【課題】高アスペクトの深溝パターンに存在する欠陥を高い精度で検出できる欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】実施形態の欠陥検査装置は、照射手段と、加震手段と、検出手段と、判定手段とを持つ。前記照射手段は、複数のパターンが形成された基体に光を照射する。前記加振手段は、欠陥が存在しない場合の前記パターンの固有振動数で前記基体を振動させる。前記検出手段は、振動させられている前記基体から発生する光を検出する。前記判定手段は、前記検出手段からの信号を処理して前記散乱光による前記基体の画像を生成し、前記複数のパターンのそれぞれの間で揺れ方の相違があるかどうかを検査し、検査結果から欠陥の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子に対して良好な密着性を有する親水性層を含んだ水分センサ、及び当該センサを含んだ容器を提供する。
【解決手段】実施形態に係る水分センサは、圧電振動子１と、圧電振動子１に接合した一対の電極と、圧電振動子１と共有結合によって結合した珪素原子と、珪素原子と結合した親水性部分とを含む親水性層２とを具備する。 （もっと読む）

【課題】流路を構成する部材間の密閉性を高め、ハロゲン系ガスに対しても使用可能な耐腐食性を有するＭＥＭＳ型流量センサを提供する。
【解決手段】実施形態によれば、流量センサ１０は、基材１１の表面と流路構成基材２１の裏面とが対向するように貼り合わせて、固定部材によって固定される。基材１１は、表面上の流路形成領域に、一対の感熱膜１２と、一対の感熱膜間の中間に位置するヒータ膜１３と、流路保護膜１５と、を有し、流路形成領域以外の領域上に、耐腐食性を有する金属保護膜を有する。流路構成基材２１の裏面の流路形成領域に形成される溝と、流路形成領域以外の他の領域と溝とを区切り、他の領域に比して突出する側壁構成部と、を有し、耐腐食性を有する材料によって構成される。流路構成基材２１の側壁構成部は、基材１１の金属保護膜上に位置するように圧着される。 （もっと読む）

【課題】ＳＮ比の高い欠陥検出を行うことができる欠陥検査装置を提供することである。
【解決手段】実施形態に係る欠陥検査装置は、被検査体上の画像を検出する検出部と、前記検出部からの出力に基づいて、欠陥部分の断面プロファイルを演算する特徴量演算部と、前記演算された断面プロファイルを再サンプリングして再構成する再サンプリング部と、前記再構成された断面プロファイルと、テンプレート画像とのパターンマッチングを行う積和演算部と、前記パターンマッチングの結果を閾値を用いて判定する判定部と、を備えている。そして、前記再サンプリング部は、前記演算された断面プロファイルにおける重心を求め、求められた重心を中心画素として前記断面プロファイルを再サンプリングして再構成する。 （もっと読む）

【課題】微細な欠陥の検出を容易に行うことができるパターン検査装置、およびパターン検査方法を提供することである。
【解決手段】実施形態に係るパターン検査装置は、被検査体に向けて光を出射する光源と、前記被検査体からの光を検出する検出部と、前記検出部からの出力に基づいてパターン検査を行う検査部と、を備えている。そして、前記光源は、前記光の波長を変化させる。また、前記検査部は、前記検出部からの出力に基づいて回折像を作成し、最も鮮明な回折像に関する光の波長と、対比する回折像に関する光の波長と、を比較することで、前記パターン検査を行う。 （もっと読む）

【課題】アンテナに供給する高周波信号が減衰せず、かつ高周波信号のリークも生じることがないこと。
【解決手段】レーダ装置は、対象物を検出するための各ビームをそれぞれ送信する複数のアンテナと、複数のアンテナから各ビームを送信するための複数のモードの高周波信号を切り替えて発振する発振器と、発振器により発振された各モードの高周波信号をそれぞれ増幅して対応する複数のアンテナにそれぞれ供給する複数の増幅器と、複数の増幅器の各入力側にそれぞれ接続された複数の可変減衰器と、発振器により発振される各モードに応じて複数の増幅器の動作をそれぞれオン又はオフに切り替えると共に、複数の可変減衰器の減衰量をそれぞれ制御する切替制御回路とを具備する。 （もっと読む）

【課題】生成された光の強度安定性を高める。
【解決手段】音響光学素子は、音響光学媒体と、圧電変換素子と、を具備する。音響光学媒体は６面体の形状を有する。また圧電変換素子は、音響光学媒体の面Ｃに設置される。さらに、面Ｃに対向する面Ｄの４辺のそれぞれを共有する面Ｅ、面Ｆ、面Ｇ、及び面Ｈと面Ｄとの成す４つの角度のそれぞれが非直交であり、面Ｃ、面Ｅ、面Ｆ、面Ｇ、及び面Ｈのうちの共有する辺を介して２つの面が成す８つの角度のうちの少なくとも１つが非直交であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】音声認識の精度を向上させる。
【解決手段】音声認識装置は、番組情報記憶部と、辞書記憶部と、算出部と、更新部と、認識部と、操作制御部とを備える。番組情報記憶部は、放送番組のメタデータとユーザの視聴状態とを記憶する。辞書記憶部は、音声認識の対象となる認識語と優先度とを含む認識辞書を記憶する。算出部は、メタデータと視聴状態とに基づいて、放送番組の特徴語と特徴語に対するユーザの嗜好の度合いを表す第１スコアとを算出する。更新部は、特徴語を含む認識語の優先度を第１スコアに応じて更新する。認識部は、認識辞書を用いて音声を認識する。操作制御部は、認識結果に基づいて放送番組に対する操作を制御する。 （もっと読む）

【課題】表示パネルとレンチキュラレンズとの距離を高精度に制御するとともに、高い接着性を確保できる三次元画像表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】実施形態の三次元画像表示装置の製造方法は、レンチキュラレンズを有するレンズ板、及び画像を表示する表示パネルの少なくともどちらか一方に、前記レンズ板と前記表示パネルが貼り合わせられた状態で隙間を形成するように、不連続部分を有する枠形状に接着部材を供給する工程と、前記レンズ板と前記表示パネルとを、前記表示パネルに前記レンチキュラレンズを向けて、前記接着部材を介して貼り合わせる工程と、減圧雰囲気下において、前記レンズ板と前記表示パネルとを貼り合わせた状態で、前記隙間に接着剤を供給し、前記隙間を封止する工程と、を有し、前記封止する工程の後に、前記減圧雰囲気の圧力を上昇させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ブロックポリマーを所望の位置に所望の配向でミクロ相分離させるパターン形成方法を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、第１の表面エネルギーを有しシリコン化合物を含む層の上に、第１の表面エネルギーとは異なる第２の表面エネルギーを有するパターンを形成する工程と、層および第２の表面エネルギーを有するパターンの上に、ブロックポリマーを形成する工程と、ブロックポリマーをミクロ相分離させて、配列した複数のポリマーを含むラメラ構造またはシリンダー構造のいずれかのパターンを形成する工程と、を含む。層上で、ラメラ構造は、層の層面に対して垂直に配向し、シリンダー構造は、層の層面の垂線に平行な軸を有するように配向する。第２の表面エネルギーは、ブロックポリマーを構成する複数のポリマーのそれぞれの表面エネルギーのうちの最大値以上、または、最小値以下である。 （もっと読む）