【課題】加工条件の設定が不適切な場合でも、継続的に研削作業を行えるようにする。
【解決手段】砥石２４を回転駆動し、砥石２４をワーク１に対して切込み送りすると共に砥石駆動モータ２６の研削電力を電力検出回路３２により検出し、この検出電力が予め設定された電力値であって非常停止電力値Ｐｍよりも低い送り停止電力値Ｐ１に達すると、砥石２４を回転駆動させた状態で切込み送りのみを停止させ、その後に検出電力値が予め設定された電力値であって送り停止電力値Ｐ１よりも低い送り再開電力値Ｐ２まで低下すると、砥石２４の切込み送りを再開させるように、ＮＣ装置３５により砥石２４の切込み送り動作を制御するようにした。 （もっと読む）

【課題】ワイヤソーによってワークを切断する際のワークの割れや加工精度の低下を防止する。
【解決手段】切断開始時には、スラリ貯留槽４１は静止したままでワーク２８が下降し、ワーク２８がワイヤＷに接触すると切断が開始される（図３（ａ））。やがてワーク２８の下端がスラリに浸漬し、浸漬量Ｌ２が所定量になると、スラリ貯留槽４１はワーク２８に連動して下降する（図３（ｂ））。そこで、浸漬量Ｌ２は一定に保たれる一方、スラリの液面とワイヤＷとの間の距離Ｌ１は切断の進行に伴って徐々に増加する（図３（ｃ））。 （もっと読む）

【課題】特殊構造に因らず象限切換えに伴う加工精度低下の問題を解決する。
【解決手段】砥石面の断面形状が円弧状になるようにドレス用工具２４により砥石車４８を加工する方法。（１）砥石車４８の一端側から他端側に向かってドレス用工具２４を軸方向送りすると共に、砥石車４８の径方向中心側から外側に向かって径方向送りすることにより最大径の位置まで砥石車４８を加工する工程と、（２）ドレス用工具２４を砥石車４８から離間させ、その後、径方向送りの送り方向を反転させて砥石車４８に対してドレス用工具２４を再度接触させる工程と、（３）反転後の送り方向にドレス用工具２４を径方向送りすると共に、ドレス用工具２４を軸方向送りすることにより、最大径の位置から所定の加工終端位置まで砥石車４８を加工する工程と、を連続して実施する。 （もっと読む）

【課題】 ギヤポンプ等のオイルポンプのエロージョンを防止する。
【解決手段】 ポンプケーシング２１に形成されたオイル吐出溝２９の上流側の端部には、浅底部２９ａと、Ｖ字谷部２９ｂと、垂直壁２９ｃとが形成されている。浅底部２９ａは、オイル吐出溝２９における下流側部分よりも浅く、かつ、ポンプケーシング２１の底面と略平行な平坦面に形成されている。また、Ｖ字谷部２９ｂは、上記浅底部２９ａの外周側に位置し、アウターロータ３２における放射方向に切断したときの断面形状が略Ｖ字状で、上流側から下流側に向けて深くなるとともに幅が広がる形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】ウエハの反りを抑制する。
【解決手段】ワイヤソーは、ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ等に巻回されたワイヤＷにより形成されるワイヤ群と、このワイヤ群を駆動するボビン駆動モータ１１Ａ，１１Ｂ等と、ワーク２８を切断送りするワーク送り装置３０と、ワイヤＷにスラリを供給するスラリ供給装置３６，３７とを有する。ＮＣ装置５０は、ワーク２８の送り位置であって切断送り終端近傍の所定位置にワーク２８が到達すると、その後のスラリの供給量がそれ以前の供給量よりも少なくするようにスラリ供給装置３６，３７によるスラリ供給量を制御する。 （もっと読む）

【課題】砥石の振動等の発生を抑制しつつ回転角度により研削代が異なるワークをより効率良く加工する。
【解決手段】内面研削盤は、砥石２４と、ワーク１を回転駆動するホイールヘッド２０と、砥石２４とワーク周面とを切込み方向に相対送りする第１テーブル２６等を含む移動機構と、ホイールヘッド２０等の駆動を制御するＮＣ装置３０とを備える。このＮＣ装置３０は、電力検出回路２１から出力される砥石駆動モータのモータ電力の値に基づいて砥石２４とワーク内主面との接触検知を行う接触検知部３２と、その接触検知に基づき、砥石２４とワーク内周面とが接触状態にあるときのワーク１（主軸１２）の回転速度が、それ以外のときの回転速度よりも低速となるようにワーク１の一回転中の回転速度を制御すべくワーク駆動モータ１４に制御信号を出力する速度制御部３６とを含む。 （もっと読む）

【課題】カーフロスを低減しつつ所望の起伏をウエハ表面に良好に残す。
【解決手段】複数のガイドローラ２６Ａ等に巻回された切断用ワイヤにより形成され、ワイヤ軸方向に駆動されるワイヤ群と、ワイヤ群のワイヤ並び方向と直交する切込み方向にワークを移動させるワーク保持部材とを備えたワイヤソー。ワイヤソーは、さらにワイヤ群とワークとをワイヤ並び方向に相対的に移動させる移動手段と、その移動方向を切り替え制御するＮＣ装置８０とを備えている。移動手段は、ガイドローラ２６Ａ等を外周上に支持し、かつ制御水循環用の内部通路を備えるローラ支持軸４０と、前記内部通路に制御水を循環させる温調器７６等を備えた循環系統とを有し、ＮＣ装置８０は、温調器７６を制御することによりローラ支持軸４０に供給する制御水の温度を一定周期で切り替える。 （もっと読む）

【課題】分割構造を有するガイドローラにおいて、切断用ワイヤのガイド溝が形成される樹脂層の剥離を有効に防止する。
【解決手段】ガイドローラ２４Ａは、内側ローラ４０と、回転周方向に分割される複数の分割片５１Ａ，５１Ｂからなり、内側ローラ４０の外周面上に固定される外側ローラ５０とを備え、この外側ローラ５０の外周面にワイヤＷのガイド溝５６を有する。分割片５１Ａ，５１Ｂの外周面上には、樹脂層５４Ａ，５４Ｂが形成されておりこの樹脂層５４Ａ，５４Ｂにガイド溝５６が形成されている。そして、分割片５１Ａ，５１Ｂの外周面であって前記周方向における少なくとも両端近傍の位置に、前記樹脂層５４Ａ，５４Ｂの周方向変位を規制する溝５５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】長時間安定して還元状態を保持する微細気泡入り還元水を簡単に発生させる還元水生成装置および還元水生成方法を提供する。
【解決手段】水８０中には第１の電極２０と第２の電極３０とが設置されている。第２の電極３０を接地し、第１の電極２０を電源４０に接続して交流電圧またはパルス電圧を印加すると、第１の電極２０から微細な気泡が発生して水８０中に拡がっていき、水８０は還元された還元水となる。 （もっと読む）

【課題】血小板の粘着及び血液凝固因子の活性化の両方を低減した抗血栓性材料を実現できるようにする。
【解決手段】抗血栓性材料は、基材の表面に形成された炭素質薄膜からなる抗血栓性材料を対象とし、炭素が互いに結合した膜本体を備えている。膜本体を構成する炭素と結合したアミノ基及びカルボキシル基が存在している。 （もっと読む）