【課題】特に半導体製造等に使用される流量調節弁に関し、ダイヤフラムの膜部の応力を小さくしてヒステリシスエラーを低減させることにより、弁部の開閉時における作動の再現性を実現し、制御の応答性や安定性を向上させることができる空圧式流量調節弁を提供する。
【解決手段】弁座２５をシールする弁部３５と第１開口側２１に配された第１ダイヤフラム４０と第２開口側２２に配された第２ダイヤフラム５０とを一体に有する弁機構体３０が配置され、第１，第２ダイヤフラム４０，５０を加圧手段６０，７０によって弁室２０方向に加圧して流量を制御するようにした弁において、第１，第２ダイヤフラム４０，５０の外周をサポートリング４５，５５によって挟持して、第１，第２ダイヤフラム４０，５０のダイヤフラム部の膜部最大径Ｌ１，Ｌ２と膜部最小径Ｓ１，Ｓ２を２分した位置での中間直径距離Ｍ１，Ｍ２をオリフィス径Ｏの約０．５〜２倍の範囲内とした。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムを複数枚有する制御弁において、腐蝕性かつ高清浄度が要求される流体の流通に対応可能とし制振機能を有する流量制御弁を提供する。
【解決手段】流入部１２側に配された第一ダイヤフラム５０と、流出部１５側に配された第二ダイヤフラム６０とを有し、各ダイヤフラムは、その外周部がボディ本体に固定されてチャンバ２０内に取り付けられ、チャンバを第１ダイヤフラム外側の第一外室２１、第一ダイヤフラム及び第二ダイヤフラムに囲まれ流入部及び弁座１６並びに流出部を有する弁室２５、第二ダイヤフラム外側の第二外室３０に区分し、少なくとも第一又は第二外室のいずれかに加圧手段Ｍを備える制御弁において、第一外室内又は第二外室内のボディ本体１１に弁機構体の進退方向と同一方向に穿設した摺動孔８０を形成し、弁機構体に摺動孔の内面８１と空隙部８５を介して圧接摺動するゴム弾性体よりなる制振部材９０を設ける。 （もっと読む）

【課題】より簡易な構成によって一次側あるいは二次側の圧力変動による弁部の開度の変化を抑制して、前記弁部の開度を適正に制御することができる新規な比例電磁弁を提供する。
【解決手段】第１ダイヤフラム５０と第２ダイヤフラム６０とを一体に有する弁機構体３０が配置され、第１及び第２ダイヤフラム５０，６０を加圧手段７０，８０によってそれぞれ弁室２０方向に所定圧力で加圧して弁室２０内を流通する流体の流量を制御するようにした弁において、加圧手段７０，８０のいずれか一方をスプリングとし、他方を入力信号に比例して作動する駆動部材とし、第１及び第２ダイヤフラム５０，６０におけるそれぞれのダイヤフラム部の膜部最大径（Ｌ１，Ｌ２）と膜部最小径（Ｓ１，Ｓ２）を２分した位置での中間直径距離（Ｍ１，Ｍ２）を、前記弁室のオリフィス径（Ｏ）の約０．５〜２倍の範囲内とした。 （もっと読む）

【課題】弁体をより円滑に作動させることができるとともに、液体の吸引吐出を安定して行うことができる液体用ノズルチップを提供する。
【解決手段】液体連通部１６を有する接続部１５を備え、先端部１２に開口部１３が形成されるとともに内部に弁座１４が形成された筒状のチップ本体１１と、チップ本体１１内に配置され、開口部１３より突出するように形成された先端小径部２１と弁座１４を開閉するシール部２２とを有する弁体２０と、チップ本体１１内に配置された弁体２０を常時前方に付勢保持してシール部２２によって弁座１４を閉鎖するとともに、先端小径部２１が後退することによって弁座１４を開放するように構成された板バネ部材３０と、チップ本体１１の先端部１２に突設され、弁体２０の先端小径部２１と摺接して先端小径部２１が直動するように形成されたセンター保持部材４０とを有する。 （もっと読む）