住友重機械工業株式会社により出願された特許

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【課題】薄膜形成装置のコスト削減のために、アライメント用のカメラの台数を削減することが望まれる。
【解決手段】 撮像装置が、ステージに保持された対象物の表面を撮像する。ノズルユニットが、対象物の表面に、液状材料を吐出する。移動機構が、ステージを面内方向に移動させる。制御装置が移動機構を制御する。制御装置は、移動機構及び撮像装置を制御して、対象物に形成されているアライメントマークの縁のうち、少なくとも2つの部分を撮像する。撮像された少なくとも2つの部分の画像データに基づいて、ステージ上におけるアライメントマークの位置を決定する。その後、ステージ上におけるアライメントマークの位置を基準位置として、移動機構を制御しながら、対象物に向けて前記ノズルから液状材料を吐出させることにより、対象物の表面に、液状材料からなる薄膜パターンを形成する。 (もっと読む)


【課題】製造が容易で且つ必要数のピン状部材を確保することのできる遊星歯車装置を得る。
【解決手段】外歯歯車(遊星歯車)22、24の軸方向両側に一対の第1、第2フランジ体32、34が配置され、該第1、第2フランジ体32、34間に(ピン状部材である)複数の内ピン28およびキャリヤピン30が配置される遊星歯車装置G1であって、内ピン28が、第1フランジ体32から一体的に突出形成されるとともに、キャリヤピン30が第2フランジ体34から一体的に突出形成され、それぞれのフランジ体32、34の内ピン28およびキャリヤピン30の円周方向の位相をずらして第1、第2フランジ体32、34が連結されている。 (もっと読む)


【課題】外歯歯車若しくは内歯歯車の摩耗によるバックラッシの増加を抑制する。
【解決手段】起振体104と、外歯歯車120と、内歯歯車130と、を備えた撓み噛合い式歯車装置100において、外歯歯車120と内歯歯車130の2つの噛合い部129A、129Bは、第1領域Fpと第1領域Fpよりも軸方向O内側に位置する第2領域Spとを有し、且つ第1領域Fpにおいて、外歯歯車120の径方向R内側に隙間Gpが設けられ、外歯歯車120は、組立て前の状態において、第1領域Fpに対応する部分の歯先径が第2領域Spに対応する部分の歯先径より大きく、且つ歯先径の軸方向Oにおける変化率が第1領域Fpと第2領域Spとで異なる。 (もっと読む)


【課題】コンテナに対する吸着層ブロックの出し入れを容易に行える吸着層ブロックの搬送方法、吸着層ブロック搬送用コンテナ、及び吸着層ブロックを提供すること。
【解決手段】排ガス処理用の吸着材を収容する吸着塔の形成に用いられる吸着層ブロック1を水平方向に出し入れ可能に収容するコンテナ2の底部内面に、吸着層ブロック1の下端部を摺動可能とする摺動板23を設け、当該摺動板23に吸着層ブロック1を摺動させながら水平方向に出し入れを行い、吸着層ブロック1とコンテナ2との間の摩擦を低減した状態で、コンテナ2に対する吸着層ブロック1の出し入れを容易に行う。 (もっと読む)


【課題】発酵槽上部からの汚泥の流出を十分に抑制することができるメタン発酵装置を提供する。
【解決手段】メタン発酵装置は、グラニュール状の微生物汚泥を収容した発酵槽2を備え、発酵槽2内の下部に被処理水を導入し、上方に流動させることで汚泥に向流接触させ、被処理水中の有機物を分解しメタンを含むバイオガスを発生させ、発酵槽2の上部から処理水及びバイオガスを排出する。発酵槽2内には、バイオガス、汚泥及び被処理水を互いに分離する気固液分離部7と、発酵槽2から排出されたバイオガスを還流させ、気固液分離部7よりも上で被処理水に吹き込むガス吹込部9と、が設けられている。気固液分離部7の分離作用と、ガス吹込部9から吹き込まれたバイオガスの撹拌作用とにより、汚泥の沈降が十分に促進されるため、発酵槽2上部からの汚泥の流出を十分に抑制することができる。 (もっと読む)


【課題】放射線検出から得られる画像を高精度かつ簡易に取得する。
【解決手段】測定対象より放出された放射線を検出して、該放射線の検出結果に基づく測定データにより、前記測定対象に関する画像を生成する放射線検出装置において、前記測定対象から放出された放射線を半導体検出器により検出する放射線検出手段と、前記放射線測定手段により得られる測定データから画像の再構成を行う画像再構成手段と、前記画像再構成手段により所定時間毎に得られる画像を用いて測定対象の位置ずれを判定する位置ずれ判定手段と、前記位置ずれ判定手段により位置ずれがあると判定された画像を除去する補正処理手段と、前記補正処理手段により得られる画像を用いて画像の積算処理を行う積算処理手段とを有することにより、上記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、高精度な64Cuの分離精製を行うことができる64Cuの分離精製方法及び64Cuの分離精製装置を提供する。
【解決手段】本発明は、混在するNi及び64Cuの中から64Cuを分離精製する64Cuの分離精製方法であって、Ni及び64Cuを溶液で溶解する溶解工程と、溶解したNi及び64Cuを通すことで、64Cuを第1の陰イオン交換手段に吸着させる第1の吸着工程と、第1の陰イオン交換手段に吸着した64Cuを当該溶液に溶出させ、64Cuを含む溶液を回収する第1の回収工程と、64Cuを含む溶液の濃度をニッケル溶出用濃度に調整する濃度調整工程と、調整した溶液を通すことで第2の陰イオン交換手段に64Cuを吸着させる第2の吸着工程と、第2の陰イオン交換手段から64Cuを含む溶液を回収する第2の回収工程と、を有する。 (もっと読む)


【課題】電源電圧を安定化して、高周波駆動に対応可能な電力変換装置を提供する。
【解決手段】複数のハイサイドトランジスタユニットmhは、各相ごとに設けられ、対応する相の出力端子OUTと上側電源ラインLPの間に、電気的に並列に、かつ制御端子が独立して設けられる。複数のハイサイドゲートドライブ回路10H_U1〜U3は、対応する複数のハイサイドトランジスタユニットmhu1〜3にゲートドライブ信号を出力する。複数のハイサイド電源回路14H_U1〜U3は、対応するハイサイドゲートドライブ回路10H_U1〜U3に電源電圧VDDH_U1〜U3を供給する。下側アームについても同様に、複数のローサイドトランジスタユニットに分割される。 (もっと読む)


【課題】 過剰なエネルギ投入を必要とせず、低コストで金属酸化物を製造する方法を提供する。
【解決手段】 車両に搭載されて放電された金属空気電池を、車両から取り外す。その後、取り外された金属空気電池の負極活物質が放電により酸化されて生成された金属酸化物を、金属空気電池から取り出す。 (もっと読む)


【課題】 ソルダーレジスト等の液状材料によってノズル詰まり等の不良が発生すると、装置の稼働率が低下する。
【解決手段】 基板に液状材料を吐出させる複数のノズルが設けられたノズルユニットが、基板に対向している。移動機構が、ノズルユニットに対し、基板を面内方向に移動させる。撮像装置が、基板に塗布された液状材料により形成されたパターンを検出する。制御装置が、ノズルユニットに対して基板を移動させながら、基板にノズルユニットから液状材料を吐出させ、基板に付着した液状材料によって検査パターンを形成する。撮像装置で撮像された検査パターンの画像データを取得する。この画像データを解析することによって、ノズルヘッドのノズルの良否を判定する。不良と判定されたノズルからは液状材料を吐出させない制御を行い、良と判定されたノズルから液状材料を吐出させることにより、基板に薄膜パターンを形成する。 (もっと読む)


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