【課題】流路が直角に曲がる角部分を無くし、角部分により生じる被計測流体の流れの乱れ、せん断層や圧力境界面の発生を低減し、しかも、流路の製造を簡便とするとともに流量計測時に被計測流体が接触する部材数を極力減らした超音波流量計を提供する。
【解決手段】フッ素樹脂からなる単一の管部材Ｐを曲げ加工して、順次、上流直管部１２、第１曲管部１３、中央直管部１４、第２曲管部１５及び下流直管部１６からなる流路部１１を形成するとともに、第１曲管部及び第２曲管部の外周側に中央直管部の管方向に対向するように第１超音波送受信部４１及び第２超音波送受信部４２をそれぞれ配置するとともに、第１超音波送受信部を収容する第１収容部３１及び第２超音波送受信部を収容する第２収容部３２を合成樹脂のインサート成形により流路部に一体に結合する。 （もっと読む）

【課題】より大きいレンジアビリティで高い測定精度を維持するとともに、二次側の流体圧力が負圧となった場合でも正確に流量を測定することができる流量測定装置を提供する。
【解決手段】流体の供給ラインＬに配される流量測定装置１０であって、前記供給ラインＬを流通する流体の流量を測定する差圧式流量センサー２０と、前記差圧式流量センサー２０の二次側に配置され、弁室５２内に弁座５５に対して進退する弁体６０を有し、前記差圧式流量センサー２０の二次側流体の圧力変動に対応して前記弁体６０が前記弁座５２に対して進退して一次側流体を所定の圧力に維持することにより前記差圧式流量センサー２０の二次側流体の圧力を一定に保持する圧力制御弁部５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】複数の流体を択一的に選択切換して供給する際に、簡易な構成で連続して流体を供給することができる流体の切換制御方法及び切換制御装置を提供する。
【解決手段】複数の流体を切換手段によって択一的に選択切換して流体使用部１２に所定の流量を供給する方法において、複数の流体のうち選択切換されて使用部１２に流通している流体の流量を測定して圧力調整手段９０による制御信号を当該流体の圧力制御弁部２０（２０ｘ，２０ｙ，２０ｚ）に送り所定の流量の制御をなすとともに、複数の流体のうち選択切換されず使用部１２に流通していない他の流体の圧力制御弁部に対しても圧力調整手段９０による制御信号を送り、選択切換時に即時に所定の流量を確保できる待機状態となるようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ブロック間を強固かつ安定に固定し、高温流体の影響を受けた温度変化に伴うブロックの変形を極力回避可能とするボディ本体におけるブロック間固定構造を提供する。
【解決手段】第１ブロック１０と中間ブロック３０を固定する第１固定部材７０と、第２ブロック２０と中間ブロックを固定する第２固定部材８０と、第１ブロックに第１補強部材１１０と、中間ブロックに第２補強部材１２０及び第３補強部材１３０と、第２ブロックに第４補強部材１４０を備え、第２補強部材を第１当接面３１に配置し第１折り曲げ部１０１を介して中間ブロックに、第３補強部材を第２当接面３２に配置し第２折り曲げ部１０２を介して中間ブロックと係合させ、第１固定部材が第１補強部材の貫通孔を貫通し第２補強部材の貫通孔と固定し、第２固定部材が第４補強部材の貫通孔を貫通し第３補強部材の貫通孔と固定して、各ブロックを一体に固定しボディ本体１Ａを構成する。 （もっと読む）

【課題】溶着部材を直接加熱することなくボディ本体と流体接触部材とをより確実に溶接することができる流体接触部材の溶接方法及び溶接構造を提供する。
【解決手段】ボディ本体１１の所定位置に全周に亘って形成された第一突条部１５と流体接触部材４０，４５の外周縁部に全周に亘って形成された第二突条部４１，４６とによって溶接溝部５０，５５を形成し、溶接溝部５０，５５内に溶融性を有する溶着部材６０，６５を介在させ、第一突条部１５の外周側と第二突条部４１，４６の内周側のいずれか一方または双方から第一突条部１５と第二突条部４１，４６のいずれか一方または双方を押圧して該第一突条部１５と第二突条部４１，４６のいずれか一方または双方を溶接溝部５０，５５側に変形させるとともに、第一突条部１５及び第二突条部４１，４６を介して間接的に加熱して溶着部材６０，６５を溶解させて溶接することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】各ブロック間を強固かつ安定に固定して、流通する流体の温度変化に伴うブロックの変形を極力回避可能とするボディ本体におけるブロック間固定構造を提供する。
【解決手段】第１ブロック１０と中間ブロック３０を固定する第１固定部材９１、第２ブロック２０と中間ブロック３０を固定する第２固定部材９２、第１固定部材及び第２固定部材が貫通する貫通孔７１を設けた第１補強部材７０、第１固定部材及び第２固定部材が貫通する貫通孔８１を設けた第２補強部材８０を備え、第１補強部材の貫通孔と第２補強部材の貫通孔同士を同一直線上に揃えると共に、第１固定部材が第１補強部材の貫通孔を貫通し第２補強部材の貫通孔と固定して第１ブロックと中間ブロックを接続し、第２固定部材が第２補強部材の貫通孔を貫通し第１補強部材の貫通孔と固定して第２ブロックと前記中間ブロックを接続して、ボディ本体１Ａを構成する。 （もっと読む）

【課題】比較的簡便な構成としながら、被圧送流体の脈動の低減を図ると共に流体の流通流量の増大を可能とする流体供給装置を提供する。
【解決手段】流体貯留部１１から所定の流体使用部１２に対して流体を流通する供給ラインＬに配する流体供給装置１０であって、少なくとも２以上のｎ個からなるダイヤフラムポンプ２０Ａ，２０Ｂを備える駆動部１５と、駆動部の各ダイヤフラムポンプへ流出入する作動流体の切り換えを外部から行う切換手段４０と、切換手段の切り換え動作を制御する制御手段５０とを有し、制御手段は、駆動部における一のダイヤフラムポンプの駆動信号の周期に対し他のダイヤフラムポンプの駆動信号の周期を所定間隔ずつずらした駆動信号の周期を生成して、前記切換手段を制御する。 （もっと読む）

【課題】流量制御装置の二次側流体の圧力変動が発生した場合であっても流体流量の安定化を高精度で実現することができる流量制御装置及びその方法を提供する。
【解決手段】流体供給部１１から所定の流体使用部１５に対して流通する流体の供給ラインＬに配される流量制御装置１０であって、流体供給部側に配置される第１圧力制御弁部２０と、第１圧力制御弁部と圧力損失部４０を介して流体使用部側に配置される第２圧力制御弁部６０とを含み、第１圧力制御弁部は、一次側流体の圧力変動に対して第１弁室２２内に配置された第１弁部３０が第１弁座２５に対して進退して二次側流体を所定の圧力に維持する第１圧力制御機構Ｃ１を備えており、第２圧力制御弁部は、二次側流体の圧力変動に対して第２弁室６２内に配置された第２弁部７０が第２弁座６５に対して進退して一次側流体を所定の圧力に維持する第２圧力制御機構Ｃ２を備えている。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムの特性を妨げることなく簡易な構成によってダイヤフラムの膜部の絶縁破壊を防止することができる新規な流体機器を提供する。
【解決手段】ボディ本体１１内に形成された流体を流通させるための流体流路２０と、該流体流路２０内に配置された少なくとも一以上のダイヤフラム４０，５０とを備えた流体機器１０において、前記ダイヤフラム４０，５０の膜部４１，５１近傍に耐蝕性を有する導電性部材４５，５５が前記流体流路２０側に貫通して設置され、前記ボディ本体１１には前記導電性部材４５，５５をアースするアース手段が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムを複数枚有する制御弁において、腐蝕性かつ高清浄度が要求される流体の流通に対応可能とし制振機能を有する流量制御弁を提供する。
【解決手段】流入部１２側に配された第一ダイヤフラム５０と、流出部１５側に配された第二ダイヤフラム６０とを有し、各ダイヤフラムは、その外周部がボディ本体に固定されてチャンバ２０内に取り付けられ、チャンバを第１ダイヤフラム外側の第一外室２１、第一ダイヤフラム及び第二ダイヤフラムに囲まれ流入部及び弁座１６並びに流出部を有する弁室２５、第二ダイヤフラム外側の第二外室３０に区分し、少なくとも第一又は第二外室のいずれかに加圧手段Ｍを備える制御弁において、第一外室内又は第二外室内のボディ本体１１に弁機構体の進退方向と同一方向に穿設した摺動孔８０を形成し、弁機構体に摺動孔の内面８１と空隙部８５を介して圧接摺動するゴム弾性体よりなる制振部材９０を設ける。 （もっと読む）