【課題】脈理除去のための熱処理をすることなしに、比較的大口径な石英ガラス成型体であっても、脈理の影響を排除して光学用途に適した光学特性を有する石英ガラス成型体を提供できる方法を提供する。
【解決手段】直接法により合成した石英ガラスインゴットをインゴットの成長方向と同一の方向から加圧して、板状成型体を得る工程、得られた板状成型体の加圧により形成された一方または両方の面(以下、加圧形成面という)を、前記加圧形成面の垂直方向からの目視観察において脈理が観察されなくなるまで削除して、石英ガラス成型体を得る工程を含む、光学用石英ガラス成型体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】紫外線、可視光線、赤外線を利用する各種光学材料、半導体製造用部材、液晶製造用部材、ＭＥＭＳ製造用部材、液晶用ガラス基板に好適に利用可能な熔融石英ガラスの安価な提供。
【解決手段】ＯＨ含有量が５ｐｐｍ以下、Ｌｉ，Ｎａ，Ｋ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｃｕの含有量が各々０．１ｐｐｍ未満、かつＬｉとＮａの含有量が総量で０．０５ｐｐｍ以下、波長２４５ｎｍの紫外光に対する厚さ１０ｍｍでの内部透過率が９５％以上であり、好ましくはＡｌを重量比で３ｐｐｍ以下含有し、１２１５℃における粘性率が１０^１２．０Ｐａ・ｓ以上であり、１０５０℃、大気中でのＣｕイオンの熱拡散において、表面から２０〜１００μｍの深さにおけるＣｕイオンの拡散係数が１×１０^−１０ｃｍ^２／ｓｅｃ以下となる熔融石英ガラスであり、このような熔融石英ガラスは、原料シリカ粉を予めクリストバライト化した後、非還元性雰囲気中で熔融することにより得ることができる。 （もっと読む）

【課題】各種光学材料、半導体製造用部材、液晶製造用部材に利用可能な、紫外線、可視光線、赤外線の透過率が高く、高純度で耐熱性の高く、Ｃｕイオンの拡散速度の遅い石英ガラスを安価に提供する。
【解決手段】１０５０℃、大気圧下で４時間、酸化銅蒸気に曝露させた時に、曝露表面から５ｍｍの深さにおけるＣｕの濃度が０．０１ｐｐｍ以下であり、ＬｉとＮａの含有量を総量で０．２ｐｐｍ以下、Ｋ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｃｕの含有量を各々０．１ｐｐｍ未満の石英ガラス。また、波長２４５ｎｍの紫外光に対する厚さ１０ｍｍでの内部透過率が９５％以上であり、１２１５℃における粘性率が１０^１１．５Ｐａ・ｓ以上であり、さらにＡｌを重量比で３ｐｐｍ以下含有することにより、粘性率が１０^１２．０Ｐａ・ｓ以上である。このような石英ガラスは、原料シリカ粉を予めクリストバライト化した後、非還元性雰囲気中で熔融することにより得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 プラズマ・エッチンを利用する半導体製造用部材、液晶製造用部材、ＭＥＭＳ製造用部材に好適に利用可能な低発塵性の熔融石英ガラスを安価に提供する。
【解決手段】 異物欠陥部の局部濃度においてハロゲン化物ガスに耐食性を有する元素の占める割合が０．４重量％未満、好ましくは異物欠陥部におけるＺｒとＡｌの濃度が共に０．１重量％未満であることを特徴とする、天然シリカを原料に用いてなる低発塵性に優れた熔融石英ガラスであり、このような熔融石英ガラスは、熔融石英ガラス製造時に熔湯を流動させ、熔湯内部に剪断応力を発生させることにより製造することができる。また、このような熔融石英ガラスは、シュリーレン法で観察される微小異物欠陥部が１．３ｍｍ以上の長さを有するものである。 （もっと読む）

【課題】 紫外線、可視光線、赤外線を利用する各種光学材料、半導体製造用部材、液晶製造用部材、ＭＥＭＳ製造用部材、液晶用ガラス基板に好適に利用可能な、紫外線、可視光線、赤外線の透過率が高く、高純度で耐熱性の高く、Ｃｕイオンの拡散速度の遅い熔融石英ガラスを安価に提供する。
【解決手段】 波長２４５ｎｍの紫外光に対する厚さ１０ｍｍでの内部透過率が９５％以上であり、かつＯＨ含有量が５ｐｐｍ以下、Ｌｉ，Ｎａ，Ｋ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｃｕの含有量が各々０．１ｐｐｍ未満であり、好ましくはＡｌを重量比で２ｐｐｍ以下含有し、１２１５℃における粘性率が１０^１２．０Ｐａ・ｓ以上であり、１０５０℃、大気中でのＣｕイオンの熱拡散において、表面から２０〜１００μｍの深さにおけるＣｕイオンの拡散係数が１×１０^−１０ｃｍ^２／ｓｅｃ以下となる熔融石英ガラスであり、このような熔融石英ガラスは、原料シリカ粉を予めクリストバライト化した後、非還元性雰囲気中で熔融することにより得ることができる。 （もっと読む）

【課題】シリカガラス中にドーパント元素が均一に存在し、均質性に優れたドープトシリカガラスを効率よく製造する方法を提供する。
【解決手段】シリカ中にドーパント元素を含有させたシリカガラス前駆体に電磁波を照射することにより、前記シリカガラス前駆体を加熱してガラス化することによりドープトシリカガラスを製造する。このドープトシリカガラスは、粒子径が１μｍ以上のドーパント元素の凝集粒子を含有しない。 （もっと読む）

【課題】紫外光の透過性に優れ、かつ紫外線照射によって蛍光を示さない、気泡が極めて少ない高純度石英ガラスの製造方法の提供。
【解決手段】
非晶質シリカ粉末を酸水素炎内で加熱溶融し、炉内に堆積させることを含む石英ガラスの製造方法。非晶質シリカ粉末は、Ｔｉ、Ｎａ、Ｋ、及びＬｉの含有量が各々独立して０．５ｐｐｍ以下であり、炉を構成し、堆積する石英ガラスと接触する耐火レンガは、Ｔｉ、Ｎａ、Ｋ、及びＬｉの含有量が各々独立して0.5ｗｔ％以下であり、石英ガラスは、Ｔｉ、Ｎａ、Ｋ、及びＬｉの含有量が各々独立して０．５ｐｐｍ以下である。 （もっと読む）