の当接部５Ａは、図１、図３及び図７（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、平板部３Ａの前面から延びる板部５Ｉと、この板部５Ｉの前端に一体化された直方体形状のブロック体５Ｊとを備えている。そして、ブロック体５Ｊの前方でかつ左右方向内側に位置する特定領域に他の部分よりも凹んだ凹部５ａが形成されている。また、前記凹部５ａの底面に左右方向に沿って溝５ｍ（図７のみ図示）を形成し、その溝５ｍにフォトマスク１の下端面が当接するパッキン７（図７のみ図示）を嵌め込んでいる。この凹部５ａは、前方側のみ開放された構成となっており、後側に備えた縦壁部５Ｔにフォトマスク１の下端部の前面（表面）が当接することによって、フォトマスク１の厚み方向での位置を確定することができるようになっている。図７（ｂ）では、２点鎖線で示すフォトマスク１を下降させて該フォトマスク１の下端を当接部５Ａに支持させる直前の状態を示している。
【００１９】
尚、右側の当接部５Ｂは、左側の当接部５Ａと溝５ｍの形成位置が異なるだけで基本的構成が同一であるため、図１において同一の符号を付すが、説明は省略する。また、当接部６Ａ，６Ｂにおいても同様に、後側に縦壁部６Ｔを備えており、フォトマスク１の下端の前面（表面）が縦壁部６Ｔに当接することによって、フォトマスク１の厚み方向での位置の確定が行えるようになっている。
【００２０】
また、図１に示すように、ケース本体３の左右両端の上下方向中央部（上端と下端の間を上下方向中間部と定義すれば、上端と下端を除いた位置であれば、どの位置であってもよい）にそれぞれ、左右方向保持手段８を配置している。
【００２１】
左右方向保持手段８は、図６（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、フォトマスク１に矢印で示す左側に移動させることにより当接して位置の確定を行うための位置確定部８Ａと、この位置確定部８Ａに一体化され、ケース本体３側に固定されている固定部材９に左右方向で移動自在に取り付けられた本体部８Ｂとを備えている。
【００２２】
前記位置確定部８Ａは、フォトマスク１の左右の横側端面に当接する当接面８ａと、該当接面８ａの前後方向両端から左右方向内側にそれぞれ延びてフォトマスク１の厚み方向での移動を規制する前後一対の規制部８ｂ，８ｂとを備えている。
【００２３】
本体部８Ｂの上下２箇所には、平行でかつ水平方向に伸びる長孔８Ｎ，８Ｎが形成され、それらの長孔８Ｎ，８Ｎを貫通して前記固定部材９に形成のネジ孔９Ｎに螺合する固定ネジ８Ｃ，８Ｃ（操作部）を本体部８Ｂに備えている。尚、前記位置確定部８Ａには、当接面８ａから本体部８Ｂ側へ凹んだ溝８ｍが上下方向全域に渡って形成され、その溝８ｍ内にフォトマスク１と当接させるパッキン１０をそれの一部が溝８ｍから突出する状態で入り込ませている。前記のように上下２箇所に長孔８Ｎ，８Ｎを形成することによって、上下に特別なガイド部材などを設けることなく、左右方向保持手段８を左右方向にスムーズに移動させるガイド部として機能させることができる。例えば１つの長孔８Ｎで構成した場合に、左右方向保持手段８を左右方向に移動させる際に、左右方向保持手段８が上下方向に姿勢変更してしまうことがあるため、左右方向保持手段８の上下両側にガイド部材を配置することになる。
【００２４】
従って、固定ネジ８Ｃ，８Ｃを緩めることによって、左右方向保持手段８を上下一対の長孔８Ｎ，８Ｎを介して左右方向に移動させることによって、フォトマスク１の横側端面に当接させる。その後、一対の固定ネジ８Ｃ，８Ｃを締めることによって、左右方向保持手段８をその位置で固定することができる。
【００２５】
また、図１に示すように、ケース本体３の上端側の左右両横側のコーナー部のそれぞれに、フォトマスク１のコーナー部の上端から横側に沿って折れ曲がった鉤型形状の上下方向保持手段１１を配置している。
【００２６】
右側の上下方向保持手段１１は、図５（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、フォトマスク１の上端面に矢印で示す下方へ移動させることにより当接して上下方向での位置を確定するための横長状の当接部１１Ａと、この当接部１１Ａの左右方向外側端から下方に垂下した横側部１１Ｂとを備えている、
【００２７】
前記横側部１１Ｂには、上下２箇所に縦向きの長孔１１ｂ，１１ｂが形成され、該長孔１１ｂ，１１ｂに貫通する固定ネジ１１Ｃ，１１Ｃ（操作部）を備えている。前記固定ネジ１１Ｃ，１１Ｃは、ケース本体３側に備えている固定部材１２に備えたネジ孔１２Ｎに螺合している。
【００２８】
また、前記当接部１１Ａの当接面１１ａには、左右方向に長くかつ間隔を置いて互いに平行に形成された２つの溝１１ｍ，１１ｍが形成され、その溝１１ｍ，１１ｍ内にフォトマスク１の上端面が当接するパッキン１３，１３をそれの一部が溝１１ｍ，１１ｍから突出する状態で入り込ませている。
【００２９】
前記のように上下一対の長孔１１ｂ，１１ｂを形成することによって、左右に特別なガイド部材などを設けることなく、上下方向保持手段１１を上下方向にスムーズに移動させるガイド部として機能させることができる。例えば１つの長孔１１ｂで構成した場合に、上下方向保持手段１１を上下方向に移動させる際に、上下方向保持手段１１が左右方向に姿勢変更してしまうことがあるため、上下方向保持手段１１の左右両側にガイド部材を配置することになる。
【００３０】
しかも、２つの長孔１１ｂ，１１ｂを上下方向で並ぶように（上下方向で重複するように）並設することによって、例えば２つの長孔１１ｂ，１１ｂを左右方向に間隔を置いて平行に並べて配置する場合に比べて、横側部１１Ｂの左右幅をコンパクトにすることができる。よって、フォトマスクケース２の小型化を図ることができる。尚、左側の上下方向保持手段１１も右側の上下方向保持手段１１と同様な構成であるため、説明は省略する。
【００３１】
従って、上下一対の固定ネジ１１Ｃ，１１Ｃを緩めることによって、上下方向保持手段１１を上下一対の長孔１１ｂ，１１ｂを介して下方へ移動させることによって、フォトマスク１の上端面に当接させる。その後、上下一対の固定ネジ１１Ｃ，１１Ｃを締めることによって、上下方向保持手段１１をその位置で固定することができる。
【００３２】
また、ケース本体３の上端には、フォトマスク１の上端前面に当接する３個の当接部１４Ａ、１４Ｂ，１４Ｃ（真ん中に位置する当接部１４Ｂの左右寸法が他の当接部１４Ａ，１４Ｃの左右寸法よりも長くなっている）を左右方向に間隔を置いて備えている。これら当接部１４Ａ、１４Ｂ，１４Ｃは、同一形状であり、左側の当接部１４Ａについて図１及び図３に基づいて説明する。
【００３３】
前記当接部１４Ａは、平板部４Ａの前面から延びる板部１４Ｉと、この板部１４Ｉの前端に一体化された直方体形状のブロック体１４Ｊとを備えている。そして、ブロック体１４Ｊの前方でかつ下側に上方側へ凹んだ凹部１４ａが形成され、この凹部１４ａを構成する後側の縦壁部１４ｂがフォトマスク１の上端前面に当接する当接面を構成している。
【００３４】
蓋体４について説明すれば、図２に示すように、ケース本体３と同様に、正方形状の平板部４Ａと、この平板部４Ａの外周縁の４辺から前面側（表面側）に垂直に延びる４つの板部４Ｂ，４Ｃ，４Ｄ，４Ｅとを備え、平板部４Ａの前面（表面）に、左右方向に向かって延びる保形用の第１リブ４Ｆ及び上下方向に向かって左右に間隔を置いて平行に延びる一対の保形用の第２リブ４Ｇ，４Ｈを備えている。
【００３５】
また、蓋体４の上端側には、フォトマスク１の上端前面（上端表面）に当接する３個の当接部１５Ａ、１５Ｂ，１５Ｃ（真ん中に位置する当接部１５Ｂの左右寸法が他の当接部１５Ａ，１５Ｃの左右寸法よりも長くなっている）を左右方向に間隔を置いて備えている。これら当接部１５Ａ、１５Ｂ，１５Ｃは、同一形状であり、右側の当接部１５Ｃについて図２及び図３に基づいて説明する。
【００３６】
前記右側の当接部１５Ｃは、平板部４Ａの前面（表面）から延びる上下一対の板部１５Ｉ、１５Ｊと、これら板部１５Ｉ、１５Ｊの前端に一体化された直方体形状のブロック体１５Ｋを備えている。そして、ブロック体１５Ｋの前面がフォトマスク１の上端後面（上端裏面）に当接する当接面を構成している。
【００３７】
また、蓋体４の下端には、フォトマスク１の下端に当接する４個の当接部１６Ａ、１６Ｂ，１７Ａ，１７Ｂを備えている。これら当接部のうち右端に位置する当接部１６Ｂは、図２及び図３に示すように、平板部４Ａの前面（表面）から延びる上下一対の板部１６Ｉ，１６Ｊと、これら板部１６Ｉ，１６Ｊの前端に一体化された直方体形状のブロック体１６Ｋを備えている。
【００３８】
そして、ブロック体１６Ｋの前面がフォトマスク１の下端後面（下端裏面）に当接する当接面を構成し、フォトマスク１の下端裏面がブロック体１６Ｋの前面に当接することによって、フォトマスク１の厚み方向での位置の確定が行えるようになっている。尚、左側の当接部１６Ａも右側の当接部１６Ｂと基本的構成は同一であるため、説明は省略する。また、当接部１７Ａ，１７Ｂにおいても同様に、フォトマスク１の下端の裏面が当接部１７Ａ，１７Ｂの前面に当接することによって、フォトマスク１の厚み方向の位置を確定することができるようになっている。
【００３９】
また、前記蓋体４の板部４Ｂ，４Ｃ，４Ｄ，４Ｅの端面には、図３に示すように、前記ケース本体３の板部３Ｂ，３Ｃ，３Ｄ，３Ｅの端面に備えさせた突出縁３Ｓが入り込んで係合することでケース本体３と蓋体４とを密閉状態にするための係合周溝４Ｓが形成されている。
【００４０】
このように構成されたフォトマスクケース２にフォトマスク１を位置確定した状態で収納する手順を説明する。
まず、フォトマスク１を縦向き（フォトマスク１の厚み方向が水平方向となる姿勢）で収納できるように、図１に示すように、床面にケース本体３の下側の板部３Ｄを当接させて、ケース本体３を縦向き（平板部３Ａの厚み方向が水平方向となる姿勢）に配置する。尚、フォトマスク１をケース本体３内に移動させる際にフォトマスク１の外周縁が当接することがないように、フォトマスク１をケース本体３内に移動させる前に、図１の実線で示すように左右方向保持手段８，８を左右方向外方側の待機位置に位置させるとともに、図１の２点鎖線で示すように上下方向保持手段１１，１１を上方の待機位置に位置させておくことになる。
【００４１】
縦向きにセットされたケース本体３に向けてフォトマスク１を例えばハンドリング装置を用いて移動させる（人為力により移動させてもよい）。そして、図１の２点鎖線で示すように、フォトマスク１を当接部５Ａ、５Ｂ，６Ａ，６Ｂ上にハンドリング装置を用いて載置した状態にする。このとき、フォトマスク１の下端前面が当接部５Ａ、５Ｂ，６Ａ，６Ｂの縦壁部５Ｔ，５Ｔ，６Ｔ，６Ｔに当接し、フォトマスク１の上端前面が当接部１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃの縦壁部１４ｂ，１４ｂ，１４ｂに当接するようにセットする。
【００４２】
次に、一方の上下方向保持手段１１の固定ネジ１１Ｃ，１１Ｃを緩めてから、上下方向保持手段１１を図１の２点鎖線の待機位置から下方へ移動させて、上下方向保持手段１１の当接面１１ａをフォトマスク１の上端面に当接させ、その位置で固定ネジ１１Ｃ，１１Ｃを締めて上下方向保持手段１１を固定する。続いて、他方の上下方向保持手段１１も同様に、その当接面１１ａをフォトマスク１の上端面に当接させ、その位置で固定することによって、フォトマスク１の上下方向での位置の確定が完了する。上下方向保持手段１１の固定ネジ１１Ｃ，１１Ｃが、フォトマスク１の左右両端から外れた位置、つまり左右両端よりも左右方向外方側位置に配置されていることから、作業者は、フォトマスク１の左右両端から外れた位置から上下方向保持手段１１の固定ネジ１１Ｃ，１１Ｃを操作することができる。
【００４３】
次に、一方の左右方向保持手段８の固定ネジ８Ｃ，８Ｃを緩めてから、左右方向保持手段８を図１の実線の待機位置から図の矢印で示す左右方向内方側へ移動させて、左右方向保持手段８の当接面８ａをフォトマスク１の横側端面に当接させ、その位置で固定ネジ８Ｃ，８Ｃを締めて左右方向保持手段８を固定する。続いて、他方の左右方向保持手段８も同様に、その当接面８ａをフォトマスク１の横側端面に当接させ、その位置で固定することによって、フォトマスク１の左右方向での位置の確定が完了する。左右方向保持手段８の固定ネジ８Ｃ，８Ｃが、フォトマスク１の左右両端から外れた位置に配置されていることから、作業者は、フォトマスク１の左右両端から外れた位置から左右方向保持手段８の固定ネジ８Ｃ，８Ｃを操作することができる。
【００４４】
フォトマスク１の上下方向及び左右方向での位置の確定が完了すると、蓋体４を図３に示すように、ケース本体３に向けて移動させる。そして、図４に示すように、ケース本体３の側板部３Ｂ，３Ｃ，３Ｄ，３Ｅの端面に備えさせた突出縁３Ｓに蓋体４の係合周溝４Ｓが係合して、ケース本体３と蓋体４とが密閉状態になるとともに、ケース本体３の上下の当接部１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ、５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂと、蓋体４の上下の当接部１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ、１６Ａ，１６Ｂ，１７Ａ，１７Ｂとでフォトマスク１の上下端を厚み方向で押さえ付けてフォトマスク１の厚み方向での位置の確定が完了する。尚、図示していないが、ケース本体３と蓋体４とが容易に開放しないように固定するためのロック機構などを更に備えていることが好ましい。
【００４５】
尚、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００４６】
例えば、蓋体４の当接部１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃに凹部を形成しないでケース本体側へフォトマスク１を押し付ける上下方向の平面のみを備えたものであってもよい。尚、フォトマスク１の厚み方向で当接する部分にパッキンを備えさせてフォトマスク１と当接する部分に傷が付くことを抑制するようにしてもよい。
【００４７】
また、上記実施形態では、フォトマスク１を下側に載置した状態で上下方向および左右方向での位置の確定を行うようにしたが、例えば図１のフォトマスクケース２を上下が逆になるように配置し、フォトマスク１を上側に位置する当接部５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂに当接させた状態にして上下方向および左右方向での位置の確定を行うようにしてもよい。この場合、フォトマスク１をフォトマスクケース２に収納後に運搬する際には、フォトマスクケース２の上下が逆になるようにフォトマスクケース２を引っくり返してから運搬することが好ましい。つまり、下側に位置する当接部５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂにフォトマスク１の下端が支持された状態でフォトマスクケース２を運搬することが好ましい。
【００４８】
また、上記実施形態では、ケース本体３が箱型で構成することによって、ケース本体３を床面に対して垂直に立てた状態にケース本体３自体で保持することができたが、ケース本体３を板状のものから構成することもできる。この場合、板状のケース本体３を所定姿勢に保持する保持機構を設ける、あるいは固定物に少し斜めに傾けた状態で立てかけて、フォトマスク１を収納するようにしてもよい。
【００４９】
また、上記実施形態では、鉤形状の上下方向保持手段１１から構成したが、一直線状のものから構成してもよい。また、この場合、左右方向に長い上下方向保持手段に構成すれば、１個の上下方向保持手段で構成することもできる。
【００５０】
また、上記実施形態では、左右方向保持手段８及び上下方向保持手段１１を手動により移動させるようにしたが、電動モータなどのアクチュエータを用いて移動させてもよい。この場合には、アクチュエータを操作する操作部をフォトマスクの左右両端から外れた位置に配置すれば、左右方向保持手段８及び上下方向保持手段１１の位置はどのような位置であってもよい。
【００５１】
更に、上記実施形態では、当接部５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂを備えたものから構成したが、当接部５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂを省略し、上下方向保持手段１１をフォトマスクケースの下端の左右両側に配置したものから構成することもできる。この場合、フォトマスクの下端を上下方向保持手段１１，１１で支持することになる。また、フォトマスクの下端を支持する当接部を備えつつ、上下方向保持手段１１をフォトマスクケースの下端の左右両側に配置したものであってもよい。
【符号の説明】
【００５２】
１…フォトマスク、２…フォトマスクケース、３…ケース本体、３Ａ…平板部、３Ｂ，３Ｃ，３Ｄ，３Ｅ…板部、３Ｆ，３Ｇ…リブ、３Ｓ…突出縁、４…蓋体、４Ａ…平板部、４Ｂ，４Ｃ，４Ｄ，４Ｅ…板部、４Ｆ，４Ｇ，４Ｈ…リブ、４Ｓ…係合周溝、５Ａ，５Ｂ…当接部、５Ｉ…板部、５Ｊ…ブロック体、５Ｔ…縦壁部、５ａ…凹部、５ｍ…溝、６Ａ，６Ｂ…当接部、６Ｔ…縦壁部、７ …パッキン、８…左右方向保持手段、８Ａ…位置確定部、８Ｂ…本体部、８Ｃ，８Ｃ…固定ネジ（操作部）、８Ｎ，８Ｎ…長孔、８ａ…当接面、８ｂ，８ｂ…規制部、８ｍ…溝、９…固定部材、９Ｎ…ネジ孔、１１…上下方向保持手段、１１Ａ…当接部、１１Ｂ…横側部、１１Ｃ，１１Ｃ…固定ネジ（操作部）、１１ａ…当接面、１１ｂ，１１ｂ…長孔、１１ｍ，１１ｍ…溝、１２…固定部材、１２Ｎ…ネジ孔、１３…パッキン、１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ…当接部、１４Ｉ…板部、１４Ｊ…ブロック体、１４ａ…凹部、１４ｂ…縦壁部、１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ…当接部、１５Ｉ…板部、１５Ｋ…ブロック体、１６Ａ，１６Ｂ…当接部、１６Ｉ，１６Ｊ…板部、１６Ｋ…ブロック体、１６ｂ…縦壁部、１７Ａ，１７Ｂ…当接部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばガラス基板上に回路パターンを転写するためのフォトマスクを収納して保管及び運搬するためのフォトマスクケースに関し、特に縦寸法及び横寸法が共に１ｍを超えるような大型のフォトマスクを収納する際に有用なフォトマスクケースに関する。
【背景技術】
【０００２】
上記フォトマスクケースは、フォトマスクを収納するための収納空間を形成するための基部と蓋部とから構成され、基部には、フォトマスクを載置して仮置き状態にするための支持用保持手段と、この支持用保持手段に一体化されてフォトマスクの高さ位置を調整する高さ調整部と、フォトマスクを左右方向での位置を確定するためのサイド方向位置決め用保持手段と、フォトマスクを厚さ方向での位置を確定するための厚さ方向位置決め用保持手段とを備えている。
そして、前記高さ調整部を備えた支持用保持手段が、フォトマスクの４つの角部にそれぞれ配置され、前記サイド方向位置決め用保持手段が、フォトマスクの左右両側の上下方向中間部の２箇所にそれぞれ配置され、厚さ方向位置決め用保持手段が、フォトマスクの左右幅の中央部の上下方向両端にそれぞれ配置され、全ての保持手段がそれぞれのボルトにより位置固定及び固定解除ができるように構成されている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−３２９１５号公報（図２〜図６参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１の構成によれば、フォトマスクケースを構成する基部を例えば斜めに立てかけ、その立てかけた基部にフォトマスクを仮置きし、その仮置きしたフォトマスクに対して各保持手段のボルトを操作してフォトマスクの位置確定を行うようにしているため、次のような不都合が発生していた。
即ち、厚さ方向位置決め用保持手段が、フォトマスクの左右幅の中央部の上下方向両端にそれぞれ配置されているため、特に上側の厚さ方向位置決め用保持手段を操作する場合に、作業者がフォトマスクの左右幅の中央前方に立って操作しなければならない。従って、作業中に作業者の抜けた髪の毛や衣服に付着している塵がフォトマスクの表面に付着してしまう。
また、特に大型のフォトマスクは、重量が重いため、そのような重いフォトマスクの下端を、上下方向に移動可能な厚さ方向位置決め用保持手段及び高さ位置決め用保持手段により保持する構成では、それら保持手段のボルトがフォトマスクの重量を受けて緩んでしまうことがあり、運搬中に上下にガタツキが発生してしまう。
【０００５】
本発明は前述の状況に鑑み、解決しようとするところは、位置を確定する作業中に塵などがフォトマスクに付着すること及び運搬中にガタツキが発生することを抑制することができるフォトマスクケースを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のフォトマスクケースは、前述の課題解決のために、収納するフォトマスクの上下方向一方側に当接する当接部と、該フォトマスクの左右方向及び上下方向での位置を確定するための保持手段とを備えたケース本体と、該フォトマスクを厚み方向でケース本体側に押し付けて固定するための蓋体とを備え、前記保持手段が、前記フォトマスクの左右方向での位置を確定すべく、該フォトマスクの左右両側の上下方向中間部に対応する位置にそれぞれ配置される左右方向保持手段と、前記フォトマスクの上下方向での位置を確定すべく、該フォトマスクの上下方向他方側の左右両側に対応する位置にそれぞれ配置される上下方向保持手段とを備え、前記フォトマスクの左右方向での位置確定を可能にするための左右方向保持手段の操作部及び該フォトマスクの上下方向での位置確定を可能にするための上下方向保持手段の操作部を、前記フォトマスクの左右両端から外れた位置に対応する位置に配置したことを特徴としている。
【０００７】
上記構成によれば、まず、例えば当接部を下方側にしてケース本体を上下に立てる、あるいは斜めに立てかけて、フォトマスクの下端を当接部に当接させて該フォトマスクを支持する。この状態において、フォトマスクの左右方向での位置確定を可能にするための左右方向保持手段の操作部及びフォトマスクの上下方向での位置確定を可能にするための上下方向保持手段（フォトマスクの上端に配置されている）の操作部を操作する場合には、それら両方の操作部がフォトマスクの左右両端から外れた位置に配置されていることから、フォトマスクの左右端から外側に外れた位置でそれら操作部を操作することができる。即ち、作業者は、ケース本体の当接部に当接して支持されているフォトマスクの前方に位置することなく、２つの操作部を操作することができる。その結果、作業中に作業者の抜けた髪の毛や衣服に付着している塵がフォトマスクの表面に付着することを抑制することができる。
また、フォトマスクの下端が下方側に設けた当接部に支持される構成であるから、特に重量のあるフォトマスクをガタツキなく確実に支持することができる。
前述とは逆に、当接部が上方側に設けられている場合には、フォトマスクの上端を当接部に当接させて該フォトマスクを支持する。この状態において、前記と同様に、左右方向保持手段の操作部及び上下方向保持手段（フォトマスクの下端に配置されている）の操作部をフォトマスクの左右両端から外れた位置に位置している作業者によって操作することができる。運搬する際には、当接部が下方に位置するようにフォトマスクケースの上下が逆になるようにフォトマスクケースを引っくり返すことになる。
更に、当接部はフォトマスクを支持するだけの構成であるため、当接部に対する操作が不要になる。その結果、操作が必要となる部品点数を少なくすることができる。
【０００８】
また、本発明のフォトマスクケースは、前記当接部が、前記ケース本体の下方側に配置され、前記上下方向保持手段が、前記フォトマスクの上端の左右両側のコーナー部に配置され、かつ、該フォトマスクのコーナー部の上端から横側に沿って折れ曲がった鉤型形状に構成され、該フォトマスクのコーナー部の横側に配置された上下方向保持手段の横側部に、該上下方向保持手段の操作部を備えていてもよい。
【０００９】
上記のように、上下方向保持手段を、当接状態にしたフォトマスクのコーナー部の上端から横側に沿って折れ曲がった鉤型形状に構成すれば、上下方向保持手段の占めるスペースを少なくすることができ、フォトマスクケースの小型化を図ることができる。
【００１０】
また、本発明のフォトマスクケースは、前記上下方向保持手段の横側部に、上下方向に沿う長孔を形成し、該長孔を貫通すると共に前記ケース本体側に備えたネジ孔に螺合することにより該横側部を該ケース本体に固定するための固定ネジから該上下方向保持手段の操作部を構成していてもよい。
【００１１】
また、本発明のフォトマスクケースは、前記長孔が、複数個備えられ、それら複数の長孔が上下方向で並ぶように並設されていてもよい。
【００１２】
上記のように、上下方向で並ぶように複数の長孔を並設するようにすれば、上下方向保持手段を上下方向にスムーズに移動させるガイド部として機能させることができる。しかも、複数の長孔を上下方向で並ぶように配置することによって、例えば複数の長孔を左右方向に間隔を置いて平行に並べて配置する場合に比べて、横側部の左右幅をコンパクトにすることができ、フォトマスクケースの小型化を図ることができる。
【発明の効果】
【００１３】
左右方向保持手段の操作部及び上下方向保持手段の操作部を当接部に当接状態にしたフォトマスクの左右両端から外れた位置に配置することによって、従来のようにフォトマスクの前方でそれら操作部を操作しなくて済む。また、フォトマスクの上下方向の一方を当接部により当接支持させることによって、従来のようにネジが緩んで運搬中にフォトマスクケース内でガタツクといったことがない。したがって、位置を確定する作業中に髪の毛や塵などがフォトマスクに付着すること及び運搬中にガタツキが発生することを抑制することができるフォトマスクケースを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】フォトマスクケースのケース本体の正面図である。
【図２】フォトマスクケースの蓋体の正面図である。
【図３】フォトマスクを収納したケース本体に蓋体を閉じる直前の状態を示す上下方向に沿って切断した端面図である。
【図４】フォトマスクを収納したケース本体に蓋体を閉じた状態を示す上下方向に沿って切断した端面図である。
【図５】上下方向保持手段を示し、（ａ）はそれの側面図、（ｂ）はそれの正面図、（ｃ）はそれの底面図である。
【図６】左右方向保持手段を示し、（ａ）はそれの平面図、（ｂ）はそれの正面図、（ｃ）はそれの側面図である。
【図７】当接部を示し、（ａ）はそれの平面図、（ｂ）はそれの側面図、（ｃ）はそれの正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図３及び図４に、フォトマスク１を収納して保管や運搬を行うための本発明のフォトマスクケース２を示している。
前記フォトマスクケース２は、前方が開放され、フォトマスク１を収納するための箱型形状のケース本体３と、このケース本体３の前方の開口を閉じて密閉するための箱型形状の蓋体４とを備えている。
【００１６】
前記フォトマスク１は、所定の大きさに加工されたブランクス上に回路パターンが形成されている。このように形成されたフォトマスクを用いて、ガラス基板に転写することによって、半導体素子やフラットパネルディスプレイといった電子部品を製造することができる。
【００１７】
ケース本体３は、図１、図３及び図４に示すように、正方形状の平板部３Ａと、この平板部３Ａの外周縁の４辺から前方側に垂直に延びる４つの板部３Ｂ，３Ｃ，３Ｄ，３Ｅとを備え、平板部３Ａの前面に左右方向及び上下方向に向かって延びる保形用のリブ３Ｆ，３Ｇを備えている。
【００１８】
また、ケース本体３の下端には、フォトマスク１の下端に当接する４個の当接部５Ａ、５Ｂ，６Ａ，６Ｂを備えている。これら当接部のうち左右方向両端に位置する当接部５Ａ，５Ｂのうちの左側の当接部５Ａは、図１、図３及び図７（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、平板部３Ａの前面から延びる板部５Ｉと、この板部５Ｉの前端に一体化された直方体形状のブロック体５Ｊとを備えている。そして、ブロック体５Ｊの前方でかつ左右方向内側に位置する特定領域に他の部分よりも凹んだ凹部５ａが形成されている。また、前記凹部５ａの底面に左右方向に沿って溝５ｍ（図７のみ図示）を形成し、その溝５ｍにフォトマスク１の下端面が当接するパッキン７（図７のみ図示）を嵌め込んでいる。この凹部５ａは、前方側のみ開放された構成となっており、後側に備えた縦壁部５Ｔにフォトマスク１の下端部の前面（表面）が当接することによって、フォトマスク１の厚み方向での位置を確定することができるようになっている。図７（ｂ）では、２点鎖線で示すフォトマスク１を下降させて該フォトマスク１の下端を当接部５Ａに支持させる直前の状態を示している。
【００１９】
尚、右側の当接部５Ｂは、左側の当接部５Ａと溝５ｍの形成位置が異なるだけで基本的構成が同一であるため、図１において同一の符号を付すが、説明は省略する。また、当接部６Ａ，６Ｂにおいても同様に、後側に縦壁部６Ｔを備えており、フォトマスク１の下端の前面（表面）が縦壁部６Ｔに当接することによって、フォトマスク１の厚み方向での位置の確定が行えるようになっている。
【００２０】
また、図１に示すように、ケース本体３の左右両端の上下方向中央部（上端と下端の間を上下方向中間部と定義すれば、上端と下端を除いた位置であれば、どの位置であってもよい）にそれぞれ、左右方向保持手段８を配置している。
【００２１】
左右方向保持手段８は、図６（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、フォトマスク１に矢印で示す左側に移動させることにより当接して位置の確定を行うための位置確定部８Ａと、この位置確定部８Ａに一体化され、ケース本体３側に固定されている固定部材９に左右方向で移動自在に取り付けられた本体部８Ｂとを備えている。
【００２２】
前記位置確定部８Ａは、フォトマスク１の左右の横側端面に当接する当接面８ａと、該当接面８ａの前後方向両端から左右方向内側にそれぞれ延びてフォトマスク１の厚み方向での移動を規制する前後一対の規制部８ｂ，８ｂとを備えている。
【００２３】
本体部８Ｂの上下２箇所には、平行でかつ水平方向に伸びる長孔８Ｎ，８Ｎが形成され、それらの長孔８Ｎ，８Ｎを貫通して前記固定部材９に形成のネジ孔９Ｎに螺合する固定ネジ８Ｃ，８Ｃ（操作部）を本体部８Ｂに備えている。尚、前記位置確定部８Ａには、当接面８ａから本体部８Ｂ側へ凹んだ溝８ｍが上下方向全域に渡って形成され、その溝８ｍ内にフォトマスク１と当接させるパッキン１０をそれの一部が溝８ｍから突出する状態で入り込ませている。前記のように上下２箇所に長孔８Ｎ，８Ｎを形成することによって、上下に特別なガイド部材などを設けることなく、左右方向保持手段８を左右方向にスムーズに移動させるガイド部として機能させることができる。例えば１つの長孔８Ｎで構成した場合に、左右方向保持手段８を左右方向に移動させる際に、左右方向保持手段８が上下方向に姿勢変更してしまうことがあるため、左右方向保持手段８の上下両側にガイド部材を配置することになる。
【００２４】
従って、固定ネジ８Ｃ，８Ｃを緩めることによって、左右方向保持手段８を上下一対の長孔８Ｎ，８Ｎを介して左右方向に移動させることによって、フォトマスク１の横側端面に当接させる。その後、一対の固定ネジ８Ｃ，８Ｃを締めることによって、左右方向保持手段８をその位置で固定することができる。
【００２５】
また、図１に示すように、ケース本体３の上端側の左右両横側のコーナー部のそれぞれに、フォトマスク１のコーナー部の上端から横側に沿って折れ曲がった鉤型形状の上下方向保持手段１１を配置している。
【００２６】
右側の上下方向保持手段１１は、図５（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、フォトマスク１の上端面に矢印で示す下方へ移動させることにより当接して上下方向での位置を確定するための横長状の当接部１１Ａと、この当接部１１Ａの左右方向外側端から下方に垂下した横側部１１Ｂとを備えている、
【００２７】
前記横側部１１Ｂには、上下２箇所に縦向きの長孔１１ｂ，１１ｂが形成され、該長孔１１ｂ，１１ｂに貫通する固定ネジ１１Ｃ，１１Ｃ（操作部）を備えている。前記固定ネジ１１Ｃ，１１Ｃは、ケース本体３側に備えている固定部材１２に備えたネジ孔１２Ｎに螺合している。
【００２８】
また、前記当接部１１Ａの当接面１１ａには、左右方向に長くかつ間隔を置いて互いに平行に形成された２つの溝１１ｍ，１１ｍが形成され、その溝１１ｍ，１１ｍ内にフォトマスク１の上端面が当接するパッキン１３，１３をそれの一部が溝１１ｍ，１１ｍから突出する状態で入り込ませている。
【００２９】
前記のように上下一対の長孔１１ｂ，１１ｂを形成することによって、左右に特別なガイド部材などを設けることなく、上下方向保持手段１１を上下方向にスムーズに移動させるガイド部として機能させることができる。例えば１つの長孔１１ｂで構成した場合に、上下方向保持手段１１を上下方向に移動させる際に、上下方向保持手段１１が左右方向に姿勢変更してしまうことがあるため、上下方向保持手段１１の左右両側にガイド部材を配置することになる。
【００３０】
しかも、２つの長孔１１ｂ，１１ｂを上下方向で並ぶように（上下方向で重複するように）並設することによって、例えば２つの長孔１１ｂ，１１ｂを左右方向に間隔を置いて平行に並べて配置する場合に比べて、横側部１１Ｂの左右幅をコンパクトにすることができる。よって、フォトマスクケース２の小型化を図ることができる。尚、左側の上下方向保持手段１１も右側の上下方向保持手段１１と同様な構成であるため、説明は省略する。
【００３１】
従って、上下一対の固定ネジ１１Ｃ，１１Ｃを緩めることによって、上下方向保持手段１１を上下一対の長孔１１ｂ，１１ｂを介して下方へ移動させることによって、フォトマスク１の上端面に当接させる。その後、上下一対の固定ネジ１１Ｃ，１１Ｃを締めることによって、上下方向保持手段１１をその位置で固定することができる。
【００３２】
また、ケース本体３の上端には、フォトマスク１の上端前面に当接する３個の当接部１４Ａ、１４Ｂ，１４Ｃ（真ん中に位置する当接部１４Ｂの左右寸法が他の当接部１４Ａ，１４Ｃの左右寸法よりも長くなっている）を左右方向に間隔を置いて備えている。これら当接部１４Ａ、１４Ｂ，１４Ｃは、同一形状であり、左側の当接部１４Ａについて図１及び図３に基づいて説明する。
【００３３】
前記当接部１４Ａは、平板部４Ａの前面から延びる板部１４Ｉと、この板部１４Ｉの前端に一体化された直方体形状のブロック体１４Ｊとを備えている。そして、ブロック体１４Ｊの前方でかつ下側に上方側へ凹んだ凹部１４ａが形成され、この凹部１４ａを構成する後側の縦壁部１４ｂがフォトマスク１の上端前面に当接する当接面を構成している。
【００３４】
蓋体４について説明すれば、図２に示すように、ケース本体３と同様に、正方形状の平板部４Ａと、この平板部４Ａの外周縁の４辺から前面側（表面側）に垂直に延びる４つの板部４Ｂ，４Ｃ，４Ｄ，４Ｅとを備え、平板部４Ａの前面（表面）に、左右方向に向かって延びる保形用の第１リブ４Ｆ及び上下方向に向かって左右に間隔を置いて平行に延びる一対の保形用の第２リブ４Ｇ，４Ｈを備えている。
【００３５】
また、蓋体４の上端側には、フォトマスク１の上端前面（上端表面）に当接する３個の当接部１５Ａ、１５Ｂ，１５Ｃ（真ん中に位置する当接部１５Ｂの左右寸法が他の当接部１５Ａ，１５Ｃの左右寸法よりも長くなっている）を左右方向に間隔を置いて備えている。これら当接部１５Ａ、１５Ｂ，１５Ｃは、同一形状であり、右側の当接部１５Ｃについて図２及び図３に基づいて説明する。
【００３６】
前記右側の当接部１５Ｃは、平板部４Ａの前面（表面）から延びる上下一対の板部１５Ｉ、１５Ｊと、これら板部１５Ｉ、１５Ｊの前端に一体化された直方体形状のブロック体１５Ｋを備えている。そして、ブロック体１５Ｋの前面がフォトマスク１の上端後面（上端裏面）に当接する当接面を構成している。
【００３７】
また、蓋体４の下端には、フォトマスク１の下端に当接する４個の当接部１６Ａ、１６Ｂ，１７Ａ，１７Ｂを備えている。これら当接部のうち右端に位置する当接部１６Ｂは、図２及び図３に示すように、平板部４Ａの前面（表面）から延びる上下一対の板部１６Ｉ，１６Ｊと、これら板部１６Ｉ，１６Ｊの前端に一体化された直方体形状のブロック体１６Ｋを備えている。
【００３８】
そして、ブロック体１６Ｋの前面がフォトマスク１の下端後面（下端裏面）に当接する当接面を構成し、フォトマスク１の下端裏面がブロック体１６Ｋの前面に当接することによって、フォトマスク１の厚み方向での位置の確定が行えるようになっている。尚、左側の当接部１６Ａも右側の当接部１６Ｂと基本的構成は同一であるため、説明は省略する。また、当接部１７Ａ，１７Ｂにおいても同様に、フォトマスク１の下端の裏面が当接部１７Ａ，１７Ｂの前面に当接することによって、フォトマスク１の厚み方向の位置を確定することができるようになっている。
【００３９】
また、前記蓋体４の板部４Ｂ，４Ｃ，４Ｄ，４Ｅの端面には、図３に示すように、前記ケース本体３の板部３Ｂ，３Ｃ，３Ｄ，３Ｅの端面に備えさせた突出縁３Ｓが入り込んで係合することでケース本体３と蓋体４とを密閉状態にするための係合周溝４Ｓが形成されている。
【００４０】
このように構成されたフォトマスクケース２にフォトマスク１を位置確定した状態で収納する手順を説明する。
まず、フォトマスク１を縦向き（フォトマスク１の厚み方向が水平方向となる姿勢）で収納できるように、図１に示すように、床面にケース本体３の下側の板部３Ｄを当接させて、ケース本体３を縦向き（平板部３Ａの厚み方向が水平方向となる姿勢）に配置する。尚、フォトマスク１をケース本体３内に移動させる際にフォトマスク１の外周縁が当接することがないように、フォトマスク１をケース本体３内に移動させる前に、図１の実線で示すように左右方向保持手段８，８を左右方向外方側の待機位置に位置させるとともに、図１の２点鎖線で示すように上下方向保持手段１１，１１を上方の待機位置に位置させておくことになる。
【００４１】
縦向きにセットされたケース本体３に向けてフォトマスク１を例えばハンドリング装置を用いて移動させる（人為力により移動させてもよい）。そして、図１の２点鎖線で示すように、フォトマスク１を当接部５Ａ、５Ｂ，６Ａ，６Ｂ上にハンドリング装置を用いて載置した状態にする。このとき、フォトマスク１の下端前面が当接部５Ａ、５Ｂ，６Ａ，６Ｂの縦壁部５Ｔ，５Ｔ，６Ｔ，６Ｔに当接し、フォトマスク１の上端前面が当接部１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃの縦壁部１４ｂ，１４ｂ，１４ｂに当接するようにセットする。
【００４２】
次に、一方の上下方向保持手段１１の固定ネジ１１Ｃ，１１Ｃを緩めてから、上下方向保持手段１１を図１の２点鎖線の待機位置から下方へ移動させて、上下方向保持手段１１の当接面１１ａをフォトマスク１の上端面に当接させ、その位置で固定ネジ１１Ｃ，１１Ｃを締めて上下方向保持手段１１を固定する。続いて、他方の上下方向保持手段１１も同様に、その当接面１１ａをフォトマスク１の上端面に当接させ、その位置で固定することによって、フォトマスク１の上下方向での位置の確定が完了する。上下方向保持手段１１の固定ネジ１１Ｃ，１１Ｃが、フォトマスク１の左右両端から外れた位置、つまり左右両端よりも左右方向外方側位置に配置されていることから、作業者は、フォトマスク１の左右両端から外れた位置から上下方向保持手段１１の固定ネジ１１Ｃ，１１Ｃを操作することができる。
【００４３】
次に、一方の左右方向保持手段８の固定ネジ８Ｃ，８Ｃを緩めてから、左右方向保持手段８を図１の実線の待機位置から図の矢印で示す左右方向内方側へ移動させて、左右方向保持手段８の当接面８ａをフォトマスク１の横側端面に当接させ、その位置で固定ネジ８Ｃ，８Ｃを締めて左右方向保持手段８を固定する。続いて、他方の左右方向保持手段８も同様に、その当接面８ａをフォトマスク１の横側端面に当接させ、その位置で固定することによって、フォトマスク１の左右方向での位置の確定が完了する。左右方向保持手段８の固定ネジ８Ｃ，８Ｃが、フォトマスク１の左右両端から外れた位置に配置されていることから、作業者は、フォトマスク１の左右両端から外れた位置から左右方向保持手段８の固定ネジ８Ｃ，８Ｃを操作することができる。
【００４４】
フォトマスク１の上下方向及び左右方向での位置の確定が完了すると、蓋体４を図３に示すように、ケース本体３に向けて移動させる。そして、図４に示すように、ケース本体３の側板部３Ｂ，３Ｃ，３Ｄ，３Ｅの端面に備えさせた突出縁３Ｓに蓋体４の係合周溝４Ｓが係合して、ケース本体３と蓋体４とが密閉状態になるとともに、ケース本体３の上下の当接部１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ、５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂと、蓋体４の上下の当接部１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ、１６Ａ，１６Ｂ，１７Ａ，１７Ｂとでフォトマスク１の上下端を厚み方向で押さえ付けてフォトマスク１の厚み方向での位置の確定が完了する。尚、図示していないが、ケース本体３と蓋体４とが容易に開放しないように固定するためのロック機構などを更に備えていることが好ましい。
【００４５】
尚、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００４６】
例えば、蓋体４の当接部１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃに凹部を形成しないでケース本体側へフォトマスク１を押し付ける上下方向の平面のみを備えたものであってもよい。尚、フォトマスク１の厚み方向で当接する部分にパッキンを備えさせてフォトマスク１と当接する部分に傷が付くことを抑制するようにしてもよい。
【００４７】
また、上記実施形態では、フォトマスク１を下側に載置した状態で上下方向および左右方向での位置の確定を行うようにしたが、例えば図１のフォトマスクケース２を上下が逆になるように配置し、フォトマスク１を上側に位置する当接部５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂに当接させた状態にして上下方向および左右方向での位置の確定を行うようにしてもよい。この場合、フォトマスク１をフォトマスクケース２に収納後に運搬する際には、フォトマスクケース２の上下が逆になるようにフォトマスクケース２を引っくり返してから運搬することが好ましい。つまり、下側に位置する当接部５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂにフォトマスク１の下端が支持された状態でフォトマスクケース２を運搬することが好ましい。
【００４８】
また、上記実施形態では、ケース本体３が箱型で構成することによって、ケース本体３を床面に対して垂直に立てた状態にケース本体３自体で保持することができたが、ケース本体３を板状のものから構成することもできる。この場合、板状のケース本体３を所定姿勢に保持する保持機構を設ける、あるいは固定物に少し斜めに傾けた状態で立てかけて、フォトマスク１を収納するようにしてもよい。
【００４９】
また、上記実施形態では、鉤形状の上下方向保持手段１１から構成したが、一直線状のものから構成してもよい。また、この場合、左右方向に長い上下方向保持手段に構成すれば、１個の上下方向保持手段で構成することもできる。
【００５０】
また、上記実施形態では、左右方向保持手段８及び上下方向保持手段１１を手動により移動させるようにしたが、電動モータなどのアクチュエータを用いて移動させてもよい。この場合には、アクチュエータを操作する操作部をフォトマスクの左右両端から外れた位置に配置すれば、左右方向保持手段８及び上下方向保持手段１１の位置はどのような位置であってもよい。
【００５１】
更に、上記実施形態では、当接部５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂを備えたものから構成したが、当接部５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂを省略し、上下方向保持手段１１をフォトマスクケースの下端の左右両側に配置したものから構成することもできる。この場合、フォトマスクの下端を上下方向保持手段１１，１１で支持することになる。また、フォトマスクの下端を支持する当接部を備えつつ、上下方向保持手段１１をフォトマスクケースの下端の左右両側に配置したものであってもよい。
【符号の説明】
【００５２】
１…フォトマスク、２…フォトマスクケース、３…ケース本体、３Ａ…平板部、３Ｂ，３Ｃ，３Ｄ，３Ｅ…板部、３Ｆ，３Ｇ…リブ、３Ｓ…突出縁、４…蓋体、４Ａ…平板部、４Ｂ，４Ｃ，４Ｄ，４Ｅ…板部、４Ｆ，４Ｇ，４Ｈ…リブ、４Ｓ…係合周溝、５Ａ，５Ｂ…当接部、５Ｉ…板部、５Ｊ…ブロック体、５Ｔ…縦壁部、５ａ…凹部、５ｍ…溝、６Ａ，６Ｂ…当接部、６Ｔ…縦壁部、７ …パッキン、８…左右方向保持手段、８Ａ…位置確定部、８Ｂ…本体部、８Ｃ，８Ｃ…固定ネジ（操作部）、８Ｎ，８Ｎ…長孔、８ａ…当接面、８ｂ，８ｂ…規制部、８ｍ…溝、９…固定部材、９Ｎ…ネジ孔、１１…上下方向保持手段、１１Ａ…当接部、１１Ｂ…横側部、１１Ｃ，１１Ｃ…固定ネジ（操作部）、１１ａ…当接面、１１ｂ，１１ｂ…長孔、１１ｍ，１１ｍ…溝、１２…固定部材、１２Ｎ…ネジ孔、１３…パッキン、１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ…当接部、１４Ｉ…板部、１４Ｊ…ブロック体、１４ａ…凹部、１４ｂ…縦壁部、１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ…当接部、１５Ｉ…板部、１５Ｋ…ブロック体、１６Ａ，１６Ｂ…当接部、１６Ｉ，１６Ｊ…板部、１６Ｋ…ブロック体、１６ｂ…縦壁部、１７Ａ，１７Ｂ…当接部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
収納するフォトマスクの上下方向一方側に当接する当接部と、該フォトマスクの左右方向及び上下方向での位置を確定するための保持手段とを備えたケース本体と、該フォトマスクを厚み方向でケース本体側に押し付けて固定するための蓋体とを備え、
前記保持手段が、前記フォトマスクの左右方向での位置を確定すべく、該フォトマスクの左右両側の上下方向中間部に対応する位置にそれぞれ配置される左右方向保持手段と、前記フォトマスクの上下方向での位置を確定すべく、該フォトマスクの上下方向他方側の左右両側に対応する位置にそれぞれ配置される上下方向保持手段とを備え、前記フォトマスクの左右方向での位置確定を可能にするための左右方向保持手段の操作部及び該フォトマスクの上下方向での位置確定を可能にするための上下方向保持手段の操作部を、前記フォトマスクの左右両端から外れた位置に対応する位置に配置したことを特徴とするフォトマスクケース。
【請求項２】
前記当接部が、前記ケース本体の下方側に配置され、前記上下方向保持手段が、前記フォトマスクの上端の左右両側のコーナー部に配置され、かつ、該フォトマスクのコーナー部の上端から横側に沿って折れ曲がった鉤型形状に構成され、該フォトマスクのコーナー部の横側に配置された上下方向保持手段の横側部に、該上下方向保持手段の操作部を備えたことを特徴とする請求項１記載のフォトマスクケース。
【請求項３】
前記上下方向保持手段の横側部に、上下方向に沿う長孔を形成し、該長孔を貫通すると共に前記ケース本体側に備えたネジ孔に螺合することにより該横側部を該ケース本体に固定するための固定ネジから該上下方向保持手段の操作部を構成したことを特徴とする請求項２記載のフォトマスクケース。
【請求項４】
前記長孔が、複数個備えられ、それら複数の長孔が上下方向で並ぶように並設されていることを特徴とする請求項３記載のフォトマスクケース。
【請求項１】
収納するフォトマスクの上下方向一方側に当接する当接部と、該フォトマスクの左右方向及び上下方向での位置を確定するための保持手段とを備えたケース本体と、該フォトマスクを厚み方向でケース本体側に押し付けて固定するための蓋体とを備え、
前記保持手段が、前記フォトマスクの左右方向での位置を確定すべく、該フォトマスクの左右両側の上下方向中間部に対応する位置にそれぞれ配置される左右方向保持手段と、前記フォトマスクの上下方向での位置を確定すべく、該フォトマスクの上下方向他方側の左右両側に対応する位置にそれぞれ配置される上下方向保持手段とを備え、前記フォトマスクの左右方向での位置確定を可能にするための左右方向保持手段の操作部及び該フォトマスクの上下方向での位置確定を可能にするための上下方向保持手段の操作部を、前記フォトマスクの左右両端から外れた位置に対応する位置に配置したことを特徴とするフォトマスクケース。
【請求項２】
前記当接部が、前記ケース本体の下方側に配置され、前記上下方向保持手段が、前記フォトマスクの上端の左右両側のコーナー部に配置され、かつ、該フォトマスクのコーナー部の上端から横側に沿って折れ曲がった鉤型形状に構成され、該フォトマスクのコーナー部の横側に配置された上下方向保持手段の横側部に、該上下方向保持手段の操作部を備えたことを特徴とする請求項１記載のフォトマスクケース。
【請求項３】
前記上下方向保持手段の横側部に、上下方向に沿う長孔を形成し、該長孔を貫通すると共に前記ケース本体側に備えたネジ孔に螺合することにより該横側部を該ケース本体に固定するための固定ネジから該上下方向保持手段の操作部を構成したことを特徴とする請求項２記載のフォトマスクケース。
【請求項４】
前記長孔が、複数個備えられ、それら複数の長孔が上下方向で並ぶように並設されていることを特徴とする請求項３記載のフォトマスクケース。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１０−１９１１４９（Ｐ２０１０−１９１１４９Ａ）
【公開日】平成２２年９月２日（２０１０．９．２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−３４９７８（Ｐ２００９−３４９７８）
【出願日】平成２１年２月１８日（２００９．２．１８）
【出願人】（３０２００３２４４）株式会社エスケーエレクトロニクス (31)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年９月２日（２０１０．９．２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年２月１８日（２００９．２．１８）
【出願人】（３０２００３２４４）株式会社エスケーエレクトロニクス (31)
【Ｆターム（参考）】
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